Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
07.09.2012	07.09.2012 Halogen elimination device for processing substrate to be processed, device for processing substrate to be processed, and method for processing substrate to be processed. WO2012117943 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.09.2012	07.09.2012 Vapor-deposition device, vapor-deposition method, organic el display, and lighting device WO2012118199 Metallurgie & Oberflächentechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.03.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.09.2012	07.09.2012 Annealing method and annealing equipment WO2012118119 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.09.2012	05.09.2012 Antenne zur Erzeugung von Oberflächenwellenplasma und Verarbeitungsvorrichtung für Oberflächenwellenplasma EP2495749 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.03.2012 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.08.2012	30.08.2012 Junction device, junction system and junction method WO2012114825 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.08.2012	30.08.2012 Pattern-forming method and method for manufacturing semiconductor device WO2012115043 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.08.2012	30.08.2012 Silicon nitride film deposition method, organic electronic device manufacturing method, and silicon nitride film deposition device WO2012114856 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.08.2012	30.08.2012 Junction device, junction system and junction method WO2012114826 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.08.2012	30.08.2012 Wiring formation method and device WO2012115108 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.08.2012	30.08.2012 Film forming method and film forming device WO2012115165 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.08.2012	29.08.2012 Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung von Störern in Kommunikationssystemen EP1232569 Nachrichtentechnik & Telekommunikation	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.11.2000 Erteilt am 29.08.2012 Vertretung Walker, Ross Thomson · München Forresters IP LLP Wombwell, Francis · Birkenhead Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.08.2012	23.08.2012 Etch process control using optical metrology and sensor devices WO2012112959 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.08.2012	23.08.2012 Method for conveying object to be processed, and device for processing object to be processed WO2012111669 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.08.2012	23.08.2012 Template processing method, computer storage medium, template processing apparatus, and imprinting system WO2012111359 Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.08.2012	22.08.2012 Beschichtungs- und Entwicklungsvorrichtung, Beschichtungs- und Entwicklungsverfahren und Aufzeichnungsmedium EP2228684 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.03.2010 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.08.2012	16.08.2012 Substrate relay device, substrate relay method and substrate treatment device WO2012108439 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.08.2012	16.08.2012 Method of etching features in silicon nitride films WO2012109159 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.08.2012	16.08.2012 Plasma etching method WO2012108445 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.08.2012	15.08.2012 Beschichtungsvorrichtung und Beschichtungsverfahren EP1975979 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.12.2006 Erteilt am 15.08.2012 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.08.2012	02.08.2012 Plating apparatus, plating method, and storage medium WO2012102097 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.08.2012	02.08.2012 Plating apparatus, plating method, and recording medium WO2012102062 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.08.2012	02.08.2012 Filtration filter and filtration filter production method WO2012102408 Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.08.2012	02.08.2012 Method for treating metal film and treatment device WO2012102139 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.08.2012	02.08.2012 Plating apparatus, plating method, and storage medium WO2012102098 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.08.2012	01.08.2012 Gate-Ventil für ein Halbleiterbehandlungssystem und Vakuumbehälter EP1608002 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.02.2004 Erteilt am 01.08.2012 Vertretung Grosse, Rainer · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.07.2012	26.07.2012 Photoresist management device and method WO2012098673 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.01.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.07.2012	26.07.2012 Abnormality determination system of processing device and abnormality determination method of same WO2012099106 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.07.2012	26.07.2012 Photoresist management device and method WO2012099201 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.07.2012	26.07.2012 Substrate inverting device, substrate inverting method, and peeling system WO2012098986 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.07.2012	26.07.2012 Improving tool performance by linking spectroscopic information with tool operational parameters and material measurements WO2012099907 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.07.2012	26.07.2012 Vacuum processing apparatus WO2012098871 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.07.2012	26.07.2012 Abnormality diagnosis method of processing device and abnormality diagnosis system of same WO2012099206 Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2012	25.07.2012 Zweiflüssigkeits-Düse zum Reinigen eines Substrats und Substratreinigungseinrichtung EP1724820 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.03.2005 Erteilt am 25.07.2012 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2012	25.07.2012 Plasmabehandlungsverfahren EP1091396 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.09.2000 Erteilt am 25.07.2012 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.07.2012	25.07.2012 Filmerzeugungsvorrichtung EP2479780 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.08.2010 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2012	19.07.2012 Method for thermal stabilization of probe card and inspection device WO2012096099 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.12.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2012	19.07.2012 Substrate-processing device WO2012096145 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2012	19.07.2012 Thin film forming device for solar cell and thin film forming method WO2012096370 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2012	19.07.2012 Substrate-processing device WO2012096144 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.07.2012	19.07.2012 Method for forming tisin film and storage medium WO2012096293 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.01.2012 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen