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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
26.07.2018
Lithographic apparatus and method
Optik & Fototechnik
26.07.2018
Generating predicted data for control or monitoring of a production process
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
26.07.2018
Knowledge recommendation for defect review
Steuerungs- & Regelungstechnik
26.07.2018
Defect pattern grouping method and system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.07.2018
Defect displaying method
Software & Datenverarbeitung
26.07.2018
Cascade Defect Inspection
Software & Datenverarbeitung
25.07.2018
Substrattisch, Lithographievorrichtung, Inspektionsgerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
25.07.2018
Erzeugung von Vorhersagedaten zur Regelung oder Überwachung eines Produktionsprozesses
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
19.07.2018
Reducing Speckle in an Excimer Light Source
Optik & Fototechnik
18.07.2018
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
18.07.2018
Substrathandhabungssystem und Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
12.07.2018
Reducing an Optical Power Of A Reflected Light Beam
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.07.2018
Guiding device and associated system
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
05.07.2018
Methods of determining scattering of radiation by structures of finite thicknesses on a patterning device
Optik & Fototechnik
05.07.2018
Methods of guiding process models and inspection in a manufacturing process
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
05.07.2018
Lithographic process&apparatus and inspection process and apparatus
Optik & Fototechnik
05.07.2018
Simulation-assisted alignment between metrology image and design
Optik & Fototechnik
05.07.2018
Metrology tool and method of using the same
Optik & Fototechnik
05.07.2018
Multi-image particle detection system and method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.07.2018
Reflektor für Streifenden Einfall, Lithographiegerät, Verfahren zur Herstellung eines Reflektors für Streifenden Einfall und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.07.2018
Lithographische Vorrichtung, Verfahren zur Übertragung eines Substrats und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
04.07.2018
Lithographisches Verfahren und Vorrichtung sowie Prüfverfahren und Vorrichtung
Optik & Fototechnik
28.06.2018
Metrology sensor, lithographic apparatus and method for manufacturing devices
Optik & Fototechnik
28.06.2018
Method and apparatus for pattern fidelity control
Optik & Fototechnik
28.06.2018
Charged particle beam inspection of ungrounded samples
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.06.2018
Niveausensor für ein lithografisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
27.06.2018
Positionskalibrierung von Ausrichtungsköpfen in einem Mehrfach-Kopf-Ausrichtungssystem
Optik & Fototechnik
27.06.2018
Verfahren zum Optimierung eines Lithografischen Verfahrens
Optik & Fototechnik
27.06.2018
Verfahren zur Bestimmung einer Position eines Merkmals
Optik & Fototechnik
21.06.2018
Lithography apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
21.06.2018
An optical device and associated systems
Optik & Fototechnik
21.06.2018
Radiation source apparatus and method, lithographic apparatus and inspection apparatus
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
21.06.2018
Method of measuring a structure, inspection apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
21.06.2018
Methods and apparatus for calculating electromagnetic scattering properties of a structure and for reconstruction of approximate structures
Optik & Fototechnik
21.06.2018
Method for monitoring a characteristic of illumination from a metrology apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.06.2018
Lithographic apparatus and method
Optik & Fototechnik
21.06.2018
Method and apparatus for image analysis
Optik & Fototechnik
21.06.2018
Method of measuring a property of a substrate, inspection apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
20.06.2018
Verfahren zur Messung einer Struktur, Inspektionsvorrichtung, Lithographiesystem und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
20.06.2018
Verfahren zur Überwachung der Eigenschaft von Beleuchtung aus einer Metrologievorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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