ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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13.12.2023
Verfahren und Vorrichtungen zur Räumlichen Filterung von Optischen Impulsen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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07.12.2023
A membrane and associated method and apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.05.2023
Anhängig
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07.12.2023
System and method for distortion adjustment during inspection
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.05.2023
Anhängig
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07.12.2023
Method for aligning an illumination-detection system of a metrology device and associated metrology device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.05.2023
Anhängig
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07.12.2023
Flexible supply structure, positioning module and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 04.05.2023
Anhängig
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07.12.2023
Method for determining a failure event on a lithography system and associated failure detection module
Optik & Fototechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 28.04.2023
Anhängig
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07.12.2023
Method for parameter reconstruction of a metrology device and associated metrology device
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 17.05.2023
Anhängig
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06.12.2023
Gleichzeitige Doppelbeschichtung eines Graphen-Mehrschichtpellikels durch Lokale Wärmebehandlung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2018
Erteilt am 06.12.2023
Vertretung
Filip, Diana · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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06.12.2023
Vorrichtung mit Verwendung mehrerer Geladener Teilchenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.12.2023
Verfahren zur Kompensation eines Belichtungsfehlers in einem Belichtungsverfahren
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.04.2015
Erteilt am 06.12.2023
Vertretung
Filip, Diana · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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06.12.2023
Metrologieverfahren und -Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
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06.12.2023
Verfahren zur Bestimmung eines Fokusbetätigungsprofils für einen oder Mehrere Aktuatoren einer Lithografischen Belichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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30.11.2023
Data processing device and method, charged particle assessment system and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.05.2023
Anhängig
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30.11.2023
Pulsed lasers and methods of operation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 29.03.2023
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23.11.2023
Freeze Valve in A Target Material Generator
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 20.03.2023
Anhängig
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23.11.2023
Measurement of fabrication parameters based on moiré interference pattern components
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 26.04.2023
Anhängig
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23.11.2023
Single Pad Overlay Measurement
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 26.04.2023
Anhängig
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23.11.2023
Illumination module and associated methods and metrology apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.04.2023
Anhängig
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23.11.2023
Passive integrated optical systems and methods for reduction of spatial optical coherence
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 18.04.2023
Anhängig
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22.11.2023
Optische Vorrichtung für Geladene Teilchen und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.11.2023
Kontaminationsverminderungssystem
Optik & Fototechnik
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22.11.2023
Interferometersystem, Positionierungssystem, Lithografische Vorrichtung, Jitterbestimmungsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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22.11.2023
Beleuchtungsmodul und Zugehörige Verfahren und Metrologiegerät
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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22.11.2023
Quellenauswahlmodul und Zugehöriges Messtechnisches Gerät
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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22.11.2023
Verfahren zur Optimierung der Wartung einer Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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22.11.2023
Datenabruf
Software & Datenverarbeitung
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16.11.2023
Mechatronic system control method, lithographic apparatus control method and lithographic apparatus
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 03.04.2023
Anhängig
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16.11.2023
Optical arrangement for a metrology system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.04.2023
Anhängig
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16.11.2023
Lithographic apparatus and associated methods
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.04.2023
Anhängig
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15.11.2023
Greifer und Lithografische Vorrichtung mit dem Greifer
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.11.2023
Beleuchtungsmodusselektor und Zugehöriges Optisches Messinstrument
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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09.11.2023
Device and method for measuring contamination and lithographic apparatus provided with said device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 03.05.2023
Anhängig
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09.11.2023
Systems, methods, and software for multilayer metrology
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.04.2023
Anhängig
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09.11.2023
Radiation tolerant detector architecture for charged particle detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.04.2023
Anhängig
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09.11.2023
Illumination mode selector and associated optical metrology tool
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.04.2023
Anhängig
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08.11.2023
Positionierungssystem für eine Lithographische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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08.11.2023
Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Kontamination und Lithographisches Gerät mit Dieser Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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08.11.2023
Hohlkernglasfaserbasierte Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik
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08.11.2023
Motoranordnung, Lithografische Vorrichtung und Einrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 27.09.2017
Erteilt am 08.11.2023
Vertretung
Ras, Michael Adrianus Josephus · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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08.11.2023
Positionierungsvorrichtung, Steifigkeitsreduktionsvorrichtung und Elektronenstrahlvorrichtung
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Optik & Fototechnik
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