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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
24.06.2021
System and method for defect inspection using voltage contrast in a charged particle system
WO2021123075
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2021
Beam current adjustment for charged-particle inspection system
WO2021123080
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2021
Multi-modal operations for multi-beam inspection system
WO2021123082
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2021
Katadioptrisches System für die Scatterometrie
EP2017662
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.06.2021
Beleuchtungsquelle und Zugehörige Messvorrichtung
EP3839621
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.06.2021
Digitales Holographisches Dunkelfeldmikroskop und Zugehöriges Messverfahren
EP3839635
Optik & Fototechnik
23.06.2021
Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernkristallfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung
EP3839586
Optik & Fototechnik
23.06.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Konfiguration einer Linsenmodellanforderung
EP3839630
Optik & Fototechnik
23.06.2021
Systeme und Verfahren zur Abschwächung von Chromatischen Aberrationen
EP3840010
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2021
Bestimmung Relativer Positionen Verschiedener Schichten in einer Struktur
EP3839631
Optik & Fototechnik
23.06.2021
Verfahren zur Bestimmung eines Messrezepts und Zugehörige Vorrichtungen
EP3839632
Optik & Fototechnik
17.06.2021
Alignment method and associated alignment and lithographic apparatuses
WO2021115735
Optik & Fototechnik
17.06.2021
Method for improving consistency in mask pattern generation
WO2021115766
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
16.06.2021
Vorrichtung für Mehrere Ladungsteilchenstrahlen
EP3834222
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2021
Gas quality optimization for enhanced co2 drive laser performance
WO2021110317
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2021
A device and method for connecting a fibre preform to a pressure supply system
WO2021110338
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
10.06.2021
Clamp Assembly
WO2021110336
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2021
Method and system for enhancing target features of a pattern imaged onto a substrate
WO2021110343
Optik & Fototechnik
10.06.2021
Alignment method
WO2021110391
Optik & Fototechnik
10.06.2021
Overlay measurement system using lock-in amplifier technique
WO2021110416
Optik & Fototechnik
09.06.2021
Klemmanordnung
EP3832391
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.06.2021
Vorrichtung und Verfahren zur Verbindung einer Faservorform mit einem Druckversorgungssystem
EP3832364
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
03.06.2021
Method and system for predicting process information with a parameterized model
WO2021104718
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
03.06.2021
Lithography apparatus with improved stability
WO2021104791
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.06.2021
Inhibitor substance for an optical system
WO2021104794
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
03.06.2021
Multi-source charged particle illumination apparatus
WO2021104991
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.06.2021
Verfahren und System zur Vorhersage von Bildern von Elektrischen Felder mit einem Parametrisierten Modell
EP3828632
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
02.06.2021
Bestrahlungsapparat mit mehreren Quellen Geladener Teilchen
EP3828916
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.05.2021
Optimization using a non-uniform illumination intensity profile
WO2021099408
Optik & Fototechnik
27.05.2021
A method of obtaining performance information about a lithography process
WO2021099047
Optik & Fototechnik
27.05.2021
Resist Compositions
WO2021099051
Optik & Fototechnik
27.05.2021
Method and apparatus for determining control data for a lithographic apparatus
WO2021099037
Optik & Fototechnik
20.05.2021
Calibration method for a lithographic system
WO2021094041
Optik & Fototechnik
20.05.2021
Tunable laser device, method to tune a laser beam, interferometer system and lithographic apparatus
WO2021094207
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.05.2021
Substrate support, lithographic apparatus, method for manipulating charge distribution and method for preparing a substrate
WO2021094057
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.05.2021
Method for device fabrication
WO2021094064
Optik & Fototechnik
19.05.2021
Verfahren zur Bestimmung einer Sichtfeldeinstellung
EP3822703
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2021
Verfahren zur Bestimmung der Korrekturen für ein Strukturierungsverfahren
EP3529667
Optik & Fototechnik
14.05.2021
Method of manufacture of a capillary for a hollow-core photonic crystal fiber
WO2021089360
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
14.05.2021
Charged-particle detector package for high speed applications
WO2021089443
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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