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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
27.06.2013
Radiation source and method for lithographic apparatus and device manufacture
Elektronik & Schaltungstechnik
27.06.2013
Methods and apparatus for measuring a property of a substrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.06.2013
Device manufacturing method and associated lithographic apparatus, inspection apparatus, and lithographic processing cell
Optik & Fototechnik
19.06.2013
Lithographischer Projektionsapparat
Optik & Fototechnik
13.06.2013
Method for a patterning device support
Optik & Fototechnik
29.05.2013
Ausrichtung eines Lichtquellenfokus
Medizintechnik & Gesundheit
22.05.2013
Magnetischer Betätiger unter piezoelektrischer Steuerung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.05.2013
Lithografisches Gerät, Strahlungssystem und Filtersystem
Optik & Fototechnik
10.05.2013
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
01.05.2013
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
01.05.2013
Master-Oszillator-Leistungsverstärker-Laser mit Vorimpuls für Euv-Lichtquellen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2013
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.04.2013
Verfahren zum Schutz einer optischen Komponente, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und lithographisches Gerät enthaltend eine optische Komponente
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
10.04.2013
Mehrschichtiger Spiegel
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
27.03.2013
Reinigungsvorrichtung und Immersionslithographievorrichtung
Optik & Fototechnik
27.03.2013
Spektraler Reinigungsfilter für einen mehrschichtigen Spiegel, lithografische Vorrichtung mit einem derartigen mehrschichtigen Spiegel, Verfahren zur Vergrößerung des Verhältnisses von erwünschter und unerwünschter Strahlung sowie Geräteherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
06.03.2013
Lithografische Vorrichtung, Projektionsanordnung und aktive Dämpfung
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Maschinenelemente & Fluidtechnik
06.03.2013
Spektraler Reinigungsfilter
Optik & Fototechnik
27.02.2013
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
27.02.2013
Lithographisches Gerät und Gasverteilereinrichtung
Optik & Fototechnik
20.02.2013
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
20.02.2013
Trägerplattenvorrichtung, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
13.02.2013
Zielmaterial, Quelle, Euv-Lithographievorrichtung und Geräteherstellungsverfahren unter deren Verwendung
Elektronik & Schaltungstechnik
13.02.2013
Systeme und Verfahren für den Schutz einer Zielmaterialausgabe in einer Laserproduzierten Plasma-Euv-Lichtquelle
Elektrische Energietechnik
31.01.2013
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2013
Lithografische Vorrichtung und Filter mit Spektraler Reinheit
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
23.01.2013
Projektionsbelichtungsvorrichtung zur EUV-Lithographie
Optik & Fototechnik
23.01.2013
Verfahren und Vorrichtung zur Rekonstruktion mikroskopischer Strukturen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.01.2013
Spektralreinigungsfilter und Verfahren zur Herstellung eines Spektralreinigungsfilters
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
16.01.2013
Strahlungsquelle, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
02.01.2013
Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
05.12.2012
Lithographische Vorrichtung mit einer Gasdusche
Optik & Fototechnik
05.12.2012
Strahlendetektor, Verfahren zur Herstellung des Strahlendetektors und lithografische Vorrichtung mit diesem Strahlendetektor
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.11.2012
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
10.10.2012
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Polarisationseigenschaft einer Lithografischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik
03.10.2012
Strahlungsquelle
Elektronik & Schaltungstechnik
26.09.2012
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
19.09.2012
Verfahren zum Schutz einer optischen Komponente, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, Gerät enthaltend eine optische Komponente, und lithographisches Gerät
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
05.09.2012
Lithografisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
25.07.2012
Strahlungsquelle, Lithographiegerät und Methode zur Herstellung von Bauelementen
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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