Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
16.02.2006	16.02.2006 Semiconductor device manufacturing method and plasma oxidation treatment method WO2006016642 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.02.2006	09.02.2006 Processing system and method for chemically treating a tera layer WO2006014193 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.02.2006	09.02.2006 Thin film forming method and thin film forming apparatus WO2006013720 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.02.2006	09.02.2006 Contact load measuring apparatus and inspecting apparatus WO2006013773 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.02.2006	09.02.2006 Coating film forming apparatus and coating film forming method WO2006013850 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.08.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.02.2006	08.02.2006 Vertikale Wärmebehandlungsvorrichtung und Substrat-Transferverfahren EP1182693 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2001 Anhängig Vertretung De Hoop, Eric · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.02.2006	08.02.2006 Halbleiterherstellungssystem EP1624483 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.04.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.02.2006	01.02.2006 Spektrometrisches Instrument mit Kleinem Brennfleck und Reduzierter Polarisation EP1311893 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.08.2001 Erteilt am 01.02.2006 Vertretung Käck, Jürgen · Landsberg am Lech Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.02.2006	01.02.2006 Halbleiterbauelement und Prozess zu Seiner Herstellung EP1622194 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.04.2004 Anhängig Vertretung Glawe Delfs Moll · Hamburg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.01.2006	26.01.2006 Substrate heating equipment substrate heating method WO2006009045 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.01.2006	26.01.2006 Development processing device and development processing method WO2006009046 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.01.2006	26.01.2006 Highly ionized pvd with moving magnetic field envelope for uniform coverage of structure and wafer WO2006009667 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.01.2006	26.01.2006 Plasma processing device and method, and flat panel display device manufacturing method WO2006009281 Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.01.2006	26.01.2006 Plasma processing apparatus WO2006009213 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.01.2006	25.01.2006 Substrat-Behandlungsvorrichtung EP1182694 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2001 Anhängig Vertretung De Hoop, Eric · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.01.2006	25.01.2006 Einrichtung zur Anwendung einer Halbleiterbehandlung auf das Behandlungssubjektsubstrat EP1619717 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.04.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2006	19.01.2006 Method and system for dispensing resist solution WO2006006982 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2006	19.01.2006 Method of rinse treatment, method of development processing and computer-readable storage medium WO2006006317 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2006	19.01.2006 Method and processing system for controlling a chamber cleaning process WO2006006991 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2006	19.01.2006 Substrate recovery method and substrate processing apparatus WO2006006364 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2006	19.01.2006 Internal antennae for plasma processing with metal plasma WO2006007228 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2006	19.01.2006 A system and method for processing a substrate using supercritical carbon dioxide processing WO2006007005 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.01.2006	19.01.2006 Method and apparatus for using a pressure control system to monitor a plasma processing system WO2006007055 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.01.2006	18.01.2006 Sondengerät mit Optischer Längenmesseinheit und Sondenprüfverfahren EP1617468 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.01.2004 Anhängig Vertretung Schwahn, Hartmut · Stuttgart Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.01.2006	18.01.2006 Halbleiterbauelement und Prozess zu Seiner Herstellung EP1617483 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.01.2006	12.01.2006 Process for fabricating semiconductor device WO2006003948 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.01.2006	12.01.2006 Treating device and heater unit WO2006004045 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.01.2006	11.01.2006 Wärmebehandlungsanlage EP1132506 Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.01.2001 Erteilt am 11.01.2006 Vertretung Liesegang, Roland · München Liesegang, Roland · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.01.2006	11.01.2006 Filmbildungsverfahren EP1614768 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.02.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.01.2006	05.01.2006 Carrier support device WO2006001246 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.01.2006	05.01.2006 Plasma Processing Equipment WO2006001253 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.01.2006	05.01.2006 Probe Card WO2006001476 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.01.2006	04.01.2006 Ladetisch und Wärmebehandlungsvorrichtung mit dem Ladetisch EP1612854 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2005	29.12.2005 Heat treatment device WO2005124840 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2005	29.12.2005 Substrate processing device WO2005123236 Verfahrens- & Trenntechnik Steuerungs- & Regelungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.12.2005	28.12.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Trockenentwicklung eines Mehrlagenphotoresist EP1609175 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.01.2004 Anhängig Vertretung Freeman, Avi · Harrow Flint, Adam · London Page White & Farrer Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.12.2005	28.12.2005 Plasmafilmerzeugungsverfahren EP1610369 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.03.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.12.2005	28.12.2005 Verfahren zur Wärmebehandlung und Wärmebehandlungsvorrichtung EP1610363 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.12.2005	22.12.2005 Method of operating a processing system for treating a substrate WO2005122215 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.12.2005	22.12.2005 Processing system and method for treating a substrate WO2005122216 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen