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ULVAC Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
22
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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444 gesamt
Patent
04.08.2022
Temperature measurement method, temperature measurement device, and thin film formation method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
28.07.2022
Cathode unit for magnetron sputtering device, and magnetron sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.07.2022
Evaporation source for vacuum deposition devices
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.06.2022
Nonvolatile memory device and manufacturing method therefor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.05.2022
High-frequency power circuit, plasma processing device, and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.04.2022
Drive block for rotary cathode unit
Metallurgie & Oberflächentechnik
24.03.2022
Drive block for rotary cathode unit
Metallurgie & Oberflächentechnik
24.03.2022
Laminated structure, and method for manufacturing laminated structure
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
24.03.2022
Sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik
10.02.2022
Vacuum freeze-drying method, spray nozzle for vacuum freeze-drying device, and vacuum freeze-drying device
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
13.01.2022
Film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2022
Metal wiring structure, manufacturing method for metal wiring structure, and sputtering target
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.11.2021
Magnetron sputtering device, and film forming method using said magnetron sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.08.2021
Nanotube mediated delivery system and methods comprising the same
Pharma & Biotechnologie
24.06.2021
Measurement abnormality detection device and measurement abnormality detection method
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.06.2021
Aluminum alloy target, aluminum alloy wiring film, and method for producing aluminum alloy wiring film
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.06.2021
Film formation method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.04.2021
Film forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
08.04.2021
Evaporation source for vacuum evaporation systems
Metallurgie & Oberflächentechnik
18.03.2021
Ion Gun
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2021
Vapor deposition source and vacuum processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
28.01.2021
Sub-Stoichiometric Metal-Oxide Thin Films
Metallurgie & Oberflächentechnik
07.01.2021
Suction device and vacuum process device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Sputtering target and sputtering target production method
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
17.12.2020
Sputtering target and sputtering target manufacturing method
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
17.12.2020
Sputtering target and sputtering target manufacturing method
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
17.12.2020
Sputtering target and sputtering target manufacturing method
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
03.12.2020
Sputtering apparatus and method for producing thin film
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
19.11.2020
Deposition unit, and vacuum deposition device provided with said deposition unit
Metallurgie & Oberflächentechnik
19.11.2020
Can roller for vacuum processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
22.10.2020
Cu Alloy Target
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
22.10.2020
Vapor deposition source and vapor deposition device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.10.2020
Cu alloy target, wiring film, semiconductor device and liquid crystal display device
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
17.09.2020
Vacuum vapor deposition device
Metallurgie & Oberflächentechnik
17.09.2020
Film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2020
Film forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2020
Plasma cvd apparatus and plasma cvd method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2020
Vacuum-freeze drying method and vacuum-freeze drying device
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
16.07.2020
Vacuum processing device, cleaning method for vacuum processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.07.2020
Vacuum processing apparatus
Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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