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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
06.01.2021
Elektrodenkühlanordnung
EP3069368
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2021
Vorrichtung und Methode zur Beeinflussung der Lokalen Phase eines Geladenen Teilchenstrahls
EP3761340
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.01.2021
Spiegelkalibrierungsverfahren, Positionsmessverfahren, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3761116
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.01.2021
Herstellung von Radioisotopen
EP3584801
Elektrische Energietechnik
06.01.2021
Ausrichtungsmarkierungspositionierung in einem Lithographischen Prozess
EP3759552
Optik & Fototechnik
06.01.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Formung einer Strukturierten Materialschicht
EP3759550
Optik & Fototechnik
30.12.2020
Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung
EP3758168
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Multilayer superconductive article, superconductive coil, actuator, motor, stage apparatus and lithographic apparatus
WO2020260000
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
24.12.2020
Metrology method and apparatus for of determining a complex-valued field
WO2020254041
Optik & Fototechnik
24.12.2020
Method for patterning process modelling
WO2020254066
Optik & Fototechnik
24.12.2020
Mounted Hollow-Core Fibre Arrangement
WO2020254138
Optik & Fototechnik
23.12.2020
Fluidhandhabungsstruktur und Immersionslithografievorrichtung
EP3172623
Optik & Fototechnik
23.12.2020
Metrologieverfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines Komplexwertigen Feldes
EP3754427
Optik & Fototechnik
17.12.2020
Metrology method and method for training a data structure for use in metrology
WO2020249332
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.12.2020
Lithographic apparatus
WO2020249353
Optik & Fototechnik
17.12.2020
Lithographic patterning device multichannel position and level gauge
WO2020249394
Optik & Fototechnik
16.12.2020
Interferometersystem, Verfahren zur Bestimmung eines Modussprungs einer Laserquelle eines Interferometersystems, Verfahren zur Bestimmung einer Position eines Beweglichen Objekts und Lithografische Vorrichtung
EP3751229
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.12.2020
Metrologieverfahren und Verfahren zum Trainieren einer Datenstruktur zur Verwendung in der Metrologie
EP3751342
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.12.2020
Causal inference using time series data
WO2020244853
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
10.12.2020
Image formation apparatus
WO2020244854
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.12.2020
Tragetisch für eine Lithografische Vorrichtung, Verfahren zum Laden eines Substrats, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3210080
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
09.12.2020
Verfahren zum Kennzeichnen von Substraten basierend auf Prozessparametern
EP3746946
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
03.12.2020
Stage anti-fretting mechanism for roller bearing lifetime improvement
WO2020239426
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
03.12.2020
Lithographic apparatus, substrate table, and method
WO2020239373
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2020
Apparatus and method for providing a substrate with radiation
WO2020239430
Optik & Fototechnik
03.12.2020
Fluid control device and method for fluid control in an extreme ultraviolet light source
WO2020239625
Maschinenelemente & Fluidtechnik Elektronik & Schaltungstechnik
03.12.2020
Self-referencing interferometer and dual self-referencing interferometer devices
WO2020239516
Optik & Fototechnik
02.12.2020
Auf Rechnergestützter Metrologie Basiertes Abtastschema
EP3743771
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.11.2020
Metrology Tools Comprising Aplanatic Objective Singlet
WO2020233929
Optik & Fototechnik
26.11.2020
Method for determining stochastic variation associated with desired pattern
WO2020233950
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.11.2020
Mirror for use in a lithographic apparatus
WO2020234043
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
26.11.2020
Actuator Assemblies Comprising Piezo Actuators Or Electrostrictive Actuators
WO2020234045
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.11.2020
Systeme und Verfahren zur Anpassung von Vorhersagemodellen zwischen Anlagenstandorten
EP3742229
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
25.11.2020
Detektionsvorrichtung zur Gleichzeitigen Aufnahme mehrerer Verschiedener Bilder eines Objekts
EP3742230
Optik & Fototechnik
25.11.2020
Antischleifmechanismus für Objektträger zur Verbesserung der Lebensdauer von Wälzlagern
EP3742471
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
19.11.2020
Detection apparatus for simultaneous acquisition of multiple diverse images of an object
WO2020229049
Optik & Fototechnik
18.11.2020
Metrologiewerkzeuge mit Aplanatischem Objektiv-Singulett
EP3739389
Optik & Fototechnik
12.11.2020
Method for determining an alignment model based on an oblique fitting technique
WO2020224879
Optik & Fototechnik
12.11.2020
Dark Field Microscope
WO2020224882
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.11.2020
Guiding device
WO2020224893
Elektronik & Schaltungstechnik

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1.232
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
615
Elektronik & Schaltungstechnik
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277
Elektrische Energietechnik
171
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92
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67
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60
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55
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39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

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