Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
24.01.2007	24.01.2007 Mehrsäulige Ladungspartikel-Optikbaugruppe EP1745492 Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2005 Anhängig Vertretung Jehan, Robert · Bromley Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.01.2007	18.01.2007 Probe Card WO2007007544 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.01.2007	18.01.2007 Substrate stage mechanism and substrate processing apparatus WO2007007744 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.01.2007	18.01.2007 Probe Card WO2007007736 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.01.2007	18.01.2007 Method and device for forming hole in glass substrate WO2007007783 Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.01.2007	11.01.2007 Removal of residues for low-k dielectric materials in wafer processing WO2007005197 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.01.2007	11.01.2007 Method for forming tungsten film, film-forming apparatus, storage medium and semiconductor device WO2007004443 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.01.2007	10.01.2007 Verfahren zur Bildung eines Gateisolationsfilms, Speichermedium und Computerprogramm EP1742273 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.04.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.01.2007	03.01.2007 Wärmebehandlungsverfahren EP1381079 Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.03.2002 Erteilt am 03.01.2007 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.12.2006	28.12.2006 Gas treatment method and computer readable storage medium WO2006137402 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.12.2006	28.12.2006 Heat treating device WO2006137439 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.12.2006	28.12.2006 Constitutional member for semiconductor processing apparatus and method for producing same WO2006137541 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2006	27.12.2006 Aktivitätsverwaltungssystem und Benutzungsverfahren EP1735738 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2006	27.12.2006 Testeinrichtung die für eine Vielzahl Verschiedener Tester Tauglich Ist EP1736787 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.03.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2006	27.12.2006 Vertikal-Wärmebehandlungsvorrichtung und Automatisches Lehrverfahren für einen Transfermechanismus EP1737031 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.03.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2006	27.12.2006 Flüssigkeitsbehandlungsvorrichtung und Flüssigkeitsbehandlungsverfahren EP1736568 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2006	27.12.2006 Board-Reinigungsvorrichtung, Board-Reinigungsverfahren und Medium mit Aufgezeichnetem Programm zur Verwendung für das Verfahren EP1737025 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2006	21.12.2006 Method for manufacturing semiconductor device and computer storage medium WO2006134879 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.12.2006	21.12.2006 Film-forming and cleaning method WO2006135007 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2006	20.12.2006 Verfahren und System zur Run-To-Run-Steuerung EP1733325 Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.02.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.12.2006	20.12.2006 Verfahren und Vorrichtung zur Bildung einer Metallschicht EP1733069 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.02.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Andréasson, Ivar · Hagfors Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.12.2006	14.12.2006 Apparatus and method for measuring the concentration of organic gas WO2006132156 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.12.2006	14.12.2006 Sealing structure of vacuum device WO2006132274 Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.12.2006	14.12.2006 Valve element, valve, selector valve, and trap device WO2006132318 Verfahrens- & Trenntechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2006	13.12.2006 Wärmebehandlungseinrichtung EP1357582 Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.10.2001 Erteilt am 13.12.2006 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.12.2006	13.12.2006 Verfahren und System zur Einstellung eines Chemischen Oxidentfernungsprozesses unter Verwendung von Partialdruck EP1730768 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.02.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Andréasson, Ivar · Hagfors Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.12.2006	07.12.2006 Plasma treatment apparatus and plasma treatment method WO2006129643 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.05.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.12.2006	07.12.2006 Plasma processing apparatus WO2006129591 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.05.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.11.2006	29.11.2006 Verfahren und System zum Korrigieren eines Fehlers in einem Halbleiter-Herstellungssystem EP1725892 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.01.2005 Anhängig Vertretung Klusmann, Peter · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.11.2006	23.11.2006 Plasma treatment apparatus WO2006123526 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.04.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.11.2006	23.11.2006 Treatment of substrate using fuctionalizing agent in supercritical carbon dioxide WO2006124321 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.05.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2006	22.11.2006 Sonde und Sondenherstellungsverfahren EP1724594 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.03.2005 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2006	22.11.2006 Trägersystem und Prüfverfahren EP1538452 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.08.2003 Erteilt am 22.11.2006 Vertretung Schrell, Andreas · Stuttgart Gleiss Große Schrell und Partner mbB Schrell, Andreas · Stuttgart Gleiss Große Schrell und Partner mbB Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2006	22.11.2006 Filmausbildungsvorrichtung EP1724817 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.02.2005 Anhängig Vertretung Schrell, Andreas · Stuttgart Gleiss Große Schrell und Partner mbB Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.11.2006	16.11.2006 Plasma cleaning method, film forming method and plasma treatment apparatus WO2006120843 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.04.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.11.2006	16.11.2006 Plasma cleaning method and film forming method WO2006121117 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2006	15.11.2006 Filmerzeugungsverfahren EP1722405 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.01.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2006	15.11.2006 Plasmaverarbeitungsverfahren und Computerspeichermedium EP1722406 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.03.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann, Klaus · München Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2006	08.11.2006 Kapazitiver Sensor EP1719994 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.02.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.11.2006	08.11.2006 Halbleiterbauelement EP1720201 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.02.2005 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen