ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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3.336 gesamt| Patent | |||
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16.04.2025
Vertraulichkeitsbewahrendes Kollaboratives Modell zur Ableitung von Informationen in einem Produktionssystem
EP4538938
Software & Datenverarbeitung
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16.04.2025
Vertikal Föderiertes Training eines von Verschiedenen Teilnehmern Verwendeten Maschinenlernmodells zur Konfiguration eines Halbleiterherstellungsprozesses
EP4538796
Optik & Fototechnik
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16.04.2025
Elektronenstrahl-Bilderzeugungssystem
EP4539091
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.04.2025
Verfahren zum Entwurf eines Fokusziels für Fokusmetrologie
EP4538793
Optik & Fototechnik
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09.04.2025
Reflektor und Verfahren zur Herstellung eines Reflektors
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09.04.2025
Manipulatorvorrichtung zum Manipulieren eines oder mehrerer Bündel Geladener Teilchen und System für Geladene Teilchen Dieselbe enthaltend
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Status
Angemeldet am 26.04.2012
Erteilt am 09.04.2025
Vertretung
Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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09.04.2025
Verfahren zur Verarbeitung von Daten aus einer Probe
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09.04.2025
Verfahren zur Erneuerung eines Substratträgers
EP4535083
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
A method of refurbishing a substrate support, the substrate support comprising: a first surface, configured to support a substrate; and a second surface, opposite to the first surface. The method comprises: depositing a material on the second surface to form a coating layer which increases a thickness of the substrate support; and removing material from the first surface. |
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09.04.2025
System zur Strahlungserweiterung
EP4535071
Optik & Fototechnik
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02.04.2025
Verfahren zur Spektralen Konfiguration der Messbeleuchtung eines Messwerkzeugs und Zugehörige Vorrichtungen
EP4530717
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is a method of spectrally configuring measurement illumination of a metrology tool, the method comprising: projecting measurement radiation using a projection optical system to obtain projected measurement radiation; measuring a signal amplitude metric of said projected measurement radiation at a detector; determining a spectral shape of the projected measurement radiation from the signal amplitude metric; and spectrally configuring the measurement illumination before the projection optical system to adjust said spectral shape to match a desired spectral shape. |
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02.04.2025
Verfahren zur Optimierung der Emission Elektromagnetischer Strahlung eines Plasmas eines Beleuchtungssystems, Quellenmodul, Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP4530719
Optik & Fototechnik
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02.04.2025
Verfahren zur Beurteilung eines Geladenen Teilchenstrahls und Verfahren zur Beurteilung einer Matrix von Strahlen
EP4531072
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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02.04.2025
Beschleunigung von Elektromagnetischen Vorwärtsberechnungen für Sxr-Rekonstruktion
EP4530718
Optik & Fototechnik
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26.03.2025
Überwachung von Lichtemissionen
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26.03.2025
Bestimmung einer Korrektur an einem Prozess
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26.03.2025
Diffraktionsbasierte Pupillenbestimmung zur Optimierung von Lithographischen Prozessen
EP4526731
Optik & Fototechnik
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26.03.2025
Verfahren zur Optimierung der Wartung eines Lithographischen Apparates
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26.03.2025
Optisches Element für die Euv-Lithographie
EP4528376
Optik & Fototechnik
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19.03.2025
Verfahren zur Bestimmung eines Abmessungsparameters einer Mikrostrukturierten Optischen Faser
EP4524625
Optik & Fototechnik
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19.03.2025
Bewegliche Trägerplatte für einen Lithographischen Apparat
EP4523045
Optik & Fototechnik
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19.03.2025
Substratkopplungssysteme
EP4525029
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.03.2025
Retikelkonditionierungsdüse
EP4774589
Optik & Fototechnik
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13.03.2025
Verstopfungsresistente Tröpfchengeneratoren für Euv-Lichtquellen
EP4774990
Elektronik & Schaltungstechnik
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12.03.2025
Substratparametermessung
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12.03.2025
Wellenlängenverfolgungssystem, Verfahren zur Kalibrierung eines Wellenlängenverfolgungssystems, Lithografischer Apparat, Verfahren zur Bestimmung der Absoluten Position eines Beweglichen Objekts und Interferometersystem
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12.03.2025
Verfahren und System zur Überlagerungsmessung unter Verwendung einer Inspektionsvorrichtung für Geladene Teilchen
EP4519735
Optik & Fototechnik
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12.03.2025
Verfahren zur Bestimmung einer Positionierungskorrektur für einen Lithographischen Prozess
EP4521168
Optik & Fototechnik
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12.03.2025
Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP4521169
Optik & Fototechnik
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12.03.2025
Verfahren zur Bestimmung der Grundursachen von Ereignissen eines Halbleiterherstellungsprozesses und zur Überwachung eines Halbleiterherstellungsprozesses
EP4521181
Steuerungs- & Regelungstechnik
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05.03.2025
Verfahren zur Bestimmung einer Belichtungsstrategie, Lithographieverfahren und -Vorrichtung sowie Computerprogramm
EP4517424
Optik & Fototechnik
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05.03.2025
Thermisch Betätigtes Kühlsystem
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05.03.2025
Verbesserte Dichtung
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27.02.2025
Optisches System und Verfahren
WO2025040304
Optik & Fototechnik
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27.02.2025
Optisches System und Verfahren
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27.02.2025
Verfahren und System zur Optimierung von Quelle, Maske und Wellenfront auf Basis eines Diffraktionsmusters zur Reduzierung von M3D-Fading
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27.02.2025
Lernbasierte Lokale Ausrichtung für Kantenplatzierungsmetrologie
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27.02.2025
Verfahren und System zur Optimierung von Quelle, Maske und Wellenfront auf Basis eines Diffraktionsmusters zur Reduzierung von M3D-Fading
WO2025040387
Optik & Fototechnik
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27.02.2025
Lernbasierte Lokale Ausrichtung für Kantenplatzierungsmetrologie
WO2025040361
Software & Datenverarbeitung
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26.02.2025
Optische Vorrichtung und Verfahren für Geladene Teilchen
EP4511860
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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26.02.2025
Membran für die Membran einer Lithographischen Vorrichtung
EP4511698
Optik & Fototechnik
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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