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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
08.07.2010
High Pressure Bevel Etch Process
WO2010077299
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.07.2010
Verfahren zur dynamischen Ausrichtung von Substraten
EP1698955
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2010
Plasma Confinement Structures in Plasma Processing Systems
WO2010071785
Elektronik & Schaltungstechnik
23.06.2010
Verfahren zur Herstellung einer Silizium-Elektrode für Plasma-Reaktionskammer
EP1497849
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.06.2010
Platen and adapter assemblies for facilitating silicon electrode polishing
WO2010068752
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.06.2010
Immersive oxidation and etching process for cleaning silicon electrodes
WO2010068753
Elektronik & Schaltungstechnik
09.06.2010
Hf-Pulsen eines Kapazitiv Gekoppelten Narrow-Gap-Reaktors
EP1620876
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.06.2010
Confinement of foam delivered by a proximity head
WO2010062918
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.05.2010
Herstellungsmethode in Kammer mit Schnellem Arbeitszyklus und einem Oben Angeordneten Stickstoffspülgas-Einlass
EP1415013
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.05.2010
Plating solutions for electroless deposition of ruthenium
WO2010056612
Metallurgie & Oberflächentechnik
14.05.2010
Composition of a cleaning material for particle removal
WO2010053642
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
14.05.2010
Composition and application of a two-phase contaminant removal medium
WO2010053643
Verfahrens- & Trenntechnik
05.05.2010
Kontrolle der Raumumgebung während des Trocknen von Wafern
EP1583136
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.04.2010
Method and apparatus for removing photoresist
WO2010047970
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.04.2010
Silicon etch with passivation using chemical vapor deposition
WO2010047978
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.04.2010
Silicon etch with passivation using plasma enhanced oxidation
WO2010047976
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.04.2010
Edm spindle assembly with fluid seal
WO2010044980
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
22.04.2010
Pre-coating and wafer-less auto-cleaning system and method
WO2010045513
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.04.2010
Verfahren zur Bereitstellung einer Eingegrenzten Flüssigkeit für die Immersionslithographie
EP1636654
Optik & Fototechnik
15.04.2010
System and method for testing an electrostatic chuck
WO2010042908
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.04.2010
Method of refurbishing bipolar electrostatic chuck
WO2010042907
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2010
Vorrichtung und Verfahren zur Nassbehandlung Plattenförmiger Artikel
EP2171744
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2010
Methods and systems for preventing feature collapse during microelectronic topography fabrication
WO2010036575
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2010
Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung von Waferoberflächen
EP2169706
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
25.03.2010
Method and apparatus for surface treatment of semiconductor substrates using sequential chemical applications
WO2010033144
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.03.2010
Sidewall Forming Processes
WO2010033434
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.03.2010
Methods and solutions for preventing the formation of metal particulate defect matter upon a substrate after a plating process
WO2010027950
Metallurgie & Oberflächentechnik
11.03.2010
Cleaning solution formulations for substrates
WO2010028186
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
10.03.2010
System, Verfahren und Vorrichtung zur Aufrechterhaltung der Trennung von Flüssigkeiten in einem Gesteuerten Meniskus
EP2160756
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.03.2010
Verfahren und Vorrichtung zur Kompensation der Randringabnutzung in einer Plasmaverarbeitungskammer
EP1540695
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.02.2010
Edge rings for electrostatic chucks
WO2010021890
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
25.02.2010
Removing Bubbles From A Fluid Flowing Down Through A Plenum
WO2010022004
Verfahrens- & Trenntechnik
24.02.2010
Keramische Elektrostatische Haltevorrichtung und deren Verwendung
EP1399964
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2010
Temperature Controlled Hot Edge Ring Assembly
WO2010019196
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
11.02.2010
Generator for foam to clean substrate
WO2010017146
Verfahrens- & Trenntechnik
03.02.2010
Korrosionsbeständiges Bauteil für Anlage zur Behandlung von Halbleitern und Verfahren zu Seiner Herstellung
EP1345703
Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
27.01.2010
Fluidabgabeeinrichtung
EP1771875
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2010
Amélioration De La Rugosité De Largeur De Ligne Organique Avec Un Traitement Par Plasma H<SB>2</SB>
WO2010008967
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2010
Capacitively-coupled electrostatic (cce) probe arrangement for detecting strike step in a plasma processing chamber and methods thereof
WO2010005930
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2010
Capacitively-coupled electrostatic (cce) probe arrangement for detecting dechucking in a plasma processing chamber and methods thereof
WO2010005931
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Elektronik & Schaltungstechnik
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141
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118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
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31

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