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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
06.05.2004
Kollektor mit Befestigungseinrichtungen zum Befestigen von Spiegelschalen
EP1415199
Optik & Fototechnik
29.04.2004
Optische Anordnung und Verfahren zur Bestimmung und Durchführung einer Deformation einer Optischen Oberfläche eines Optischen Elements Gehörend zu der Optischen Anordnung
WO2004036316
Optik & Fototechnik
22.04.2004
Gehäuse für ein Projektionsobjektiv in der Mikrolithographie mit Passflächen zu Montage und Justage
WO2004034149
Optik & Fototechnik
15.04.2004
Beleuchtungssystem F R eine Wellenl Nge = 193 Nm mit Sensoren zur Bestimmung der Ausleuchtung
WO2004031854
Optik & Fototechnik
14.04.2004
Verzögerungselement aus Kubischem Kristall und Optische Systeme damit
EP1407299
Optik & Fototechnik
14.04.2004
Kompensation der Doppelbrechung in einem Objektiv mit Kristall-Linsen
EP1407325
Optik & Fototechnik
07.04.2004
Sensor zur Strahlungsenergiebestimmung und Verwendung hierfür
EP1405144
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
31.03.2004
Interferometersystem, Verfahren zum Aufnehmen eines Interferogramms und Verfahren zum Bereitstellen und Herstellen eines Objekts mit einer Soll-Oberfläche
EP1402228
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
25.03.2004
Binär Geblazetes Diffraktives Optisches Element
WO2004025335
Optik & Fototechnik
18.03.2004
Optimierverfahren F R ein Objektiv mit Fluorid-Kristall-Lins En sowie Objektiv mit Fluorid-Kristall-Linsen
WO2004023172
Optik & Fototechnik
10.03.2004
Katadioptrisches Objektiv mit zwei Zwischenbildern
EP1098215
Optik & Fototechnik
04.03.2004
Vorrichtung zur Aufnahme einer Optischen Baugruppe in einer Abbildungseinrichtung
WO2004019104
Optik & Fototechnik
03.03.2004
Beleuchtungssystem mit einer Vielzahl von Einzelgittern
EP1393134
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
25.02.2004
Beleuchtungssystem mit variabler Einstellung der Ausleuchtung
EP1202101
Optik & Fototechnik
25.02.2004
Objektiv mit Fluorid-Kristall-Linsen
EP1390783
Optik & Fototechnik
25.02.2004
Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie
EP1390813
Optik & Fototechnik
19.02.2004
Optische Komponente umfassend ein Material mit einem Nulldurchgang der Thermischer L Ngsausdehnung
WO2004015477
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
18.02.2004
Optisches Strahlführungssystem und Verfahren zur Kontaminationsverhinderung optischer Komponenten hiervon
EP1235110
Optik & Fototechnik
11.02.2004
Vorrichtung zur Aufnahme eines optischen Elementes aus einem kristallinen Material während eines Aufdampfprozesses
EP1223231
Metallurgie & Oberflächentechnik
14.01.2004
Vorrichtung zum Verbinden von Gehäusen oder Fassungen für optische Elemente
EP1148368
Optik & Fototechnik
07.01.2004
Vorrichtung zur Justierung von Einrichtungen und zum Einstellen von Verstellwegen
EP1245983
Optik & Fototechnik
02.01.2004
Katadioptrisches Reduktionsobjektiv
EP1260845
Optik & Fototechnik
31.12.2003
Katadioptrisches Reduktionsobjektiv
WO2004001480
Optik & Fototechnik
24.12.2003
Verfahren zur Filterung von Strahlung
WO03107096
Optik & Fototechnik
18.12.2003
Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv F R die Mikrolith Ographie
WO03104897
Optik & Fototechnik
10.12.2003
Katadioptrisches Objektiv mit physikalischem Strahlteiler
EP1102100
Optik & Fototechnik
03.12.2003
Mikrolithographie-Projektionsbelichtung mit tangentialer Polarisation
EP1130470
Optik & Fototechnik
27.11.2003
Beleuchtungsanlage für die Mikrolithographie
WO03098349
Optik & Fototechnik
06.11.2003
Projektionsverfahren und Projektionssystem mit Optischer Filterung
WO03092256
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
06.11.2003
Werkst Ckoberfl Chenbearbeitungskopf
WO03090973
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
29.10.2003
Beleuchtungssystem mit Feldspiegeln zur Erzeugung einer gleichmässigen Abtastenergie
EP1031882
Optik & Fototechnik
23.10.2003
Vorrichtung zur Deformationsarmen Lagerung eines nicht Rotationssymmetrischen Optischen Elementes
WO03087944
Optik & Fototechnik
02.10.2003
Optical broad band element and process for its production
WO03081187
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
01.10.2003
Optisches Projektionssystem
EP1111425
Optik & Fototechnik
17.09.2003
Objektiv mit mindestens einer Asphärischen Linse
EP1344111
Optik & Fototechnik
17.09.2003
Projektionsobjektiv
EP1344112
Optik & Fototechnik
17.09.2003
Katadioptrisches Reduktionsobjektiv
EP1227354
Optik & Fototechnik
12.09.2003
Refractive Projection Objective
WO03075049
Optik & Fototechnik
10.09.2003
Projektionssystem für die Euv-Lithographie
EP1342128
Optik & Fototechnik
27.08.2003
System zur Kompensation von Richtungs- und Positionsschwankungen eines von einem Laser erzeugten Lichtes
EP1107039
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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