Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
13.04.2006	13.04.2006 A method and system for forming a passivated metal layer WO2006039219 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.09.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.04.2006	13.04.2006 Method for treating a substrate WO2006038990 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.04.2006	13.04.2006 Surface wave plasma processing system and method of using WO2006038984 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.04.2006	06.04.2006 Deposition Of Ruthenium Metal Layers in A Thermal Chemical Vapor Deposition Process WO2006036865 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.04.2006	06.04.2006 Iso/nested cascading trim control with model feedback updates WO2006036245 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.03.2006	29.03.2006 Plasmabehandlungsapparat, dessen Elektrodenstruktur und Struktur der Bühne EP1205964 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2000 Erteilt am 29.03.2006 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.03.2006	29.03.2006 Verbindungsverfahren und Verbindungseinrichtung EP1641036 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.03.2006	23.03.2006 Coating method and coating device WO2006030775 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.09.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.03.2006	23.03.2006 Plasma processing apparatus and plasma processing method WO2006030895 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.09.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.03.2006	22.03.2006 Plasmaverarbeitungseinrichtung EP1638139 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.05.2004 Anhängig Vertretung De Hoop, Eric · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.03.2006	22.03.2006 Vorrichtung zum Teilen und Zuführen eines Gasstroms aus einer mit einer Strömungsratenregeleinrichtung Ausgestatteten Gaszuführungsanlage in eine Kammer EP1637950 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.06.2004 Anhängig Vertretung Arrowsmith, Peter Michael E · London Hector, Annabel Mary · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2006	16.03.2006 Pump unit for feeding chemical liquid WO2006027909 Verfahrens- & Trenntechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2006	16.03.2006 Thin film capacitor, method for forming same, and computer readable recording medium WO2006028215 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2006	16.03.2006 Coating and developing apparatus, resist pattern forming method, exposure apparatus and cleaning apparatus WO2006027900 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2006	16.03.2006 Soft De-Chucking Sequence WO2006028568 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2006	16.03.2006 Wafer Chuck WO2006028040 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.09.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2006	16.03.2006 Coating/developing apparatus, exposure apparatus and resist pattern forming method WO2006028173 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.09.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.03.2006	16.03.2006 Controlling Critical Dimensions Of Structures Formed On A Wafer in Semiconductor Processing WO2006028951 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.03.2006	15.03.2006 Schalldetektionsmechanismus EP1635608 Nachrichtentechnik & Telekommunikation	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.05.2004 Anhängig Vertretung Kaiser, Magnus · Karlsruhe LBP Lemcke, Brommer & Partner Patentanwälte mbB · Karlsruhe Lemcke, Brommer & Partner · Karlsruhe Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.03.2006	09.03.2006 Method and system for etching a film stack WO2006025942 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.03.2006	09.03.2006 Semiconductor processing method using virtual modules WO2006025945 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.03.2006	09.03.2006 Method and system for etching a gate stack WO2006025944 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.03.2006	09.03.2006 Rpobe needle, method of manufacturing probe needle, and method of manufacturing three-dimensional body structure WO2006025309 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.03.2006	08.03.2006 Vorrichtung zur Erhitzung einer Flüssigkeit EP1139694 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2001 Erteilt am 08.03.2006 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.03.2006	08.03.2006 Einrichtung zur Plasmaverarbeitung EP1300878 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2002 Erteilt am 08.03.2006 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.03.2006	08.03.2006 Verfahren zur Verbesserung der Oberflächenrauhigkeit von Verarbeitetem Film aus Substrat und Vorrichtung zum Verarbeiten eines Substrats EP1632992 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.05.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.03.2006	02.03.2006 Method and system for substrate temperature profile control WO2006022997 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.03.2006	02.03.2006 Electroless plating apparatus WO2006022133 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.03.2006	02.03.2006 Method for manufacturing semiconductor device WO2006022334 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.03.2006	02.03.2006 Film forming equipment and film forming method WO2006022328 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2006	01.03.2006 Verfahren und Vorrichtung zum Wafertransfer EP1182691 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.08.2001 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2006	01.03.2006 Schalldetektionsmechanismus und Prozess zu Seiner Herstellung EP1631116 Nachrichtentechnik & Telekommunikation	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.05.2004 Anhängig Vertretung Kaiser, Magnus · Karlsruhe LBP Lemcke, Brommer & Partner Patentanwälte mbB · Karlsruhe Lemcke, Brommer & Partner · Karlsruhe Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.03.2006	01.03.2006 Verfahren und System zum Ätzen eines Dielektrischen Materials mit Hohem K EP1629529 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2004 Anhängig Vertretung Freeman, Avi · Harrow Flint, Adam · London Page White & Farrer Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.02.2006	23.02.2006 Formula-Based Run-To-Run Control WO2006019449 Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.02.2006	23.02.2006 Developing method WO2006018960 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.02.2006	23.02.2006 Method and system for characterizing porous materials WO2006020134 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.02.2006	23.02.2006 Low-temperature plasma-enhanced chemical vapor deposition of silicon-nitrogen-containing films WO2006019438 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.02.2006	16.02.2006 Film forming apparatus and vaporizer WO2006016677 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.02.2006	16.02.2006 Processing system, processing method, computer readable recording medium and computer program WO2006016435	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.02.2006	16.02.2006 Control system, control method, processing system, computer readable storing medium and computer program WO2006016436 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen