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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.255 gesamt
Patent
24.09.2025
Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Stromversorgungssystem und Frequenzsteuerungsverfahren
Elektronik & Schaltungstechnik
18.09.2025
Information processing method, information processing device, and computer program
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Harc etch chemistry for seminconductors
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Fluid supply device
Maschinenelemente & Fluidtechnik
18.09.2025
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Mounting table and mounting table maintenance method
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Plasma processing device and plasma control method
Elektronik & Schaltungstechnik
18.09.2025
Method for supplying active species using mist and film deposition device
Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik
18.09.2025
Plating method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Methods for wet atomic layer etching of silicon dioxide
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Wet processing systems having novel wafer chuck designs for retaining a processing liquid on a surface of a semiconductor substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Method for semiconductor manufacturing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Pvd film deposition method and pvd film deposition device
Metallurgie & Oberflächentechnik
18.09.2025
Etch Stop Layer in All-In-One Harc Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Cyclic etch/deposition plasma processes using tungsten based precursor gas
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.09.2025
Substratverarbeitungsverfahren, Zusammensetzung zur Bildung eines Metallhaltigen Resists, Metallhaltiger Resist und Substratverarbeitungssystem
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.09.2025
Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Stromversorgungssystem und Verfahren zur Steuerung der Quellenfrequenz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
17.09.2025
Trockenentwicklungsverfahren und Trockenentwicklungsverfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2025
Pillar critical dimension reduction by isotropic plasma etching with high selectivity to silicon-containing antireflective coating and silicon nitride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2025
Substrate treatment device and tray
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2025
Substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2025
Substrate treatment device and substrate treatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2025
Plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
12.09.2025
Plasma processing device, bias power supply system, and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
12.09.2025
Plasma processing device, bias electric power supply system, and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
12.09.2025
Reverse surface processing device, substrate processing system, and substrate transport method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2025
Substrate processing method and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2025
Computer program, method for generating learning model, information processing method, and information processing device
Software & Datenverarbeitung
10.09.2025
Stromversorgungs- und Prüfvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik
04.09.2025
Resonant Phase-Controlled Oscillator
Elektronik & Schaltungstechnik
04.09.2025
Substrate processing system and teaching method for conveyance robot
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Etching method and plasma treatment system
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Etching method and plasma processing system
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Substrate processing method and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Vaporization Tank
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Film formation method and film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
In Situ Removable Blocking Layer Formation
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Bottom-Up Directional Atomic Layer Deposition (ald)
Metallurgie & Oberflächentechnik
04.09.2025
Radio Frequency Sensor Calibration By Virtual Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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