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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
31.10.2013
Contamination trap for a lithographic apparatus
WO2013160083
Optik & Fototechnik
31.10.2013
Lithographic apparatus
WO2013160082
Optik & Fototechnik
24.10.2013
Methods for providing spaced lithography features on a substrate by self-assembly of block copolymers
WO2013156240
Optik & Fototechnik
24.10.2013
Mask for lithographic apparatus and methods of inspection
WO2013156328
Optik & Fototechnik
23.10.2013
Lithografische Vorrichtung
EP1870772
Optik & Fototechnik
17.10.2013
Position measuring method, position measuring apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method, optical element
WO2013152878
Optik & Fototechnik
17.10.2013
Rotatable frame for a lithographic apparatus
WO2013152877
Optik & Fototechnik
17.10.2013
Pellicle, reticle assembly and lithographic apparatus
WO2013152921
Optik & Fototechnik
17.10.2013
Methods of providing patterned epitaxy templates for self-assemblable block copolymers for use in device lithography
WO2013152928
Optik & Fototechnik
16.10.2013
Verbessertes Verfahren zur Entwicklung in der Halbleiterlithographie
EP1303794
Optik & Fototechnik
09.10.2013
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1486828
Optik & Fototechnik
03.10.2013
Fuel system for lithographic apparatus, euv source,lithographic apparatus and fuel filtering method
WO2013143733
Elektronik & Schaltungstechnik
03.10.2013
Substrate table system, lithographic apparatus and substrate table swapping method
WO2013143777
Optik & Fototechnik
03.10.2013
Metrology method and apparatus, lithographic system and device manufacturing method
WO2013143814
Optik & Fototechnik
03.10.2013
Methods of providing patterned templates for self-assemblable block copolymers for use in device lithography
WO2013143813
Optik & Fototechnik
03.10.2013
Compact self-contained holographic and interferometric apparatus
WO2013143723
Optik & Fototechnik
26.09.2013
Lithographic apparatus, sensor and lithographic method
WO2013139553
Optik & Fototechnik
19.09.2013
Lithographic apparatus
WO2013135494
Optik & Fototechnik
12.09.2013
Ion capture apparatus, laser produced plasma radiation source, lithographic apparatus
WO2013131693
Elektronik & Schaltungstechnik
06.09.2013
Source collector apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2013127587
Optik & Fototechnik
06.09.2013
Methods of providing patterned chemical epitaxy templates for self-assemblable block copolymers for use in device lithography
WO2013127608
Software & Datenverarbeitung
29.08.2013
Fuel stream generator, source collector apparatus and lithographic apparatus
WO2013124101
Elektronik & Schaltungstechnik
29.08.2013
Device, lithographic apparatus, method for guiding radiation and device manufacturing method
WO2013124114
Optik & Fototechnik
29.08.2013
Inspection apparatus and method
WO2013124131
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.08.2013
Oszillator-Verstärker-Antriebslaser mit Samenschutz für eine Euv-Lichtquelle
EP2630704
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
15.08.2013
Radiation source and lithograpic apparatus
WO2013117355
Elektronik & Schaltungstechnik
15.08.2013
Support and lithographic apparatus comprising a support
WO2013117518
Optik & Fototechnik
15.08.2013
Methods and apparatuses for detecting contaminant particles
WO2013117448
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.08.2013
Optical element, lithographic apparatus incorporating such an element, method of manufacturing an optical element
WO2013113537
Optik & Fototechnik
08.08.2013
Lithographic apparatus with a metrology system for measuring a position of a substrate table
WO2013113633
Optik & Fototechnik
08.08.2013
A stage system and a lithographic apparatus
WO2013113632
Optik & Fototechnik
08.08.2013
Lithographic apparatus component and lithographic apparatus
WO2013113634
Optik & Fototechnik
31.07.2013
Lithografische Vorrichtung
EP2495613
Optik & Fototechnik
25.07.2013
Source-collector device, lithographic apparatus, and device manufacturing method
WO2013107686
Optik & Fototechnik
25.07.2013
Method and appartus to determine dimensional paramters of a block co-polymer structure
WO2013107740
Software & Datenverarbeitung
18.07.2013
Self-assemblable polymer and methods for use in lithography
WO2013104499
18.07.2013
A lithography apparatus, an apparatus for providing setpoint data, a device manufacturing method, a method for providing setpoint data and a computer program
WO2013104482
Optik & Fototechnik
17.07.2013
Lithographisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1531364
Optik & Fototechnik
04.07.2013
Lithographic apparatus and device manufacturing method
WO2013098053
Optik & Fototechnik
04.07.2013
Catadioptric objective for scatterometry
WO2013098031
Optik & Fototechnik

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