Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
02.11.2005	02.11.2005 Filmherstellungsverfahren und Vorrichtung unter Verwendung von Plasma-Cvd EP1591559 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.12.2003 Anhängig Vertretung Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.11.2005	02.11.2005 Cvd-Verfahren zur Ausbildung eines Siliziumnitridfilms auf einem Zielsubstrat EP1592051 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.01.2004 Anhängig Vertretung Grosse, Rainer · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.10.2005	27.10.2005 Substrate processing equipment and substrate processing method WO2005101485 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.10.2005	27.10.2005 Rinse treatment method and development process method WO2005101468 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.10.2005	27.10.2005 Processing equipment for object to be processed WO2005101471 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.10.2005	26.10.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabeschichtung EP1264329 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.03.2001 Erteilt am 26.10.2005 Vertretung Liesegang, Roland · München Liesegang, Roland · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.10.2005	20.10.2005 Equipment and method for processing semiconductor WO2005098934 Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.10.2005	20.10.2005 Substrate processing equipment, substrate processing method, recording medium and software WO2005098918 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.10.2005	20.10.2005 Substrate loading table and heat treating apparatus WO2005098980 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.10.2005	20.10.2005 Method for forming ti film and tin film, contact structure, computer readable storing medium and computer program WO2005098913 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.10.2005	13.10.2005 Silizium-Germanium-Obrflächenschicht für die Integration von Dielektrika mit Hohem K WO2005096358 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.10.2005	13.10.2005 Silicon-germanium thin layer semiconductor structure with variable silicon-germanium composition and method of fabrication WO2005096352 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.10.2005	13.10.2005 Magnetically enhanced capacitive plasma source for ionized physical vapour deposition - ipvd WO2005095666 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.01.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.10.2005	13.10.2005 Method and apparatus for forming metal silicate film, and method for manufacturing semiconductor device WO2005096362 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.10.2005	12.10.2005 Flusssteuerverfahren zur Fluidclusterung und Flusssteuereinrichtung zur Fluidclusterung EP1585002 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.01.2004 Anhängig Vertretung Hector, Annabel Mary · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.10.2005	06.10.2005 Replacing Chamber Components in A Vacuum Environment WO2005093116 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.10.2005	06.10.2005 Method and system for treating a hard mask to improve etch characteristics WO2005091796	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.10.2005	05.10.2005 Ein Verfahren und eine Vorrichtung um ein Materialherstellungssystem zu Überwachen EP1581964 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.11.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.09.2005	29.09.2005 Method for detecting transfer shift of transfer mechanism and semiconductor processing equipment WO2005091355 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.09.2005	28.09.2005 Waferbearbeitungssystem EP1145288 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.11.2000 Erteilt am 28.09.2005 Vertretung Freeman, Jacqueline Carol · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.09.2005	28.09.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines Plasmas in einem Materialbearbeitungssystem EP1579470 Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.11.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.09.2005	28.09.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Berwachung Einesmaterialverarbeitungssystems EP1579489 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.12.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.09.2005	28.09.2005 Verfahren Undvorrichtung zur Überwachung von Teilen in einem Materialverarbeitungssystem EP1579280 Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.11.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.09.2005	28.09.2005 Verfahren und Vorrichtung zur Berwachungeines Materialverarbeitungssystems EP1579368 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.12.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.09.2005	22.09.2005 Distributor and distributing method, plasma processing system and method, and process for fabricating lcd WO2005088763 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.03.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.09.2005	21.09.2005 Beschichtungsvorrichtung und Herstellungsverfahren für Beschichtungsfilm EP1577930 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.12.2003 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.09.2005	15.09.2005 Mechanism and method for supplying liquid, and apparatus and method for developing treatment WO2005084788 Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.09.2005	15.09.2005 Film forming method WO2005085495 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.09.2005	14.09.2005 Hochdruckverarbeitungskammer für ein Halbleitersubstrat mit Strömungsverbesserungsmerkmalen EP1573779 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.04.2002 Anhängig Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.09.2005	09.09.2005 Method for manufacturing semiconductor device and plasma oxidation method WO2005083795 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.03.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.09.2005	09.09.2005 Semiconductor treating device WO2005083753 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.09.2005	09.09.2005 Production method for semiconductor device and semiconductor device WO2005083764 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.09.2005	09.09.2005 Method for separating resist film and rework process WO2005083757 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.03.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.09.2005	01.09.2005 Method for cleaning treatment chamber in substrate treating apparatus and method for detecting endpoint of cleaning WO2005081302 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.08.2005	31.08.2005 System und Verfahren zur Plasmaverarbeitung und Elektrodenplatte für Plasmaverarbeitungssystem EP1569268 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.11.2003 Anhängig Vertretung Schrell, Andreas · Stuttgart Gleiss Große Schrell und Partner mbB Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2005	25.08.2005 Plasma processing apparatus and plasma processing method WO2005078782 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.02.2005 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2005	18.08.2005 Method and apparatus for determining chemistry of part's residual contamination WO2005076192 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2005	18.08.2005 Structure comprising amorphous carbon film and method of forming thereof WO2005074449 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2005	18.08.2005 Method and system for monitoring component consumption WO2005076146 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.11.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2005	18.08.2005 Substrate holder having a fluid gap and method of fabricating the substrate holder WO2005074450	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.12.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen