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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
20.11.2019
Stützstruktur für einen Wafertisch
Optik & Fototechnik
20.11.2019
Beleuchtungsquelle für eine Inspektionsvorrichtung, Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.11.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung von Elektromagnetischen Streuungseigenschaften einer Struktur
Optik & Fototechnik
20.11.2019
Schätzung eines Parameters eines Substrats
Optik & Fototechnik
20.11.2019
Lithographisches System mit einem Modul zur Differentiellen Interferometrie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.11.2019
Photonenquelle, Messgerät, Lithographisches System und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.11.2019
Objekthalter und Verfahren zur Herstellung eines Objekthalters
Optik & Fototechnik
06.11.2019
Prüfwerkzeug, Prüfverfahren und Computerprogrammprodukt
Optik & Fototechnik
06.11.2019
Vorrichtung mit Verwendung mehrerer Geladener Teilchenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2019
Herstellung von Einzigartigen Chips mit einem Lithografiesystem mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
06.11.2019
Durchführungsvorrichtung und Signalleiterbahnanordnung
Elektrische Energietechnik
06.11.2019
Elektrostatische Klemme, Lithographische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Elektrostatischen Klemme
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2019
Verfahren und System zur Herstellung von Einzigartigen Chips unter Verwendung eines Lithografiesystems mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2019
Verfahren zur Bestimmung einer Position eines Merkmals
Optik & Fototechnik
30.10.2019
Herstellung von Einzigartigen Chips mit einem Lithografiesystem mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2019
Verfahren zur Bestimmung eines Wertes eines Interessierenden Parameters eines durch einen Strukturierungsprozess Gebildeten Ziels
Optik & Fototechnik
16.10.2019
Modellbasierte Rekonstruktion von Halbleiterstrukturen
Optik & Fototechnik
16.10.2019
Messverfahren und -Vorrichtung, Computerprogramm und Lithographisches System
Optik & Fototechnik
09.10.2019
Substrathalter, Lithographische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Substrathalters
Optik & Fototechnik
02.10.2019
Substrathalter und Lithographische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
02.10.2019
Verfahren zur Bewertung von Steuerungsstrategien in einem Halbleiterherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2019
Steuerungsverfahren für ein Abtastbelichtungsapparat
Optik & Fototechnik
02.10.2019
Verfahren zur Bewertung von Steuerungsstrategien in einem Halbleiterherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2019
Trägervorrichtung, Lithografievorrichtung und Herstellungsverfahren für die Vorrichtung
Optik & Fototechnik
25.09.2019
Verfahren für Metrologie und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
18.09.2019
Bestimmung einer Optimalen Betriebsparametereinstellung eines Metrologiesystems
Optik & Fototechnik
18.09.2019
Verfahren zum Klemmen eines Substrats und Klemmenvorbereitungseinheit
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2019
Inspektionswerkzeug, Lithografische Vorrichtung und Inspektionsverfahren
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
18.09.2019
Herstellung von Radioisotopen
Elektrische Energietechnik
18.09.2019
Inspektionssystem, Lithografische Vorrichtung und Inspektionsverfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Strukturierten Kohlenstoffschicht
Metallurgie & Oberflächentechnik
04.09.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Formung einer Strukturierten Materialschicht
Optik & Fototechnik
28.08.2019
Ausrichtungsmarkierungspositionierung in einem Lithographischen Prozess
Optik & Fototechnik
28.08.2019
Steuerung basierend auf der Wahrscheinlichkeitsdichtefunktion eines Parameters
Optik & Fototechnik
28.08.2019
Systeme und Verfahren zur Verbesserung von Resistmodellvorhersagen
Optik & Fototechnik
28.08.2019
Metrologievorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Eigenschaft einer oder mehrerer Strukturen auf einem Substrat
Optik & Fototechnik
28.08.2019
Vorrichtung zum Bewegen eines Objekts in Und/oder aus einem Gehäuse
Optik & Fototechnik
21.08.2019
Haltevorrichtung, Lithographievorrichtung und Verfahren zur Verwendung der Haltevorrichtung
Optik & Fototechnik
21.08.2019
Metrologieverfahren und -Vorrichtung mit Erhöhter Bandbreite
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.08.2019
Metrologische Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Interessierenden Charakteristik einer Struktur auf einem Substrat
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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