Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
15.12.2005	15.12.2005 Pressure Control And Plasma Confinement in A Plasma Processing Chamber WO2005119735 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.12.2005	15.12.2005 Plasma Cvd Equipment WO2005118911 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.12.2005	15.12.2005 Gas treating device and film forming device WO2005119749 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.06.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.12.2005	14.12.2005 Befestigungsmechanismus für Testsondenkarte EP1416285 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.10.2003 Anhängig Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.12.2005	14.12.2005 Halbleiterverarbeitungsverfahren zur Verarbeitung eines zu Verarbeitenden Substrats und Vorrichtung dafür EP1605075 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2004 Anhängig Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.12.2005	14.12.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Thermischen Isolierung von Benachbarten, Temperaturkontrollierten Behandlungskammern EP1604386 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.03.2004 Anhängig Vertretung Flint, Adam · London Page White & Farrer Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.12.2005	08.12.2005 Liquid treatment system and liquid treatment method WO2005117081 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
08.12.2005	08.12.2005 Substrate processing apparatus WO2005117083 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.12.2005	07.12.2005 Prüfanordnung EP1411363 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.10.2003 Anhängig Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.12.2005	07.12.2005 Verfahren zur Automatischen Konfiguration einer Prozessanlage EP1602015 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.02.2004 Anhängig Vertretung Freeman, Avi · Harrow Flint, Adam · London Page White & Farrer Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.12.2005	01.12.2005 Method and device for measuring whether a process kit part meets a prescribed tolerance WO2005114091 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.12.2005	01.12.2005 Laminated board and probe card WO2005114228 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.11.2005	30.11.2005 Inline-Verbindungseinrichtverfahren und Einrichtung und Substratverarbeitungseinrichtung und Substratverarbeitungssystem EP1601007 Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.03.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.11.2005	24.11.2005 Method and system of dry cleaning a processing chamber WO2005111265 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.11.2005	24.11.2005 Development apparatus and development method WO2005112077 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.11.2005	23.11.2005 Beschleunigungssensor und Neigungserfassungsverfahren EP1598673 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.02.2004 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.11.2005	23.11.2005 Substratverarbeitungsverfahren EP1598859 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.02.2004 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.11.2005	17.11.2005 Method for processing substrate and apparatus for processing substrate WO2005109476 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.11.2005	17.11.2005 Exhaust gas collection device WO2005107922 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.11.2005	17.11.2005 Substrate for electronic device and method for processing same WO2005109483 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.05.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.11.2005	10.11.2005 Vacuum treatment device WO2005106944 Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.11.2005	10.11.2005 Method and apparatus for temperature control WO2005106928 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.11.2005	09.11.2005 Inspektionsverfahren und -vorrichtung durch Sinterung EP1182460 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2001 Erteilt am 09.11.2005 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.11.2005	09.11.2005 Element einer Plasmabehandlungsvorrichtung, Element einer Behandlungsvorrichtung, Vorrichtung zur Plasmabehandlung, Behandlungsvorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung EP1593751 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.01.2004 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.11.2005	09.11.2005 Ferroelektrischer Film, Halbleiterbauelement, Herstellungsverfahren für einen Ferroelektrischen Film und Herstellungsvorrichtung für einen Ferroelektrischen Film EP1594142 Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.02.2004 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Method and processing system for plasma-enhanced cleaning of system components WO2005104186 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Wafer Heater Assembly WO2005103333 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 System and method of removing chamber residues from a plasma processing system in a dry cleaning process WO2005102545 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Method and system for fastening components used in plasma processing WO2005103507 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 A method for processing a substrate WO2005103325 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Low Reflection Microwave Window WO2005104174 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 A method of forming a tantalum-containing gate electrode structure WO2005104197 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Method for extending time between chamber cleaning processes WO2005104207 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Honeycomb optical window deposition shield and method for a plasma processing system WO2005104164 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Method of improving the wafer to wafer uniformity and defectivity of a deposited dielectric film WO2005103327 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Ionized Physical Vapor Deposition (ipvd) Process WO2005103321 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Method and system for performing atomic layer deposition WO2005104634 Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Method of controlling trimming of a gate elecrode structure WO2005104218 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.11.2005	03.11.2005 Substrate processing method and substrate processing apparatus WO2005104194 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.11.2005	02.11.2005 Verfahren und Vorrichtung zum Verwenden einer Beschichtung Zumerweiterten Halten eines Halbleitersubstrats Während Hochdruckverarbeitung EP1590827 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.02.2004 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen