Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.414 gesamt| Patent | |||
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26.07.2018
Foreign matter detection device, foreign matter detection method and storage medium
Kunststoff- & Polymertechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 16.01.2018
Anhängig
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26.07.2018
Method of preferential silicon nitride etching using sulfur hexafluoride
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.01.2018
Anhängig
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26.07.2018
Antenna, plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 04.01.2018
Anhängig
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26.07.2018
Method of processing semiconductor substrate and device for processing semiconductor substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.01.2018
Anhängig
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18.07.2018
Ätzverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.07.2018
Substrate cleaning method, substrate cleaning system, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.12.2017
Anhängig
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05.07.2018
Consumption determination method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.12.2017
Anhängig
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28.06.2018
Development method, computer storage medium, and development apparatus
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2017
Anhängig
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28.06.2018
Coating process method, computer storage medium, and coating process device
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.11.2017
Anhängig
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21.06.2018
Substrate treatment device, substrate treatment method, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.11.2017
Anhängig
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21.06.2018
Method of selective deposition for beol dielectric etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.12.2017
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14.06.2018
Method for forming film on substrate, and film-forming system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.11.2017
Anhängig
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14.06.2018
Signal processing method and program
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 29.11.2017
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14.06.2018
Plasma spraying device and method for manufacturing battery electrode
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2017
Anhängig
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14.06.2018
Film forming method for sic film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.11.2017
Anhängig
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07.06.2018
Plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 16.11.2017
Anhängig
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31.05.2018
Generation of a map of a substrate using iterative calculations of non-measured attribute data
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.11.2017
Anhängig
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24.05.2018
Methods of sub-resolution substrate patterning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.11.2017
Anhängig
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24.05.2018
Method for regulating hardmask over-etch for multi-patterning processes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.11.2017
Anhängig
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24.05.2018
Compositional optical emission spectroscopy for detection of particle induced arcs in a fabrication process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2017
Anhängig
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24.05.2018
Method of plasma discharge ignition to reduce surface particles
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.11.2017
Anhängig
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17.05.2018
Bonding device, bonding system, bonding method, and computer storage medium
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.10.2017
Anhängig
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17.05.2018
Method of preventing bulk silicon charge transfer for nanowire and nanoslab processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2017
Anhängig
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17.05.2018
Self-limiting cyclic etch method for carbon-based films
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 09.11.2017
Anhängig
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17.05.2018
Bonding device, bonding system, bonding method, and computer storage medium
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.10.2017
Anhängig
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17.05.2018
Plasma thermal spray device and thermal spray control method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 27.10.2017
Anhängig
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17.05.2018
Method of forming gate spacer for nanowire fet device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2017
Anhängig
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17.05.2018
Metal film-forming device and metal film-forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.11.2017
Anhängig
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17.05.2018
Etching device and etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.11.2017
Anhängig
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16.05.2018
Trichter und thermische Sprühvorrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.03.2014
Erteilt am 16.05.2018
Vertretung
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11.05.2018
Method for processing workpiece
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 02.11.2017
Anhängig
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11.05.2018
Hard mask and method for manufacturing same
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.11.2017
Anhängig
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11.05.2018
Film-forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 23.10.2017
Anhängig
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11.05.2018
Shower head and substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.10.2017
Anhängig
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03.05.2018
Plating method, plating device, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.08.2017
Anhängig
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03.05.2018
Plating method, plating device, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 29.08.2017
Anhängig
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03.05.2018
Fluid treatment method and fluid treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.10.2017
Anhängig
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03.05.2018
Plating method, plating device, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 29.08.2017
Anhängig
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26.04.2018
Plasma processing apparatus and method for controlling plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 12.10.2017
Anhängig
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26.04.2018
Method for self-aligned cutting of single fins
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.10.2017
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28