Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
22.03.2007	22.03.2007 Method for manufacture of dielectric film having abox type of perovskite-type crystalline structure WO2007032193 Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.03.2007	22.03.2007 Substrate-processing apparatus, substrate-processing method, substrate-processing program, and computer-readable recording medium recorded with such program WO2007032372 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.09.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.03.2007	22.03.2007 Substrate-processing apparatus, substrate-processing method, substrate-processing program, and computer-readable recording medium recorded with such program WO2007032369 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.09.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.03.2007	15.03.2007 Built-in self test for a thermal processing system WO2007030194	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.03.2007	15.03.2007 Built-in self test for a thermal processing system WO2007030193 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.03.2007	15.03.2007 A method of forming a tantalum-containing layer from a metalorganic precursor WO2007030225 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.03.2007	15.03.2007 Magnetron control method, magnetron service life judgment method, microwave generation device, magnetron service life judgment device, processing device, computer program, and storage medium WO2007029580 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.03.2007	15.03.2007 A method of forming a tantalum-containing layer from a metalorganic precursor WO2007030218 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.03.2007	14.03.2007 Substratreinigungsverfahren und Computerlesbares Aufzeichnungsmedium EP1763072 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.06.2005 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.03.2007	08.03.2007 Interrupted deposition process for selective deposition of si-containing films WO2007027275 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.03.2007	08.03.2007 Cleaning method WO2007026762 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2007	01.03.2007 Semiconductor fabrication system, and flow rate correction method and program for semiconductor fabrication system WO2007023614 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2007	01.03.2007 Substrate treating apparatus, and for the substrate treating apparatus, method of substrate delivery, program and program storing recording medium WO2007023639 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2007	01.03.2007 Substrate heating device, coating/development device, and method for heating substrate WO2007023648 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2007	01.03.2007 Ceramic member, ceramic heater, substrate placing mechanism, substrate processing apparatus and method for manufacturing ceramic member WO2007023831 Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2007	01.03.2007 Probe device and method of regulating contact pressure between object to be inspected and probe WO2007023851 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2007	01.03.2007 Semiconductor Wafer Transfer Tray WO2007023746 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2007	01.03.2007 Dielectric film having abox-type perovskite crystalline structure, capacitor using the dielectric film, and method and system for formation of dielectric film having abox-type perovskite crystalline structure WO2007023909 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2007	01.03.2007 Substrate processing apparatus and substrate processing method WO2007023951 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2007	01.03.2007 Method of preparing a film layer-by-layer using plasma enhanced atomic layer deposition WO2007024341 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2007	28.02.2007 Herstellungsverfahren für ein Halbleiterbauelement EP1226604 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2001 Erteilt am 28.02.2007 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2007	28.02.2007 Verfahren zur Stromlosen Metallabscheidung und Vorrichtung zur Stromlosen Metallabscheidung EP1371755 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.01.2002 Erteilt am 28.02.2007 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.02.2007	28.02.2007 Perovskit-Kondensator und Verfahren zu dessen Herstellung EP1758153 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2006 Anhängig Vertretung TBK · München TBK-Patent · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2007	22.02.2007 Low temperature formation of patterned epitaxial si containing films WO2007021421 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2007	22.02.2007 Acoustic sensor device, acoustic analysis diagnosis device, and acoustic analysis diagnosis device manufacturing method WO2007020767 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2007	22.02.2007 Placing table structure, method for manufacturing placing table structure and heat treatment apparatus WO2007020872 Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2007	22.02.2007 Sequential deposition process for forming si-containing films WO2007021385 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2007	22.02.2007 Method and apparatus for monitoring thickness of conductive coating WO2007021350 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.05.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.02.2007	22.02.2007 Low-temperature oxide removal using fluorine WO2007021403 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2007	15.02.2007 Method of forming metallic film and program-storing recording medium WO2007018003 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2007	15.02.2007 Substrate processing apparatus and substrate stage used therein WO2007018157 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2007	15.02.2007 Apparatus and method for inspecting fine structure and inspection program WO2007018186 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2007	15.02.2007 Method for forming w-based film, method for forming gate electrode, and method for manufacturing semiconductor device WO2007018235 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.02.2007	15.02.2007 In-Situ Atomic Layer Deposition WO2007019449 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.08.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.02.2007	14.02.2007 Ofen EP1235262 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.11.2000 Erteilt am 14.02.2007 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.02.2007	07.02.2007 Plattierungsverfahren, -Vorrichtung und -System EP1231300 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.07.2000 Erteilt am 07.02.2007 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.02.2007	01.02.2007 Substrate processing method and substrate processing apparatus WO2007013605 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.02.2007	01.02.2007 Semiconductor device, semiconductor device fabrication method, semiconductor device fabrication method program and semiconductor fabrication device WO2007013580 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.02.2007	01.02.2007 Method for processing metal member and apparatus for processing metal member WO2007013445 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.01.2007	25.01.2007 Gas treatment apparatus WO2007010887 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.07.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen