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ULVAC Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.137 gesamt
Patent
27.01.2021
Plasmabehandlungsvorrichtung und Wafertransportplatte
EP3098838
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.01.2021
Suction device and vacuum process device
WO2021002141
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Sputtering target and sputtering target production method
WO2020261748
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
17.12.2020
Sputtering target and sputtering target manufacturing method
WO2020250586
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
17.12.2020
Sputtering target and sputtering target manufacturing method
WO2020250587
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
17.12.2020
Sputtering target and sputtering target manufacturing method
WO2020250588
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
03.12.2020
Sputtering apparatus and method for producing thin film
WO2020241010
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
19.11.2020
Can roller for vacuum processing device
WO2020230360
Metallurgie & Oberflächentechnik
19.11.2020
Deposition unit, and vacuum deposition device provided with said deposition unit
WO2020230359
Metallurgie & Oberflächentechnik
22.10.2020
Vapor deposition source and vapor deposition device
WO2020213228
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2020
Cu Alloy Target
WO2020213232
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
15.10.2020
Cu alloy target, wiring film, semiconductor device and liquid crystal display device
WO2020208904
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
17.09.2020
Film forming method
WO2020183827
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.09.2020
Vacuum vapor deposition device
WO2020183777
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.09.2020
Plasma cvd apparatus and plasma cvd method
WO2020175152
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2020
Film forming device
WO2020174845
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.08.2020
Verfahren zur Herstellung von Dünnschichten und Vorrichtung zur Herstellung von Dünnschichten
EP2624285
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2020
Vacuum-freeze drying method and vacuum-freeze drying device
WO2020161863
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
16.07.2020
Vacuum processing device
WO2020145190
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.07.2020
Vapor deposition device
WO2020144894
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.07.2020
Vacuum processing device, cleaning method for vacuum processing device
WO2020145207
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.07.2020
Vacuum processing apparatus
WO2020144891
Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
08.07.2020
Led für den Tief-Ultravioletten Spektralbereich und Verfahren zu Ihrer Herstellung
EP3249701
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2020
Film forming device and film forming method
WO2020137145
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2020
Deposition preventing member and vacuum processing device
WO2020137489
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.07.2020
Vacuum processing apparatus
WO2020136964
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2020
Sputtering device and sputtering method
WO2020137027
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.07.2020
Deep ultraviolet led device and manufacturing method therefor
WO2020138146
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2020
Vacuum gauge and pressure measurement system comprising vacuum gauge
WO2020121576
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
11.06.2020
Film forming apparatus and film forming method
WO2020115962
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
11.06.2020
Electrostatic chuck, vacuum processing apparatus and substrate processing method
WO2020115952
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.06.2020
Film-forming apparatus and film-forming method
WO2020115980
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2020
Vacuum heating device and reflector device
WO2020100376
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2020
Vacuum processing apparatus
WO2020100400
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2020
Vacuum treatment device
WO2020090164
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2020
Vacuum treatment device
WO2020090163
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2020
Method for producing ots device, and ots device
WO2020084703
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2020
Cathode device and sputtering device
WO2020085027
Metallurgie & Oberflächentechnik
23.04.2020
Contact-type power supply device and contact unit
WO2020079881
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.04.2020
Wafer-Überführungslade und Verfahren zur Befestigung eines Wafers auf einer Lade
EP2400536
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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47
Anorganische Chemie & Werkstoffe
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29

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