Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
02.08.2006	02.08.2006 Verfahren zum Ablagern von Materialien auf einem Substrat EP1685588 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.10.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Andréasson, Ivar · Hagfors Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.07.2006	27.07.2006 Semiconductor device having micro structure, and fabrication method of the micro structure WO2006077867 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.01.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.07.2006	27.07.2006 Method and control system for treating a hafnium-based dielectric processing system WO2006078408 Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.07.2006	27.07.2006 Substrate convey processing device, trouble countermeasure method in substrate convey processing device, and trouble countermeasures program in substrate convey processing device WO2006077843 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.01.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.07.2006	27.07.2006 Stage apparatus and application processing apparatus WO2006077905 Verpackungs- & Fördertechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.01.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.07.2006	26.07.2006 Wärmebehandlungsvorrichtung und Wärmebehandlungsverfahren EP1684336 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.11.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.07.2006	20.07.2006 Low-pressure removal of photoresist and etch residue WO2006076085 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.07.2006	20.07.2006 Vaporizer and processor WO2006075709 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.01.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.07.2006	20.07.2006 Plasma processing system and baffle assembly for use in plasma processing system WO2006076253 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.01.2006 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2006	19.07.2006 Mikrostruktur mit Beweglicher Masse EP1423714 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2002 Erteilt am 19.07.2006 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2006	19.07.2006 Vertikal-Wärmebehandlungseinrichtung EP1681714 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.10.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2006	19.07.2006 Plasmaverarbeitungsvorrichtung EP1681715 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.11.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.07.2006	13.07.2006 Low-pressure removal of photoresist and etch residue WO2006073622 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.07.2006	06.07.2006 Substrate processing apparatus and substrate transferring method WO2006070630 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.07.2006	06.07.2006 Method for nitriding tunnel oxide film, method for manufacturing non-volatile memory device, non-volatile memory device, control program and computer-readable recording medium WO2006070685 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.07.2006	06.07.2006 Method and apparatus to determine consumable part condition WO2006071341 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.10.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.07.2006	06.07.2006 Method of development processing and development processing apparatus WO2006070621 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.06.2006	29.06.2006 Film-forming method and recording medium WO2006067995 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.06.2006	22.06.2006 Heat treatment plate temperature setting method, heat treatment plate temperature setting apparatus, program, and computer readable recording medium wherein program is recorded WO2006064697 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.06.2006	22.06.2006 Plasma processing apparatus WO2006064898 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.12.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.06.2006	21.06.2006 Verfahren und System zum Behandeln eines Dielektrischen Films EP1671360 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.10.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.06.2006	15.06.2006 Method and apparatus for improved baffle plate WO2006062576 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.10.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2006	14.06.2006 System und Verfahren zur Verwendung einer auf Ersten Prinzipien Basierenden Simulation zur Unterstützung eines Halbleiterfertigungsprozesses EP1668554 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.06.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2006	14.06.2006 Herstellung eines Isolationsfilms mit Niedriger Dielektrizitätskonstante EP1670049 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.09.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2006	14.06.2006 Halbleiterbauelement, Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelemente, Herstellungsvorrichtung für Halbleiterbauelemente und Computer-Aufzeichnungsmedium EP1670060 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2006	14.06.2006 Ablagerung von Siliziumhaltigen Filmen aus Hexachlordisilan EP1668668 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.09.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2006	14.06.2006 System und Verfahren zur Verwendung einer Simulation aus Ersten Prinzipien zur Analyse eines Prozesses, der durch ein Halbleiterbearbeitungswerkzeug Durchgeführt Wird EP1668558 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.06.2006	14.06.2006 System und Verfahren für die On-Tool-Halbleitersimulation EP1668501 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.09.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.06.2006	08.06.2006 Method of forming film, film forming apparatus and storage medium WO2006059602 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.11.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2006	07.06.2006 Wärmebehandlungsanlage und Verfahren zu ihrer Reinigung EP1167568 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2001 Erteilt am 07.06.2006 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2006	07.06.2006 Gasbehandlungseinrichtung und Wärme-Readiting-Verfahren EP1667217 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.08.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2006	07.06.2006 Verfahren und System zur Diagnostizierung eines Verarbeitungssystems unter Verwendung einer Adaptiven Mehrvariablen-Analyse EP1665076 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.08.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.06.2006	07.06.2006 Tragesystem und Trageverfahren für ein zu Behandelndes Objekt EP1667222 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.09.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.06.2006	01.06.2006 A solid precursor delivery system comprising replaceable stackable trays WO2006057710 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.10.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.06.2006	01.06.2006 Substrate processing method and method for manufacturing semiconductor device WO2006057236 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.11.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.06.2006	01.06.2006 Method for preparing solid precursor tray for use in solid precursor evaporation system WO2006057711 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.10.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.06.2006	01.06.2006 Method and system for performing in-situ cleaning of a deposition system WO2006057707 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.10.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.06.2006	01.06.2006 Etching method and etching apparatus WO2006057202 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.11.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.06.2006	01.06.2006 Method and system for measuring a flow rate in a solid precursor delivery system WO2006057708 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.10.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.05.2006	31.05.2006 Verfahren und Vorrichtung zur Vereinfachten Systemkonfiguration EP1497701 Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2003 Erteilt am 31.05.2006 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen