ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
5.380 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
19.09.2018
Metrologieverfahren und Verfahren zur Vorrichtungsherstellung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2018
Vorrichtung zur Abgabe von Gas
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.09.2018
Stufensystem und Metrologiewerkzeug
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.09.2018
System for evacuating a chamber
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.03.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.09.2018
Euv cleaning systems and methods thereof for an extreme ultraviolet light source
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
12.09.2018
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.05.2002
Erteilt am 12.09.2018
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.09.2018
Radiation Source
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.09.2018
Inspektionsverfahren und Gerät, lithographisches Gerät, lithographische Prozesslinie und Verfahren zum Herstellen von Bauelementen
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.07.2007
Erteilt am 05.09.2018
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
Leeming, John Gerard · London
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.09.2018
Lithografische Vorrichtung und Lorentzschalter
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.09.2009
Erteilt am 05.09.2018
Vertretung
Maas, Abraham Johannes · Veldhoven
Maas, Abraham Johannes · Veldhoven
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.09.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung Elektromagnetischer Streuungseigenschaften einer Struktur und zur Rekonstruktion Annähernder Strukturen
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.09.2018
Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Radiation Source
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 23.11.2017
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Lithographic apparatus, lithographic projection apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Methods of aligning a diffractive optical system and diffractive optical element
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Method of measuring variation, inspection system, computer program, and computer system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Methods of determining scattering of radiation by structures of finite thicknesses on a patterning device
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Patterning device, a method of making the same, and a patterning device design method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Methods of determining process models by machine learning
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Computational Metrology
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Etch bias characterization and method of using the same
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.08.2018
Load lock system for charged particle beam imaging
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.02.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.08.2018
Verfahren zum Ausrichten eines Beugenden Optischen Systems und Diffraktives Optisches Element
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.08.2018
Verfahren zur Messung einer Variation, Inspektionssystem, Computerprogramm und Computersystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.08.2018
Vorrichtung zur Euv-Plasmaquellen-Zielablieferung
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.02.2006
Erteilt am 22.08.2018
Vertretung
Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.08.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Lithographischen Herstellungsverfahrens
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.08.2018
Methods for controlling lithographic apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.12.2017
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.08.2018
Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.08.2018
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 11.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.08.2018
Reticle clamping device
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.08.2018
Gerät und Verfahren zur Inspektion von Strukturen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.08.2018
Method and system for increasing accuracy of pattern positioning
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.12.2017
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.08.2018
Metrology method, apparatus and computer program
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.08.2018
Lithographic apparatus, lithographic projection apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 11.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.08.2018
Metrology method and apparatus and associated computer product
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.08.2018
Lasererzeugte Plasma-Euv-Lichtquelle
Medizintechnik & Gesundheit
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 11.06.2008
Erteilt am 08.08.2018
Vertretung
Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB · München
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.08.2018
Metrologieverfahren, Vorrichtung und Computerprogramm
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.08.2018
Verfahren zur Steuerung einer Lithografischen Vorrichtung, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.08.2018
A lithography apparatus and a method of manufacturing a device
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.12.2017
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.08.2018
Method and apparatus for measuring a structure on a substrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 10.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.08.2018
Methods of tuning process models
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-Profil