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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
13.12.2023
Verfahren und Vorrichtungen zur Räumlichen Filterung von Optischen Impulsen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.12.2023
A membrane and associated method and apparatus
Optik & Fototechnik
07.12.2023
System and method for distortion adjustment during inspection
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.12.2023
Method for aligning an illumination-detection system of a metrology device and associated metrology device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.12.2023
Flexible supply structure, positioning module and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
07.12.2023
Method for determining a failure event on a lithography system and associated failure detection module
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
07.12.2023
Method for parameter reconstruction of a metrology device and associated metrology device
Optik & Fototechnik
06.12.2023
Gleichzeitige Doppelbeschichtung eines Graphen-Mehrschichtpellikels durch Lokale Wärmebehandlung
Optik & Fototechnik
06.12.2023
Vorrichtung mit Verwendung mehrerer Geladener Teilchenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2023
Verfahren zur Kompensation eines Belichtungsfehlers in einem Belichtungsverfahren
Optik & Fototechnik
06.12.2023
Metrologieverfahren und -Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
06.12.2023
Verfahren zur Bestimmung eines Fokusbetätigungsprofils für einen oder Mehrere Aktuatoren einer Lithografischen Belichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
30.11.2023
Data processing device and method, charged particle assessment system and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.11.2023
Pulsed lasers and methods of operation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2023
Freeze Valve in A Target Material Generator
Maschinenelemente & Fluidtechnik
23.11.2023
Measurement of fabrication parameters based on moiré interference pattern components
Optik & Fototechnik
23.11.2023
Single Pad Overlay Measurement
Optik & Fototechnik
23.11.2023
Illumination module and associated methods and metrology apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.11.2023
Passive integrated optical systems and methods for reduction of spatial optical coherence
Optik & Fototechnik
22.11.2023
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2023
Kontaminationsverminderungssystem
Optik & Fototechnik
22.11.2023
Interferometersystem, Positionierungssystem, Lithografische Vorrichtung, Jitterbestimmungsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.11.2023
Beleuchtungsmodul und Zugehörige Verfahren und Metrologiegerät
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.11.2023
Quellenauswahlmodul und Zugehöriges Messtechnisches Gerät
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.11.2023
Verfahren zur Optimierung der Wartung einer Lithographieanlage
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
22.11.2023
Datenabruf
Software & Datenverarbeitung
16.11.2023
Mechatronic system control method, lithographic apparatus control method and lithographic apparatus
Steuerungs- & Regelungstechnik
16.11.2023
Optical arrangement for a metrology system
Optik & Fototechnik
16.11.2023
Lithographic apparatus and associated methods
Optik & Fototechnik
15.11.2023
Greifer und Lithografische Vorrichtung mit dem Greifer
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2023
Beleuchtungsmodusselektor und Zugehöriges Optisches Messinstrument
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.11.2023
Device and method for measuring contamination and lithographic apparatus provided with said device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.11.2023
Systems, methods, and software for multilayer metrology
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2023
Radiation tolerant detector architecture for charged particle detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2023
Illumination mode selector and associated optical metrology tool
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.11.2023
Positionierungssystem für eine Lithographische Vorrichtung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
08.11.2023
Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Kontamination und Lithographisches Gerät mit Dieser Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.11.2023
Hohlkernglasfaserbasierte Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik
08.11.2023
Motoranordnung, Lithografische Vorrichtung und Einrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
08.11.2023
Positionierungsvorrichtung, Steifigkeitsreduktionsvorrichtung und Elektronenstrahlvorrichtung
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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