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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
23.11.2022
Pellikelmembran für eine Lithographische Vorrichtung
EP4091023
Optik & Fototechnik
23.11.2022
Saugklemme, Objekthandhabungsvorrichtung, Bühnenvorrichtung und Lithographische Vorrichtung
EP4091024
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
17.11.2022
System and method to ensure parameter measurement matching across metrology tools
WO2022238098
Optik & Fototechnik
17.11.2022
Flow restrictive element and use thereof
WO2022238069
Optik & Fototechnik
17.11.2022
Apparatus for conditioning and directing a radiation beam
WO2022238091
Optik & Fototechnik
16.11.2022
System und Verfahren zur Sicherstellung, Dass Parametermessungen über Metrologiewerkzeuge Hinweg Übereinstimmen
EP4089484
Optik & Fototechnik
16.11.2022
Bewertungssystem, Verfahren zur Bewertung
EP4089712
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2022
Vorrichtung zum Konditionieren und Richten eines Strahlenbündels
EP4089483
Optik & Fototechnik
16.11.2022
Laserbetriebene Lichtquelle
EP2851934
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2022
Rezeptauswahl auf Basis der Konsistenz zwischen Rezepten
EP3311224
Optik & Fototechnik
16.11.2022
Ladungsteilchenbeurteilungswerkzeug, Inspektionsverfahren
EP4088301
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.11.2022
Metrology apparatus and lithographic apparatus
WO2022233523
Optik & Fototechnik
10.11.2022
Lithography apparatus and method
WO2022233506
Optik & Fototechnik
10.11.2022
Positioning system, lithographic apparatus, driving force attenuation method, and device manufacturing method
WO2022233542
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
10.11.2022
Method for determining a stochastic metric relating to a lithographic process
WO2022233546
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
10.11.2022
System and method for distributed image recording and storage for charged particle systems
WO2022233591
Software & Datenverarbeitung
09.11.2022
Verfahren zur Bestimmung einer Stochastischen Metrik Bezüglich eines Lithographischen Prozesses
EP4086703
Optik & Fototechnik
09.11.2022
Hohlkernglasfaserbasierte Strahlungsquelle
EP4086698
Optik & Fototechnik
09.11.2022
Optische Elektronensäule und Verfahren zum Richten eines Strahls von Primärelektronen auf eine Probe
EP4086934
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2022
System für Geladene Teilchen, Verfahren zur Bearbeitung einer Probe unter Verwendung eines Mehrfachstrahls von Geladenen Teilchen
EP4086933
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2022
Temperaturmessung von Optischen Elementen in einem Optischen Gerät
EP4086702
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.11.2022
Mirror system
WO2022228768
Optik & Fototechnik
03.11.2022
Image Enhancement in Charged Particle Inspection
WO2022229317
Software & Datenverarbeitung
03.11.2022
Hierarchical clustering of fourier transform based layout patterns
WO2022229312
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
03.11.2022
Charged particle assessment system and method
WO2022228943
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2022
Anreicherung und Radioisotopproduktion
EP3864676
Verfahrens- & Trenntechnik Elektrische Energietechnik
02.11.2022
System und Verfahren zur Bewertung Geladener Partikel
EP4084039
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2022
Spiegelsystem
EP4083708
Optik & Fototechnik
02.11.2022
Laserstrahlmesssystem, Laserstrahlsystem, Euv-Strahlungsquelle und Lithographische Vorrichtung
EP4083570
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.11.2022
Vorrichtung und Verfahren zum Transport von Radikalen
EP2828708
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2022
Verfahren zur Kalibrierung einer Codierskala und Lithografische Vorrichtung
EP2904453
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.11.2022
Netzwerkarchitektur und Protokoll für einen Cluster von Lithografiegeräten
EP2700081
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
27.10.2022
Metrology tool calibration method and associated metrology tool
WO2022223230
Optik & Fototechnik
27.10.2022
Surface treatment device and method
WO2022223277
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
27.10.2022
Temperature conditioning system, a lithographic apparatus and a method of temperature conditioning an object
WO2022223220
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2022
Metrologiewerkzeugkalibrierungsverfahren und Zugehöriges Metrologiewerkzeug
EP4080284
Optik & Fototechnik
26.10.2022
Gefäss für eine Strahlungsquelle
EP4078293
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
26.10.2022
Ladungsteilchenstrahlengerät mit Geringem Übersprechen
EP4078647
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2022
Vorrichtung und Verfahren zum Überwachen von Tröpfchen in einem Tröpfchenstrom
EP4079109
Elektronik & Schaltungstechnik
26.10.2022
Spiegel zur Durchführung von Metrologie in einem Laserstrahlsystem, Laserstrahlsystem, Euv-Strahlungsquelle und Lithografievorrichtung
EP4080286
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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171
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92
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67
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
60
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55
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39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

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