Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
1.949 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
04.11.2004
System zur Optischen Projektion
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.11.2004
Beleuchtungssystem insbesondere für Microlithographie
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.11.2004
Verfahren zur Korrektur von Schwingungsinduzierten Abbildungsfehlern in einem Objektiv
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 27.01.2003
Anhängig
Vertretung
Lorenz, Werner · Heidenheim
Lorenz, Werner · Heidenheim
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.10.2004
Projektionsobjektiv, Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterschaltung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.03.2004
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.10.2004
Katadioptrisches Reduktionsobjektiv mit Polarisationsstrahlteiler
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.04.2004
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.10.2004
System zum Einstellen und Aufrechterhalten einer Gasatmosph Re in einem Optischen System
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.04.2004
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.10.2004
Optisches Element zur Bildung eines Bogenförmigen Feldes
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.10.2004
Diffusor, Wellenfrontquelle, Wellenfrontsensor und Projektionsbelichtungsanlage
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.08.2003
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.10.2004
Catadioptric Projection Objective
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.04.2004
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.10.2004
Verfahren zum Aufheizen eines Werkstückes, insbesondere eines optischen Elementes
Kunststoff- & Polymertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.10.2004
Vorrichtung zur Deformationsarmen Austauschbaren Lagerung eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.03.2003
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.10.2004
Vorrichtung zum Temperaturausgleich für thermisch belastete Körper mit niederer Wärmeleitfähigkeit, insbesondere für Träger reflektierender Schichten oder Substrate in der Optik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.08.2001
Erteilt am 06.10.2004
Vertretung
Lorenz, Werner · Heidenheim
Lorenz, Werner · Heidenheim
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.09.2004
Lichtintegrator für eine Beleuchtungseinrichtung
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.12.2001
Erteilt am 29.09.2004
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.09.2004
6-Spiegel-Mikrolithographie-Projektionsobjektiv
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.09.2004
Verfahren zur Optimierung der Abbildungseigenschaften von mindestens Zwei Optischen Elementen sowie Photolithographisches Fertigungsverfahren
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.09.2004
Reflektives Optisches Element und Euv-Lithographieger T
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 01.03.2004
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.09.2004
Vorrichtung zur Reduzierung der Peakleistung einer Pulslaser-Lichtquelle
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.06.2000
Erteilt am 15.09.2004
Vertretung
Lorenz, Werner · Heidenheim
Lorenz, Werner · Heidenheim
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.09.2004
Katadioptrisches Reduktionsobjektiv
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.07.2002
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.09.2004
Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Oberflächenkontamination eines Teils eines Lithographischen Apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.02.2004
Anhängig
Vertretung
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.08.2004
Verfahren zur dynamischen Manipulation der Position einer Baugruppe in einem optischen System
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.11.2001
Erteilt am 25.08.2004
Vertretung
Lorenz, Werner · Heidenheim
Lorenz, Werner · Heidenheim
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.08.2004
Prozess zur Herstellung von Mehrschichtsystemen
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.10.2001
Anhängig
Vertretung
Kohler Schmid Möbus Patentanwälte · Reutlingen
Kohler Schmid Möbus · Stuttgart
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.08.2004
Piezo-Linearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktuatoren
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.08.2004
Projektionsbelichtungsanlage mit einem Beleuchtungssystem
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.01.2004
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.08.2004
Verfahren zur Herstellung eines Facettenspiegels
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.01.2004
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.08.2004
Optisches Element mit einer Optischen Achse
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.10.2002
Anhängig
Vertretung
Lorenz, Werner · Heidenheim
Lorenz, Werner · Heidenheim
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.08.2004
Kippspiegel
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.10.2002
Anhängig
Vertretung
Lorenz, Werner · Heidenheim
Lorenz, Werner · Heidenheim
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.07.2004
Projektionsobjektiv mit asphärischen Elementen
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.07.2004
Optisches Element, Verfahren zu Seiner Herstellung sowie Lithographische Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiter-Bauelements
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.10.2002
Anhängig
Vertretung
Werner, Anne-Estelle · Münster
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche · Wiesbaden
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.07.2004
Beschichtetes Optisches Element mit Korrektur durch Erzeugung einer Schichtdickenvariation oder Brechzahlvariation in der Beschichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.12.2003
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.07.2004
Vorrichtung und Methode zur Optischen Messung eines Optischen Systems, Behälter hierfür und Projektionsbelichtungsmaschine für die Mikrolithographie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.12.2003
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.07.2004
Projektionsoptik F R die Lithographie und Spiegel F R E Ine Solche
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.10.2003
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.06.2004
Vorrichtung zum Verschieben eines optischen Elementes entlang der optischen Achse
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 23.02.2000
Anhängig
Vertretung
Lorenz, Werner · Heidenheim
Lorenz, Werner · Heidenheim
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.06.2004
Schutzbeschichtung für Reflektive Optische Elemente, Reflektive Optische Elemente und Herstellung von Diesen
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.12.2003
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.06.2004
Katadioptrisches Reduktionsobjektiv
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.09.2002
Anhängig
Vertretung
Muschik, Thomas · Stuttgart
Muschik, Thomas (DE) · Stuttgart
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.06.2004
Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche einer Komponente eines lithographischen Projektionsaparats, lithographischer Projektionsapparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Reinigungssystem
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.12.2003
Anhängig
Vertretung
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
Prins, Adrianus Willem, Mr. Ir · Den Haag
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.06.2004
Vorrichtung zur Optischen Vermessung eines Abbildungssystems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.11.2003
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.06.2004
Strahlenteiler
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.12.2000
Anhängig
Vertretung
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.06.2004
Objektiv, insbesondere Objektiv für eine Halbleiter-Lithographie-Projektionsbelichtungsanlage und Herstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 27.04.2000
Erteilt am 02.06.2004
Vertretung
Lorenz, Werner · Heidenheim
Lorenz, Werner · Heidenheim
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.05.2004
Beleuchtungseinrichtung für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungs-Anlage
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.10.2003
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
12.05.2004
Beleuchtungssystem
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 23.07.2002
Anhängig
Vertretung
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11