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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
14.08.2003
Spiegelfacette F R einen Facettenspiegel
Optik & Fototechnik
13.08.2003
Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes, z.B. einer Linse in einem Objektiv
Optik & Fototechnik
06.08.2003
Optisches Element zur Bildung eines bogenförmigen Beleuchtungsfeldes
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
16.07.2003
8-Spiegel-Mikrolithographie-Projektionsobjektiv
Optik & Fototechnik
26.06.2003
Katadioptisches Reduktionsobjektiv
Optik & Fototechnik
25.06.2003
Belichtungsgerät, insbesondere für die Mikrolithographie
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
25.06.2003
Beleuchtungssystem insbesondere für Mikrolithographie
Elektrische Energietechnik
25.06.2003
Beleuchtungssystem insbesondere für Mikrolithograpie
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
25.06.2003
Beleuchtungssystem insbesondere für Mikrolithographie
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
19.06.2003
Spiegelfacette und Facettenspiegel
Optik & Fototechnik
11.06.2003
Reflexionsminderungsbeschichtung für Ultraviolettlicht
Optik & Fototechnik
05.06.2003
Verfahren zum Bestimmen von mindestens einer Kenngrösse, die für die Belauchtungswinkelverteilung einer der Beleuchtung eines Gegenstandes Dienenden Lichtquelle einer Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
19.03.2003
Vorrichtung und Verfahren zur deformationsarmen Lagerung des optischen Elementes
Optik & Fototechnik
27.02.2003
Optische Anordnung
Optik & Fototechnik
27.02.2003
Vorrichtung zur Justage eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
13.02.2003
Objektiv, insbesondere Projektionsobjectiv für die Halbleiter-Lithographie
Optik & Fototechnik
13.02.2003
System zum Vermessen eines Optischen Systems, insbesondere eines Objektives
Optik & Fototechnik
12.12.2002
Reflecting device for electromagnetic waves
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.12.2002
Verfahren zur Absolutkalibrierung eines Interferometers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
11.09.2002
Steuerung der Beleuchtungsverteilung in der Austrittspupille eines Beleuchtungssystems
Optik & Fototechnik
14.08.2002
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Messung von Wellenfront-Aberrationen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.07.2002
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung optischer Elemente
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.07.2002
Mehrspiegelsystem für Beleuchtungssystem
Optik & Fototechnik
20.06.2002
Maskenhalter und Verfahren zum Beschichten von Substraten
Metallurgie & Oberflächentechnik
12.06.2002
Verfahren und Vorrichtung zur In-situ-Dekontamination eines EUV-Lithographiegerätes
Optik & Fototechnik
06.06.2002
Catadioptric projection system for 157 nm lithography
Optik & Fototechnik
24.04.2002
8-Spiegel-Mikrolithographie-Projektionsobjektiv
Optik & Fototechnik
16.08.2001
Optisches Projektionslinsensystem
Optik & Fototechnik
28.03.2001
Verstellbare Baugruppe
Optik & Fototechnik

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