ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336

Patente

2000–2026

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
25.06.2008	25.06.2008 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels EP1494075 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2003 Erteilt am 25.06.2008 Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.06.2008	19.06.2008 Radiation system and lithographic apparatus WO2008072962 Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.06.2008	19.06.2008 Plasma radiation source with axial magnetic field WO2008072966 Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.12.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.06.2008	18.06.2008 Bilderzeugungsapparat EP1280007 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.07.2002 Erteilt am 18.06.2008 Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.06.2008	12.06.2008 Shadowing Electrodes For Debris Suppression in an Euv Source WO2008069653 Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.11.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.06.2008	12.06.2008 Plasma radiation source with rotating electrodes and liquid metal provider WO2008069654 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.11.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.06.2008	11.06.2008 Verfahren, Inspektionssystem, Rechnerprogramm und Referenzsubstrat zum Erkennen von Maskenfehlern EP1416326 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.10.2003 Erteilt am 11.06.2008 Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.06.2008	11.06.2008 Lithographischer Apparat mit einem radialen Polarisator EP1574904 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.03.2004 Erteilt am 11.06.2008 Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.06.2008	11.06.2008 Lithographischer Apparat. Beleuchtungssystem und optisches Element zur Rotation einer Intensitätsverteilung EP1582931 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.03.2005 Erteilt am 11.06.2008 Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.05.2008	29.05.2008 Gas analyzing system, lithographic apparatus and method of improving a sensitivity of a gas analyzing system WO2008063056 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.11.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.05.2008	29.05.2008 Verfahren zum Entfernen von Kontaminationen auf Optischen Oberflächen und Optische Anordnung WO2008061690 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.11.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.05.2008	28.05.2008 Lithographievorrichtung, Herstellungsverfahren für eine Vorrichtung und Computerprogrammprodukt EP1925981 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.11.2007 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.04.2008	17.04.2008 Lithographic apparatus, and device manufacturing method WO2008044925 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.04.2008	17.04.2008 Cleaning method, apparatus and cleaning system WO2008044924 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.04.2008	09.04.2008 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1424598 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.11.2003 Erteilt am 09.04.2008 Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.04.2008	03.04.2008 Lithographic apparatus and device manufacturing method WO2008039060 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2008	02.04.2008 Aktiv-Retikelwerkzeug und Lithographische Vorrichtung EP1904896 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2006 Anhängig Vertretung Raukema, Age · Veldhoven Doolaar, Frans · Enschede Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2008	02.04.2008 Lithographisches Projektionssystem und Projektionslinsen-Polarisationssensor EP1904895 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2006 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2008	02.04.2008 Passiv-Retikel-Werkzeug, Lithographische Vorrichtung und Verfahren zum Strukturieren eines Bauelements in einem Lithographiewerkzeug EP1904897 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2006 Anhängig Vertretung Maas, Abraham Johannes · Veldhoven Raukema, Age · Veldhoven Doolaar, Frans · Enschede Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2008	19.03.2008 Optisches System zur Erzeugung von Strahlung im EUV-Wellenlängenbereich und Verfahren zur Messung des Kontaminationsstatus von EUV-reflektierenden Elementen EP1901125 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.09.2006 Anhängig Vertretung Kohler Schmid Möbus Patentanwälte · Reutlingen Kohler Schmid Möbus · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2008	19.03.2008 Systeme und Verfahren zum Ablenken von Plasmaerzeugten Ionen, um zu Verhindern, Dass die Ionen eine Innere Komponente einer Euv-Lichtquelle Erreichen EP1899115 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.05.2006 Anhängig Vertretung Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät · München Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2008	12.03.2008 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1380897 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2003 Erteilt am 12.03.2008 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.03.2008	12.03.2008 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1424599 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.11.2003 Erteilt am 12.03.2008 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2008	05.03.2008 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels EP1372040 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.06.2003 Erteilt am 05.03.2008 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.03.2008	05.03.2008 Methode zur Belichtung eines Substrats und lithographischer Projektionsapparat EP1515189 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.09.2004 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.02.2008	27.02.2008 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1148389 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2001 Erteilt am 27.02.2008 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.02.2008	27.02.2008 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1291721 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.09.2002 Erteilt am 27.02.2008 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.02.2008	27.02.2008 Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1319986 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.12.2002 Erteilt am 27.02.2008 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.02.2008	27.02.2008 Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung EP1582928 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.03.2005 Erteilt am 27.02.2008 Vertretung Roberts, Peter David · Manchester Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.02.2008	27.02.2008 Lithographische Vorrichtung und Reinigungsverfahren dafür EP1891480 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2006 Anhängig Vertretung Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven Slenders, Petrus J. W · Eindhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.02.2008	20.02.2008 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1647866 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.10.2005 Erteilt am 20.02.2008 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.02.2008	13.02.2008 Lithographische Methode zur Herstellung einer Vorrichtung EP1524555 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.10.2003 Erteilt am 13.02.2008 Vertretung Prins, Adrianus Willem · Den Haag Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.02.2008	13.02.2008 Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und damit erzeugte Vorrichtung EP1491962 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2004 Erteilt am 13.02.2008 Vertretung Winckels, Johannes Hubertus F · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.02.2008	13.02.2008 Lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung EP1530090 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.11.2004 Erteilt am 13.02.2008 Vertretung Winckels, Johannes Hubertus F · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.01.2008	30.01.2008 Lithografische Vorrichtung, Beleuchtungssystem und Debrisauffangsystem EP1674932 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.12.2005 Erteilt am 30.01.2008 Vertretung Winckels, Johannes Hubertus F · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.01.2008	23.01.2008 Substratverarbeitungsverfahren EP1548507 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.12.2004 Erteilt am 23.01.2008 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2008	03.01.2008 Lithographic apparatus comprising a cleaning arrangement, cleaning arrangement and method for cleaning a surface to be cleaned WO2008002134 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2008	02.01.2008 Lithographischer Apparat EP1494079 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.06.2004 Erteilt am 02.01.2008 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2008	02.01.2008 Lithografisches Projektionsgerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1693708 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.02.2006 Erteilt am 02.01.2008 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.01.2008	02.01.2008 Flüssigkeitsimmersions-Lithographiesystem mit einem Geneigten Duschkopf EP1872175 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.04.2006 Anhängig Vertretung Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Hatzmann, Martin · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen