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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
19.09.2018
Metrologieverfahren und Verfahren zur Vorrichtungsherstellung
Optik & Fototechnik
19.09.2018
Vorrichtung zur Abgabe von Gas
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.09.2018
Stufensystem und Metrologiewerkzeug
Optik & Fototechnik
13.09.2018
System for evacuating a chamber
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2018
Euv cleaning systems and methods thereof for an extreme ultraviolet light source
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
12.09.2018
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
07.09.2018
Radiation Source
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
05.09.2018
Inspektionsverfahren und Gerät, lithographisches Gerät, lithographische Prozesslinie und Verfahren zum Herstellen von Bauelementen
Optik & Fototechnik
05.09.2018
Lithografische Vorrichtung und Lorentzschalter
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
05.09.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Berechnung Elektromagnetischer Streuungseigenschaften einer Struktur und zur Rekonstruktion Annähernder Strukturen
Optik & Fototechnik
05.09.2018
Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
30.08.2018
Radiation Source
Elektronik & Schaltungstechnik
30.08.2018
Lithographic apparatus, lithographic projection apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
30.08.2018
Methods of aligning a diffractive optical system and diffractive optical element
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.08.2018
Method of measuring variation, inspection system, computer program, and computer system
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2018
Methods of determining scattering of radiation by structures of finite thicknesses on a patterning device
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
30.08.2018
Patterning device, a method of making the same, and a patterning device design method
Optik & Fototechnik
30.08.2018
Methods of determining process models by machine learning
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
30.08.2018
Computational Metrology
Optik & Fototechnik
30.08.2018
Etch bias characterization and method of using the same
Optik & Fototechnik
30.08.2018
Load lock system for charged particle beam imaging
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.08.2018
Verfahren zum Ausrichten eines Beugenden Optischen Systems und Diffraktives Optisches Element
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.08.2018
Verfahren zur Messung einer Variation, Inspektionssystem, Computerprogramm und Computersystem
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2018
Vorrichtung zur Euv-Plasmaquellen-Zielablieferung
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Lithographischen Herstellungsverfahrens
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.08.2018
Methods for controlling lithographic apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
16.08.2018
Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.08.2018
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
16.08.2018
Reticle clamping device
Optik & Fototechnik
15.08.2018
Gerät und Verfahren zur Inspektion von Strukturen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.08.2018
Method and system for increasing accuracy of pattern positioning
Optik & Fototechnik
09.08.2018
Metrology method, apparatus and computer program
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.08.2018
Lithographic apparatus, lithographic projection apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
09.08.2018
Metrology method and apparatus and associated computer product
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.08.2018
Lasererzeugte Plasma-Euv-Lichtquelle
Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik
08.08.2018
Metrologieverfahren, Vorrichtung und Computerprogramm
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.08.2018
Verfahren zur Steuerung einer Lithografischen Vorrichtung, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
02.08.2018
A lithography apparatus and a method of manufacturing a device
Optik & Fototechnik
02.08.2018
Method and apparatus for measuring a structure on a substrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.08.2018
Methods of tuning process models
Optik & Fototechnik

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