ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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05.11.2025
Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen und Methode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.10.2025
Multiwavelength micro-optical patterning process metrology systems and methods
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 31.03.2025
Anhängig
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30.10.2025
Method and system for performance cost-based training dataset generation for mask prediction
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 31.03.2025
Anhängig
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29.10.2025
In-Situ-Reinigung für Lithografische Vorrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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29.10.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion mittels Geladener Teilchenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.10.2025
Erweiterte Ladungssteuerungskonfiguration in einem System mit Geladenen Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.10.2025
Schwingungsisolator zum Unterstützen einer Nutzlast
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Zusammenfassung
A vibration isolator (10) for supporting a payload and isolating the payload from vibrations comprises: a pressurized gas compartment (24) formed with a rigid base structure (28), which base structure has an opening (32) covered with a flexible membrane (20) having an inner surface (21) facing into the gas compartment and an outer surface (22) facing in the opposite direction, a support member (12) for supporting the payload, which support member is arranged in contact with the outer surface (22) of the membrane, and a clamping member (62) arranged at the inner surface (21) of the membrane, wherein the support member and the clamping member form a clamping system (66), which system comprises at least one magnetic element (64) effecting the membrane to be pressed against the support member. |
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29.10.2025
Detektor zur Erfassung von Strahlung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.10.2025
Vorrichtung mit Geladenen Teilchen und Vorrichtung mit Geladenen Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.10.2025
Verfahren zur Erzeugung eines Projektionsmusters aus mehreren Projektionen eines Substrattisches
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.10.2025
Optische Vorrichtung mit Geladenen Teilchen, Beurteilungsvorrichtung, Verfahren zur Beurteilung einer Probe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.10.2025
Topologiebasierte Bildwiedergabe in Inspektionssystemen mit Geladenen Teilchenstrahlen
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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29.10.2025
Mikrospiegelarrays
Optik & Fototechnik
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23.10.2025
Radiation Source
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 03.04.2025
Anhängig
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23.10.2025
Fluid Handling Structure
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.03.2025
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23.10.2025
Carrier, assessment apparatus, and method of using the carrier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.03.2025
Anhängig
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23.10.2025
Optical measurement device and method of manufacturing same
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 24.03.2025
Anhängig
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23.10.2025
Radiation Filter
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.03.2025
Anhängig
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23.10.2025
Positioning Measurement Correction
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.03.2025
Anhängig
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23.10.2025
Metrology system with optical element(s) having surface structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.03.2025
Anhängig
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23.10.2025
Module for a lithographic apparatus, lithographic apparatus and method for clamping a sensor member
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.03.2025
Anhängig
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22.10.2025
System und Verfahren zur Thermischen Konditionierung eines Lithographischen Apparates
Optik & Fototechnik
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22.10.2025
Defektidentifizierung und -Segmentierung ohne Markierte Daten und Bildqualitätsverbesserung
Software & Datenverarbeitung
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Zusammenfassung
An apparatus for identifying defects on a wafer under inspection includes a memory storing a set of instructions and at least one processor configured to execute the set of instructions to cause the apparatus to perform: operations including: acquiring a set of labeled images, wherein the set of labeled images includes: a first set of images generated by a generative model trained on input images, a conditioning mask, and conditioning parameters, wherein the conditioning mask and the conditioning parameters are associated with a defect; the input images; and the conditioning mask; and training a segmentation model, using the set of labeled images, to predict the defect in a second set of images. |
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22.10.2025
Saugklemme zum Klemmen eines Substrats
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
A suction clamp for clamping a substrate, the suction clamp comprising a base; a substrate support extending perpendicular from the base in a first direction, the substrate support having a support area for supporting the substrate during clamping thereof; a resilient skirt member for receiving the substrate, wherein the skirt member extends around the substrate support; a fixing arrangement for removably fixing the skirt member to the base in an airtight manner; a suction opening arranged in the base and within a contour of the skirt member, the suction opening being adapted to be connected to a suction device for providing a suction force for clamping the substrate on the skirt member and the substrate support. |
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22.10.2025
Strahlungsquellengehäuse und Kollektor
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Zusammenfassung
A radiation source comprising a source of target material configured to direct target material to a plasma formation location, and a laser system configured to direct an infrared laser beam onto the target material at the plasma formation location to generate EUV radiation, wherein the radiation source further comprises a housing with an opening through which EUV radiation may exit the radiation source, wherein the radiation source is configured such that a first portion of the housing receives a majority of the infrared radiation beam when the infrared radiation beam is not incident upon a target material, and wherein the first portion of the housing is configured to reflect the infrared radiation to other portions of the housing which are further away from the opening of the housing. |
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22.10.2025
Strahlungsfilter
Optik & Fototechnik
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22.10.2025
Klemme und Verfahren zur Herstellung davon
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.10.2025
Beam guiding device for guiding laser radiation and lithography system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.04.2025
Anhängig
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16.10.2025
Measurement Of an Ac Signal From A Component
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.03.2025
Anhängig
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16.10.2025
A method of lithography and associated apparatuses
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.03.2025
Anhängig
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16.10.2025
Optical amplifier for amplifying laser radiation, lithography system and method for amplifying laser radiation in an optical amplifier
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.04.2025
Anhängig
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16.10.2025
Method to determine ghost reflections in an interferometer system, interferometer system, projection system and exposure apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 20.03.2025
Anhängig
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16.10.2025
Method of forming a semiconductor channel and associated apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 07.03.2025
Anhängig
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15.10.2025
Abfragegerät für Phasengenerierten Träger und Abfrageverfahren für den Zugehörigen Phasengenerierten Träger
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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15.10.2025
Superkontinuumsstrahlungsquelle
Optik & Fototechnik
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15.10.2025
Strahlführungseinrichtung zur Führung von Laserstrahlung sowie Lithographieanlage
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
The present invention concerns a beam guiding device (200) for guiding laser radiation, comprising a body (201) with an inner beam channel (202), an optical beam guiding element (205), in particular a mirror, that is arranged inside the beam channel and a bracket (203) for holding the body (201), wherein the body (201) is connected to the bracket (203) via a first flexure bearing (207), a second flexure bearing (208) and a revolute joint (209). The invention further concerns a lithography system (101), in particular extreme ultraviolet lithography system, comprising a drive laser (100) with a beam guiding device (200) as mentioned before. |
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15.10.2025
Optischer Verstärker zur Verstärkung von Laserstrahlung, Lithographiesystem und Verfahren zur Verstärkung von Laserstrahlung in einem Optischen Verstärker
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
The present invention concerns an optical amplifier (2) for amplifying laser radiation (11) comprising a cavity (201) filled with a laser active gas, comprising a screen (205) having a surface arranged in the cavity (201), a camera (207) configured for monitoring the surface of the screen (205) and for providing image data, and an analysis unit (208) configured for detecting particles (300) deposited on the surface of the screen (205) based on the image data provided by the camera (207. The invention further concerns a for monitoring particle contamination in an optical amplifier (2) for amplifying laser radiation (11) comprising a cavity (201) filled with a laser active gas and a screen (205) having a surface arranged in the cavity (201), wherein a camera (207) monitors the surface of the screen (205) and provides image data and an analysis unit (208) detects particles (300) deposited on the surface of the screen (205) based on the image data provided by the camera (205). |
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15.10.2025
Verfahren zur Lithographie und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
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15.10.2025
Bildung eines Referenzbestrahlungmusters auf einem Detektor
Optik & Fototechnik
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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15.10.2025
Elektronenoptischer Stapel, Modul, Beurteilungsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Elektronenoptischen Stapels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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