Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.255 gesamt| Patent | |||
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24.09.2025
Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Stromversorgungssystem und Frequenzsteuerungsverfahren
Elektronik & Schaltungstechnik
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18.09.2025
Information processing method, information processing device, and computer program
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2025
Anhängig
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18.09.2025
Harc etch chemistry for seminconductors
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.11.2024
Anhängig
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18.09.2025
Fluid supply device
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 06.03.2025
Anhängig
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18.09.2025
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.02.2025
Anhängig
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18.09.2025
Mounting table and mounting table maintenance method
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.03.2025
Anhängig
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18.09.2025
Plasma processing device and plasma control method
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 27.02.2025
Anhängig
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18.09.2025
Method for supplying active species using mist and film deposition device
Verfahrens- & Trenntechnik
Kunststoff- & Polymertechnik
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Status
Angemeldet am 03.03.2025
Anhängig
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18.09.2025
Plating method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.02.2025
Anhängig
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18.09.2025
Methods for wet atomic layer etching of silicon dioxide
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.01.2025
Anhängig
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18.09.2025
Wet processing systems having novel wafer chuck designs for retaining a processing liquid on a surface of a semiconductor substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.01.2025
Anhängig
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18.09.2025
Method for semiconductor manufacturing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.01.2025
Anhängig
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18.09.2025
Pvd film deposition method and pvd film deposition device
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 04.03.2025
Anhängig
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18.09.2025
Etch Stop Layer in All-In-One Harc Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.01.2025
Anhängig
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18.09.2025
Cyclic etch/deposition plasma processes using tungsten based precursor gas
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.01.2025
Anhängig
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17.09.2025
Substratverarbeitungsverfahren, Zusammensetzung zur Bildung eines Metallhaltigen Resists, Metallhaltiger Resist und Substratverarbeitungssystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.09.2025
Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Stromversorgungssystem und Verfahren zur Steuerung der Quellenfrequenz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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17.09.2025
Trockenentwicklungsverfahren und Trockenentwicklungsverfahren
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2023
Anhängig
Vertretung
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12.09.2025
Pillar critical dimension reduction by isotropic plasma etching with high selectivity to silicon-containing antireflective coating and silicon nitride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.01.2025
Anhängig
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12.09.2025
Substrate treatment device and tray
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.02.2025
Anhängig
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12.09.2025
Substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.02.2025
Anhängig
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12.09.2025
Substrate treatment device and substrate treatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.02.2025
Anhängig
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12.09.2025
Plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 27.02.2025
Anhängig
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12.09.2025
Plasma processing device, bias power supply system, and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 21.02.2025
Anhängig
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12.09.2025
Plasma processing device, bias electric power supply system, and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 21.02.2025
Anhängig
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12.09.2025
Reverse surface processing device, substrate processing system, and substrate transport method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.02.2025
Anhängig
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12.09.2025
Substrate processing method and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.02.2025
Anhängig
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11.09.2025
Computer program, method for generating learning model, information processing method, and information processing device
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 04.03.2025
Anhängig
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10.09.2025
Stromversorgungs- und Prüfvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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04.09.2025
Resonant Phase-Controlled Oscillator
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.10.2024
Anhängig
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04.09.2025
Substrate processing system and teaching method for conveyance robot
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.02.2025
Anhängig
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04.09.2025
Etching method and plasma treatment system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.02.2025
Anhängig
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04.09.2025
Etching method and plasma processing system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.02.2025
Anhängig
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04.09.2025
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.02.2025
Anhängig
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04.09.2025
Substrate processing method and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 25.02.2025
Anhängig
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04.09.2025
Vaporization Tank
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.01.2025
Anhängig
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04.09.2025
Film formation method and film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.01.2025
Anhängig
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04.09.2025
In Situ Removable Blocking Layer Formation
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2025
Anhängig
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04.09.2025
Bottom-Up Directional Atomic Layer Deposition (ald)
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 08.01.2025
Anhängig
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04.09.2025
Radio Frequency Sensor Calibration By Virtual Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2025
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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