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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt
Patent
10.07.2008
Method for forming insulating film and method for manufacturing semiconductor device
WO2008081723
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.07.2008
Inspecting method, inspecting apparatus and computer readable storage medium having program stored therein
WO2008081752
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.07.2008
Substrate treatment device
WO2008081769
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2008
Oxidationsmethode und -system
EP1152461
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2008
Verfahren zur Substratbearbeitung, Computerlesbares Aufzeichnungsmedium, Vorrichtung zur Substratbearbeitung und System zur Substratbearbeitung
EP1942521
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2008
Verfahren zur Ausbildung einer Silizium-Epitaxialschicht
EP1498938
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2008
Behandlungsvorrichtung, die Rohmaterialgas und reaktives Gas benutzt
EP1942206
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2008
Film forming apparatus and method of forming film
WO2008078501
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2008
Probe inspecting device, displacement correcting method, information processor, information processing method, and program
WO2008078405
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2008
Gas treatment apparatus, gas treatment method and storage medium
WO2008078651
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2008
Ion injecting device, and ion injecting method
WO2008078636
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
03.07.2008
Pattern forming method and method for manufacturing semiconductor device
WO2008078637
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2008
Substrate treatment apparatus and cleaning method
WO2008078691
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2008
Substrate processing system, control apparatus, setting information monitoring method and storage medium having setting information monitoring program stored therein
WO2008078690
Steuerungs- & Regelungstechnik
03.07.2008
Method and system for controlling a vapor delivery system
WO2008079741
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.06.2008
Substrate treating apparatus and method of treating substrate
WO2008075643
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2008
Electron lithography method
WO2008075599
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2008
Method for selective removal of damaged multi-stack bilayer films
WO2008076663
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2008
Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Sensorkapazität
EP1424562
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation
25.06.2008
Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren
EP1936671
Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
19.06.2008
Method for separating bonded substrates, apparatus for separating bonded substrates and computer readable recording medium having program recorded thereon
WO2008072543
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2008
Method and apparatus for ashing a substrate using carbon dioxide
WO2008073379
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.06.2008
Defect detecting device, defect detecting method, information processing device, information processing method, and program therefor
WO2008068896
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
12.06.2008
Defect detecting device, defect detecting method, information processing device, information processing method and program
WO2008068894
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
12.06.2008
Defect detecting device, defect detecting method, information processing device, information processing method, and program therefor
WO2008068895
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
11.06.2008
Einrichtung zur Untersuchung Minutiöser Strukturen, Untersuchungsverfahren und Untersuchungsprogramm
EP1930732
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2008
Immersion exposure coat film forming apparatus and immersion exposure coat film forming method
WO2008065924
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2008
Semiconductor device production apparatus and semiconductor device production method
WO2008066013
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2008
Substrate processing apparatus
WO2008066103
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik
05.06.2008
Film forming method, film forming apparatus, storage medium and semiconductor device
WO2008066172
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.05.2008
Method and apparatus for perforating glass substrate
WO2008062643
Anorganische Chemie & Werkstoffe
29.05.2008
Treatment apparatus, method of treating and recording medium
WO2008062826
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2008
Substrate Carrying Equipment
WO2008059684
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2008
Substrate processing method and substrate processing system
WO2008059686
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2008
Processing system, processing method and recording medium
WO2008059799
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2008
Method for supplying treatment gas, treatment gas supply system, and system for treating object
WO2008059831
Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.05.2008
Substrate processing method and substrate processing system
WO2008059891
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2008
Host control device, slave control device, screen operation right giving method, and storage medium containing screen operation right giving program
WO2008059921
Steuerungs- & Regelungstechnik
15.05.2008
Server device, information processing method, and program
WO2008056583
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2008
Reflow method, pattern-forming method, and method for manufacturing tft
WO2008056610
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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145
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141
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82
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69
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56

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