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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.250 gesamt
Patent
26.05.2006
Synchronization accuracy detecting method and system, aberration detecting method and system, and computer program
WO2006054496
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.05.2006
Method for detecting extraneous matter on thermal treatment plate, thermal treatment device, program, and computer readable recording medium containing the program
WO2006051774
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.05.2006
Elektrode und Herstellungsmethode für eine Elektrode
EP1193751
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
17.05.2006
Quarzglasbauteil für Halbleiterherstellungsanlage und Verfahren zur Metalluntersuchung in einem Quarzglasbauteil
EP1261761
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
17.05.2006
Verfahren zur thermischen Prozessierung
EP1657741
Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
11.05.2006
Insulating film forming method and substrate processing method
WO2006049199
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2006
Liquid treatment apparatus and method for operating same
WO2006049302
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2006
Film forming equipment and film forming method
WO2006049125
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2006
Exposure condition correcting method, substrate processing equipment and computer program
WO2006049037
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2006
Probe
WO2006049133
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2006
Carburetor and film-forming device
WO2006049198
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2006
In-Print-Verfahren und In-Print-Einrichtung
EP1655777
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.05.2006
Substrate treating device and substrate rotating device
WO2006046649
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.05.2006
Film forming method, semiconductor device manufacturing method, semiconductor device, program and recording medium
WO2006046386
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.05.2006
Method for forming gate insulating film, semiconductor device and computer recording medium
WO2006046634
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.05.2006
Film-forming apparatus, film-forming method, program and recording medium
WO2006046531
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.05.2006
Liquid processing apparatus
WO2006046657
Verfahrens- & Trenntechnik
03.05.2006
Halbleiterherstellungssystem und Halbleiterherstellungsprozess
EP1653312
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
27.04.2006
Plasma sputtering film deposition method and equipment
WO2006043554
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2006
Plasma sputtering film deposition method and equipment
WO2006043551
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.04.2006
R2r controller to automate the data collection during a doe
WO2006044016
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
27.04.2006
Probe and method of manufacturing the same
WO2006043645
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
27.04.2006
Liquid quantity monitor, semiconductor manufacturing equipment provided with liquid quantity monitor and method for monitoring liquid material and liquid quantity
WO2006043561
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
26.04.2006
Wärmebehandlungsvorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren der Vorrichtung
EP1650789
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.04.2006
Laminierungsverfahren und Laminierungseinrichtung
EP1650791
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.04.2006
Treatment liquid supply device
WO2006041028
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
20.04.2006
Shield body and vacuum processing apparatus
WO2006040924
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2006
Logarithmischer A/d Wandler, Verfahren zur Logotithmischen A/d Wandlung, Logarithmischer D/a-Wandler,verfahren zur Logarothmischen D/a-Wandlung und System zum Messen einer Physischen Grösse
EP1202460
Elektronik & Schaltungstechnik
19.04.2006
Wärmebehandlungsvorrichtung des Einzelwafertyps für ein Halbleiterverarbeitungssystem
EP1648022
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2006
Schalldetektionsmechanismus
EP1648195
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
13.04.2006
A method for forming a thin complete high-permittivity dielectric layer
WO2006039029
13.04.2006
A method for supercritical carbon dioxide processing of fluoro-carbon films
WO2006039026
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2006
Low-pressure deposition of ruthenium and rhenium metal layers from metal-carbonyl precursors
WO2006038954
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2006
A method and system for forming a feature in a high-k layer
WO2006038974
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2006
Plasma processing system for treating a substrate
WO2006038976
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2006
Method and system for improving coupling between a surface wave plasma source and a plasma space
WO2006038975
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
13.04.2006
Microwave plasma processing apparatus
WO2006038672
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2006
Method and system for homogenization of supercritical fluid in a high pressure processing system
WO2006039314
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.04.2006
Supercritical fluid processing system having a coating on internal members and a method of using
WO2006039317
Verfahrens- & Trenntechnik
13.04.2006
Method and system for injecting chemistry into a supercritical fluid
WO2006039321
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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