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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.255 gesamt
Patent
04.09.2025
Substrate transport device and substrate transport method
WO2025182731
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Substrate treating apparatus and substrate treating method
WO2025182628
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Plasma processing device
WO2025182632
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
04.09.2025
Substrate processing method and plasma processing apparatus
WO2025182678
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Bonding device and bonding method
WO2025182629
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Method for forming nano-pillar and dry etching device
WO2025182676
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Etching method and etching device
WO2025182550
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Plasma treatment device and substrate treatment device
WO2025182596
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
04.09.2025
Inspection device and inspection method
WO2025182587
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Film formation method and film formation device
WO2025182495
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Substrate mounting table and substrate processing apparatus
WO2025182479
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Film formation method
WO2025182500
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Vaporization Tank
WO2025182352
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Film formation method and film formation device
WO2025182387
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Radio Frequency Sensor Calibration By Virtual Metrology
WO2025183792
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Bottom-Up Directional Atomic Layer Deposition (ald)
WO2025183790
Metallurgie & Oberflächentechnik
04.09.2025
In Situ Removable Blocking Layer Formation
WO2025183791
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Vertical feature growth using fluorine-containing gas
WO2025183789
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Substrate processing system
WO2025177675
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Substrate treatment method, hard mask forming method, and substrate treatment system
WO2025177435
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Temperature regulation system and method for controlling temperature regulation system
WO2025177949
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Substrate processing device
WO2025177878
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.08.2025
Substrate processing method and substrate processing system
WO2025177876
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Substrate processing system
WO2025177875
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Plasma processing method
WO2025177896
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Substrate treatment device and tray
WO2025177904
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Plasma processing method and plasma processing apparatus
WO2025177891
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Development method and development device
WO2025177886
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Plasma etching apparatus and substrate processing apparatus
WO2025177874
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Plasma processing method
WO2025177872
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Plating method and plating apparatus
WO2025177763
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Chuck, prober having same, and wafer test system
WO2025177784
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Processing method
WO2025178119
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Method for die-to-die hybrid bonding using an advanced distribution model
WO2025178884
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Method of hybrid bonding using die distribution model
WO2025178721
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
Methods and compositions for trench formation using advanced track-based patterning processes
WO2025178704
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2025
WO2025178677
WO2025178677
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2025
Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren
EP4607575
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
21.08.2025
In-situ metal deposition for reduced charging during dielectric etch
WO2025174445
Metallurgie & Oberflächentechnik
21.08.2025
Substrate processing device and substrate processing method
WO2025173591
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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290
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234
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145
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141
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82
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69
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56

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