Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

6.253 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
06.12.2007	06.12.2007 Method of film deposition, apparatus for film deposition, memory medium, and semiconductor device WO2007138841 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2007	05.12.2007 Thermische Behandlungsvorrichtung und Verfahren EP1160838 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.05.2001 Erteilt am 05.12.2007 Vertretung Liesegang, Roland · München Liesegang, Roland · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2007	05.12.2007 Schieber für Vakuumbehandlungseinrichtung EP1712822 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.04.2006 Erteilt am 05.12.2007 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2007	05.12.2007 Kondensator und dessen Herstellungsverfahren EP1758152 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.08.2006 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2007	05.12.2007 Schaltarray EP1863046 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.03.2006 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2007	29.11.2007 Method and apparatus for forming silicon oxide film WO2007136049 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2007	29.11.2007 Substrate processing apparatus, device inspecting method, device inspecting program and recording medium having the program recorded therein WO2007135834 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2007	29.11.2007 Method and apparatus for matching defect distribution pattern WO2007135917 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2007	28.11.2007 Verwendung von Reinigungsgas EP1020236 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.01.2000 Erteilt am 28.11.2007 Vertretung Manitz, Finsterwald & Partner GbR · München Manitz, Finsterwald & Partner · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2007	28.11.2007 Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zum Untersuchen der Substratverarbeitungsbedingungen und Speichermedium EP1833077 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.03.2007 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2007	22.11.2007 In-situ formation of oxidized aluminum nitride films WO2007134035 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2007	21.11.2007 Testkarte und Apparat, um Mikrostrukturen zu überprüfen EP1707532	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2006 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2007	15.11.2007 Imaging position correction method, imaging method, and substrate imaging apparatus WO2007129733 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2007	14.11.2007 Verfahren und Vorrichtung zum Testen Elektrischer Eigenschaften eines zu Prüfenden Objekts EP1637893 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2004 Erteilt am 14.11.2007 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2007	14.11.2007 Prozess zum Herstellen eines Modifizierten Porösen Silikafilms, durch den Prozess Erhaltener Modifizierter Poröser Silikafilm und den Modifizierten Porösen Silikafilm Verwendendes Halbleiterbauelement EP1855313 Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.02.2006 Anhängig Vertretung AMMANN PATENTANWÄLTE AG · Bern AMMANN PATENTANWAELTE AG BERN · Bern Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2007	14.11.2007 Vorrichtung, Verfahren und Programm zur Inspektion Winziger Strukturen EP1855107 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.03.2006 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Apparatus for inspecting fine structure and method for inspecting fine structure WO2007125756 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Method for depositing ti film WO2007125836 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Process information managing device and program WO2007125886 Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Film position adjusting method, memory medium and substrate processing system WO2007126016 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Sequential oxide removal using fluorine and hydrogen WO2007126460 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Method and system for patterning a dielectric film WO2007126445 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Film forming method, film forming device, and storage medium WO2007125748 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Method for depositing ti film WO2007125837 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Low-temperature dielectric formation for devices with strained germanium-containing channels WO2007126463 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Method for removing damaged dielectric material WO2007126461 Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Post-etch treatment system for removing residue on a substrate WO2007126468 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2007	08.11.2007 Method for conditioning a process chamber WO2007126469 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.02.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2007	01.11.2007 Probe card and glass substrate drilling method WO2007123150 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2007	01.11.2007 Method for depositing ti film WO2007123211 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2007	01.11.2007 In-Die Optical Metrology WO2007123696 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2007	01.11.2007 Creating a library for measuring a damaged structure formed on a wafer using optical metrology WO2007123698 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.11.2007	01.11.2007 Method for depositing ti film WO2007123212 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2007	31.10.2007 Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung von Substraten EP1094501 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.10.2000 Erteilt am 31.10.2007 Vertretung Waldren, Robin Michael · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2007	31.10.2007 Temperatureinstellverfahren für eine Wärmebehandlungsplatte, Temperatureinstellvorrichtung für eine Wärmebehandlungsplatte, Programm und ein das Programm Aufzeichnendes Computerlesbares Aufzeichnungsmedium EP1850372 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.02.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.10.2007	25.10.2007 Feeder for drug solution or ultrapurified water, board treating system, board treating device or board treating method WO2007119745 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.10.2007	25.10.2007 Substrate treating apparatus and treating gas emitting mechanism WO2007119612 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2007	24.10.2007 Heizer mit Abdichtung aus Drahtheizelementobjekt aus Kohlenstoff und Vorrichtung zum Heizen einer Flüssigkeit die denselben Heizer benützt EP1349429 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2007	18.10.2007 Dynamic metrology sampling with wafer uniformity control WO2007117737 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.01.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.10.2007	18.10.2007 Processing apparatus WO2007116940 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen