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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
16.04.2025
Vertraulichkeitsbewahrendes Kollaboratives Modell zur Ableitung von Informationen in einem Produktionssystem
EP4538938 Software & Datenverarbeitung
16.04.2025
Vertikal Föderiertes Training eines von Verschiedenen Teilnehmern Verwendeten Maschinenlernmodells zur Konfiguration eines Halbleiterherstellungsprozesses
EP4538796 Optik & Fototechnik
16.04.2025
Elektronenstrahl-Bilderzeugungssystem
EP4539091 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.04.2025
Verfahren zum Entwurf eines Fokusziels für Fokusmetrologie
EP4538793 Optik & Fototechnik
09.04.2025
Reflektor und Verfahren zur Herstellung eines Reflektors
EP3807718 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik erteilt
09.04.2025
Manipulatorvorrichtung zum Manipulieren eines oder mehrerer Bündel Geladener Teilchen und System für Geladene Teilchen Dieselbe enthaltend
EP3648114 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik erteilt
09.04.2025
Verfahren zur Verarbeitung von Daten aus einer Probe
EP4533075 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2025
Verfahren zur Erneuerung eines Substratträgers
EP4535083 Optik & Fototechnik
09.04.2025
System zur Strahlungserweiterung
EP4535071 Optik & Fototechnik
02.04.2025
Verfahren zur Spektralen Konfiguration der Messbeleuchtung eines Messwerkzeugs und Zugehörige Vorrichtungen
EP4530717 Optik & Fototechnik
02.04.2025
Verfahren zur Optimierung der Emission Elektromagnetischer Strahlung eines Plasmas eines Beleuchtungssystems, Quellenmodul, Beleuchtungssystem, Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP4530719 Optik & Fototechnik
02.04.2025
Verfahren zur Beurteilung eines Geladenen Teilchenstrahls und Verfahren zur Beurteilung einer Matrix von Strahlen
EP4531072 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2025
Beschleunigung von Elektromagnetischen Vorwärtsberechnungen für Sxr-Rekonstruktion
EP4530718 Optik & Fototechnik
26.03.2025
Überwachung von Lichtemissionen
EP3871473 Elektronik & Schaltungstechnik erteilt
26.03.2025
Bestimmung einer Korrektur an einem Prozess
EP3974906 Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik erteilt
26.03.2025
Diffraktionsbasierte Pupillenbestimmung zur Optimierung von Lithographischen Prozessen
EP4526731 Optik & Fototechnik
26.03.2025
Verfahren zur Optimierung der Wartung eines Lithographischen Apparates
EP4526735 Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
26.03.2025
Optisches Element für die Euv-Lithographie
EP4528376 Optik & Fototechnik
19.03.2025
Verfahren zur Bestimmung eines Abmessungsparameters einer Mikrostrukturierten Optischen Faser
EP4524625 Optik & Fototechnik
19.03.2025
Bewegliche Trägerplatte für einen Lithographischen Apparat
EP4523045 Optik & Fototechnik
19.03.2025
Substratkopplungssysteme
EP4525029 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2025
Retikelkonditionierungsdüse
EP4774589 Optik & Fototechnik
13.03.2025
Verstopfungsresistente Tröpfchengeneratoren für Euv-Lichtquellen
EP4774990 Elektronik & Schaltungstechnik
12.03.2025
Substratparametermessung
EP4521101 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.03.2025
Wellenlängenverfolgungssystem, Verfahren zur Kalibrierung eines Wellenlängenverfolgungssystems, Lithografischer Apparat, Verfahren zur Bestimmung der Absoluten Position eines Beweglichen Objekts und Interferometersystem
EP3746738 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik erteilt
12.03.2025
Verfahren und System zur Überlagerungsmessung unter Verwendung einer Inspektionsvorrichtung für Geladene Teilchen
EP4519735 Optik & Fototechnik
12.03.2025
Verfahren zur Bestimmung einer Positionierungskorrektur für einen Lithographischen Prozess
EP4521168 Optik & Fototechnik
12.03.2025
Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
EP4521169 Optik & Fototechnik
12.03.2025
Verfahren zur Bestimmung der Grundursachen von Ereignissen eines Halbleiterherstellungsprozesses und zur Überwachung eines Halbleiterherstellungsprozesses
EP4521181 Steuerungs- & Regelungstechnik
05.03.2025
Verfahren zur Bestimmung einer Belichtungsstrategie, Lithographieverfahren und -Vorrichtung sowie Computerprogramm
EP4517424 Optik & Fototechnik
05.03.2025
Thermisch Betätigtes Kühlsystem
EP4515331 Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
05.03.2025
Verbesserte Dichtung
EP4517137 Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
27.02.2025
Optisches System und Verfahren
WO2025040304 Optik & Fototechnik
27.02.2025
Optisches System und Verfahren
27.02.2025
Verfahren und System zur Optimierung von Quelle, Maske und Wellenfront auf Basis eines Diffraktionsmusters zur Reduzierung von M3D-Fading
27.02.2025
Lernbasierte Lokale Ausrichtung für Kantenplatzierungsmetrologie
27.02.2025
Verfahren und System zur Optimierung von Quelle, Maske und Wellenfront auf Basis eines Diffraktionsmusters zur Reduzierung von M3D-Fading
WO2025040387 Optik & Fototechnik
27.02.2025
Lernbasierte Lokale Ausrichtung für Kantenplatzierungsmetrologie
WO2025040361 Software & Datenverarbeitung
26.02.2025
Optische Vorrichtung und Verfahren für Geladene Teilchen
EP4511860 Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2025
Membran für die Membran einer Lithographischen Vorrichtung
EP4511698 Optik & Fototechnik

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