Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
6.253 gesamt| Patent | |||
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18.09.2008
Method of coating application, coating application apparatus and computer readable storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.02.2008
Anhängig
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18.09.2008
Method and system for monitoring contamination on a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.02.2008
Anhängig
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18.09.2008
Dynamic temperature backside gas control for improved within-substrate processing uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.03.2008
Anhängig
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17.09.2008
Halbleiterbauelement und Herstellungsverfahren dafür
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.09.2008
Electronic device, method for fabricating electronic device, structure of sealing film, apparatus for fabricating electronic device, and plasma processing equipment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 27.02.2008
Anhängig
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12.09.2008
Method for manufacturing semiconductor device and recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.03.2008
Anhängig
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12.09.2008
Processing system and method for performing high throughput non-plasma processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.03.2008
Anhängig
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04.09.2008
Method of cleaning plasma-treating apparatus, plasma-treating apparatus where the cleaning method is practiced, and memory medium memorizing program executing the cleaning method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.02.2008
Anhängig
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04.09.2008
Method for forming amorphous carbon film, amorphous carbon film, multilayer resist film, method for manufacturing semiconductor device, and computer-readable recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.02.2008
Anhängig
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04.09.2008
Method for forming srtio3 film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.02.2008
Anhängig
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28.08.2008
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2008
Anhängig
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28.08.2008
Method of treating substrate and pre-wetting solvent for upper-film-forming material to be applied to surface of resist film
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.02.2008
Anhängig
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27.08.2008
Dünnfilmausdehnungsvorrichtungsreinigungsverfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.02.2002
Erteilt am 27.08.2008
Vertretung
Liesegang, Roland · München
Liesegang, Roland · München
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21.08.2008
Etching apparatus, etching method, and method for production of electronic device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.02.2008
Anhängig
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21.08.2008
Substrate position detecting apparatus and method for adjusting position of imaging component of the substrate position detecting apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.02.2008
Anhängig
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20.08.2008
Anpassungsvorrichtung und Plasma-Behandlungsanlage
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 12.10.2000
Erteilt am 20.08.2008
Vertretung
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20.08.2008
Mikrowellen-Einführungseinrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 15.11.2006
Anhängig
Vertretung
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14.08.2008
Film forming method, substrate processing apparatus, and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.01.2008
Anhängig
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14.08.2008
Multi-zone gas distribution system for a treatment system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.01.2008
Anhängig
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14.08.2008
Placing bed structure, treating apparatus using the structure, and method for using the apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2008
Anhängig
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14.08.2008
Etching method and recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.02.2008
Anhängig
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14.08.2008
Server device, information processing method, and program
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.02.2008
Anhängig
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14.08.2008
Substrate processing method and coating/developing apparatus
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 01.02.2008
Anhängig
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13.08.2008
Brausenplatte und Plasmabehandlungsvorrichtung mit Brausenplatte
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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07.08.2008
Semiconductor wafer boat for batch processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 01.02.2008
Anhängig
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07.08.2008
Method and system for fabricating a nano-structure
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 28.06.2007
Anhängig
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07.08.2008
Treating system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2008
Anhängig
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07.08.2008
Deposition apparatus, deposition method and deposition apparatus manufacturing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2008
Anhängig
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07.08.2008
Substrate treating apparatus and method of preventing particle adhesion
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.01.2008
Anhängig
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31.07.2008
Conveyance position aligning method for conveyance system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2007
Anhängig
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31.07.2008
Sputter method and sputter device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.01.2008
Anhängig
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31.07.2008
Ceiling member, and plasma-treating apparatus using the ceiling member
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.01.2008
Anhängig
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30.07.2008
Behandlungssystem
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2002
Erteilt am 30.07.2008
Vertretung
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24.07.2008
Plasma processing apparatus, plasma processing method and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 27.12.2007
Anhängig
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24.07.2008
Table structure, and processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.01.2008
Anhängig
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17.07.2008
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor manufacturing apparatus and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.12.2007
Anhängig
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10.07.2008
Pressure wave generator and temperature controlling method thereof
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 17.12.2007
Anhängig
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10.07.2008
Pressure wave generator and heat dissipation method thereof
Verfahrens- & Trenntechnik
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Angemeldet am 17.12.2007
Anhängig
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10.07.2008
Semiconductor Chip Manufacturing Method, Semiconductor Chip Manufacturing Apparatus, Semiconductor Chip Dividing Jig
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.12.2007
Anhängig
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10.07.2008
Method for forming insulating film and method for manufacturing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.12.2007
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.300
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
791
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56