ULVAC Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
22
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
444 gesamt| Patent | |||
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09.10.2025
Vapor deposition source for vacuum vapor deposition apparatus, and vacuum vapor deposition method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 28.03.2025
Anhängig
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04.09.2025
Shielding unit and vacuum deposition device equipped with said shielding unit
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2024
Anhängig
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28.08.2025
Vacuum deposition device and vacuum deposition method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2024
Anhängig
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21.08.2025
Film formation device and method for controlling same
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 28.11.2024
Anhängig
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07.08.2025
Manufacturing support device, manufacturing support method, and program
Steuerungs- & Regelungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.10.2024
Anhängig
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31.07.2025
Vacuum deposition system and vacuum deposition method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 01.10.2024
Anhängig
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22.05.2025
Film formation method and film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 09.08.2024
Anhängig
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17.04.2025
Plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 20.09.2024
Anhängig
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20.03.2025
Algan-based deep ultraviolet led and method for manufacturing the same
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Status
Angemeldet am 12.09.2024
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20.03.2025
Oxide semiconductor thin film, semiconductor device and method for manufacturing same, and sputtering target and method for manufacturing sputtering target
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.09.2024
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06.03.2025
Shutter device and film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 28.08.2024
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16.01.2025
Crucible device and vapor deposition device comprising same
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 10.07.2023
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05.12.2024
Hard mask manufacturing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.02.2024
Anhängig
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28.11.2024
Target assembly and method for manufacturing target assembly
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 20.05.2024
Anhängig
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21.11.2024
Molybdenum target and method for producing same
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 14.05.2024
Anhängig
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14.11.2024
Method for depositing film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.12.2023
Anhängig
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10.10.2024
Vapor deposition source for vacuum vapor deposition apparatus, and vacuum vapor deposition method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 28.12.2023
Anhängig
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22.08.2024
Substrate-processing device and substrate-processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.02.2024
Anhängig
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21.03.2024
Sputtering target for oxide semiconductor thin film formation, method for producing sputtering target for oxide semiconductor thin film formation, oxide semiconductor thin film, and thin film semiconductor device and method for producing same
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 29.06.2023
Anhängig
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21.03.2024
Sputtering target for formation of oxide semiconductor thin film, method for producing sputtering target for formation of oxide semiconductor thin film, oxide semiconductor thin film, thin film semiconductor device and method for producing same
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 29.06.2023
Anhängig
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14.03.2024
Dried Plasma
Medizintechnik & Gesundheit
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 05.09.2023
Anhängig
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04.01.2024
Tungsten target and method for manufacturing same
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 07.06.2023
Anhängig
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28.12.2023
Method for controlling specific resistivity and stress of tungsten through pvd sputtering method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.04.2023
Anhängig
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21.09.2023
Vacuum processing device, particle removal mechanism, and particle removal method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.03.2023
Anhängig
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31.08.2023
Sputtering target, method for producing sputtering target, oxide semiconductor thin film, thin film semiconductor device and method for producing same
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 16.02.2023
Anhängig
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31.08.2023
Display device, display method, and program
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 17.02.2023
Anhängig
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15.06.2023
Silicon nitride film forming method, film forming device, and silicon nitride film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.09.2022
Anhängig
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01.06.2023
Sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 25.11.2022
Anhängig
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11.05.2023
Vacuum pump, vacuum pump control method, power conversion device for vacuum pump, power conversion device for compressor, and compressor
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 04.11.2021
Anhängig
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04.05.2023
Film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.07.2022
Anhängig
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19.01.2023
Vacuum processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.03.2022
Anhängig
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19.01.2023
Substrate holding device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.05.2022
Anhängig
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19.01.2023
Film formation method and film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 09.11.2021
Anhängig
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19.01.2023
Freeze-drying device and freeze-drying method
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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Status
Angemeldet am 12.07.2021
Anhängig
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05.01.2023
Method for controlling resistivity and crystallinity of low-resistance material through pvd
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.06.2022
Anhängig
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08.12.2022
Sputtering device, control method of sputtering device, and control device for sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 23.03.2022
Anhängig
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30.11.2022
Dünnschichtformungsverfahren und Dünnschichtformungsvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.02.2019
Erteilt am 30.11.2022
Vertretung
Michalski Hüttermann & Partner Patentanwälte mbB · Düsseldorf
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24.11.2022
Cathode unit for magnetron sputtering device, and magnetron sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 18.03.2022
Anhängig
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01.09.2022
Vapor deposition source for vacuum deposition devices
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 21.12.2021
Anhängig
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25.08.2022
Freeze-drying apparatus and freeze-drying method
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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Status
Angemeldet am 16.02.2021
Anhängig
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Wer vertritt ULVAC?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ULVAC vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
277
Metallurgie & Oberflächentechnik
240
Elektronik & Schaltungstechnik
59
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Verfahrens- & Trenntechnik
32
Anorganische Chemie & Werkstoffe
20
Optik & Fototechnik
19
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19
Verpackungs- & Fördertechnik
18
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
11
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
10
Akustik, Musik & Datenspeicherung
8