Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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11.10.2018
Substrate processing device and substrate conveying method
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.04.2018
Anhängig
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11.10.2018
Liquid supply device and liquid supply method
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.03.2018
Anhängig
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04.10.2018
Inspection system, wafer map display, wafer map display method, and computer program
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.02.2018
Anhängig
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04.10.2018
Advanced optical sensor, system, and methodologies for etch processing monitoring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2018
Anhängig
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04.10.2018
Fluid heater, fluid control device, and production method for fluid heater
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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Status
Angemeldet am 09.03.2018
Anhängig
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04.10.2018
Substrate processing method and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.03.2018
Anhängig
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04.10.2018
Plating method, plating system and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.03.2018
Anhängig
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27.09.2018
Wafer inspection device and method for diagnosing wafer inspection device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.03.2018
Anhängig
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27.09.2018
Gas cluster processing device and gas cluster processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.02.2018
Anhängig
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27.09.2018
Plating treatment method, plating treated device, and memory medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 22.03.2018
Anhängig
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27.09.2018
Substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2018
Anhängig
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27.09.2018
Stage cleaning method, stage cleaning member, method for producing stage cleaning member, and inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.02.2018
Anhängig
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27.09.2018
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2018
Anhängig
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26.09.2018
Bereichstemperaturgesteuerte Struktur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.03.2011
Erteilt am 26.09.2018
Vertretung
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20.09.2018
Surface modification control for etch metric enhancement
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2018
Anhängig
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20.09.2018
Diagnostic method for inspection device and inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.02.2018
Anhängig
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13.09.2018
Contact pad production method and semiconductor device production method using same, and semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.02.2018
Anhängig
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13.09.2018
Detection device and contact method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.02.2018
Anhängig
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07.09.2018
Computed tomography using intersecting views of plasma using optical emission spectroscopy during plasma processing
Medizintechnik & Gesundheit
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Status
Angemeldet am 01.03.2018
Anhängig
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07.09.2018
Inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.02.2018
Anhängig
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07.09.2018
Inspection system and malfunction analysis/prediction method for inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2018
Anhängig
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07.09.2018
Porous film sealing method and porous film sealing material
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2018
Anhängig
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05.09.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung und zur Entwicklung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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05.09.2018
Beschichtungs- und Entwicklungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
In one embodiment, a coating and developing apparatus includes a processing block having at least one coating film-forming unit block stack and a developing unit block stack which are vertically stacked on each other. Each unit block stack is composed of unit blocks vertically stacked on each other, and each unit block includes processing modules containing liquid processing modules and heating modules, each unit block is provided therein with a transport mechanism that moves along a transport passage, extending linearly from a carrier block side to an interface block side, to transport the substrate between the processing modules belonging to the unit block. First transfer units are each provided on the carrier block sides of the coating film-forming unit blocks and the developing unit blocks respectively, for transferring the substrate to and from the transport mechanism of the associated coating film-forming block or developing unit block. A first transfer mechanism transfers a substrate removed from a carrier to one of the first transfer units associated with the coating film-forming unit blocks. |
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30.08.2018
Method for reducing lithography defects and pattern transfer
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.02.2018
Anhängig
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30.08.2018
Method of anisotropic extraction of silicon nitride mandrel for fabrication of self-aligned block structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2018
Anhängig
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30.08.2018
Method of quasi-atomic layer etching of silicon nitride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2018
Anhängig
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30.08.2018
Substrate treatment system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.01.2018
Anhängig
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30.08.2018
Substrate processing device and processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.02.2018
Anhängig
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30.08.2018
Substrate storage processing device, substrate storage processing method, and recording medium
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.02.2018
Anhängig
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23.08.2018
Gas processing device and substrate processing device
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.02.2018
Anhängig
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16.08.2018
Film forming system, film forming method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.01.2018
Anhängig
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16.08.2018
Transfer device, transfer method, and storage medium
Verpackungs- & Fördertechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 02.02.2018
Anhängig
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09.08.2018
Substrate treatment method, computer storage medium, and substrate treatment system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.01.2018
Anhängig
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09.08.2018
Electrolytic treatment device and electrolytic treatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 18.01.2018
Anhängig
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01.08.2018
Schnittstellenvorrichtung, Schnittstelleneinheit, Sondenvorrichtung und Verbindungsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.08.2016
Anhängig
Vertretung
Diehl & Partner · München
Diehl & Partner GbR · München
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01.08.2018
Bühnenvorrichtung und Sondenvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 05.08.2016
Anhängig
Vertretung
Diehl & Partner · München
Diehl & Partner GbR · München
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01.08.2018
Optische Verarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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26.07.2018
Antenna, plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 04.01.2018
Anhängig
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26.07.2018
Method of preferential silicon nitride etching using sulfur hexafluoride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.01.2018
Anhängig
Zusammenfassung
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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