KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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27.02.2019
Frequenzumwandlungssystem mit Hoher Schadensschwelle
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2011
Erteilt am 27.02.2019
Vertretung
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21.02.2019
On-device metrology using target decomposition
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.08.2018
Anhängig
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21.02.2019
Machine Learning in Metrology Measurements
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 06.12.2017
Anhängig
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20.02.2019
Verfahren und System zur Ladungskontrolle zur Bildgebung Schwimmender Metallstrukturen auf Nicht-Leitfähigen Substraten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.02.2019
Variable Aperture Mask
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.08.2018
Anhängig
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14.02.2019
Bandgap measurements of patterned film stacks using spectroscopic metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 06.08.2018
Anhängig
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14.02.2019
Nuisance reduction using location-based attributes
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.08.2018
Anhängig
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13.02.2019
Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Eigenschaften in einer Tsv-Struktur mit Strahlprofilreflektometrie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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07.02.2019
Overlay metrology using multiple parameter configurations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.07.2018
Anhängig
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07.02.2019
Overlay metrology using multiple parameter configurations
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 25.07.2018
Anhängig
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31.01.2019
Multilayer Film Metrology Using an Effective Media Approximation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.07.2018
Anhängig
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31.01.2019
High Power Broadband Illumination Source
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 23.07.2018
Anhängig
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31.01.2019
Multilayer Film Metrology Using an Effective Media Approximation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.07.2018
Anhängig
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31.01.2019
Laser sustained plasma light source with forced flow through natural convection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.07.2018
Anhängig
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30.01.2019
System und Verfahren zur Driftkompensation bei einem Elektronenstrahlbasierten Charakterisierungswerkzeug
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.01.2019
Identifying a source of nuisance defects on a wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.07.2018
Anhängig
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24.01.2019
Image-based metrology overlay metrology and monitoring using through-focus imaging
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.07.2018
Anhängig
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17.01.2019
Tool health monitoring and matching
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.07.2017
Anhängig
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17.01.2019
Methods and systems for semiconductor metrology based on polychromatic soft x-ray diffraction
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.07.2018
Anhängig
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10.01.2019
Estimating Amplitude And Phase Asymmetry in Imaging Technology For Achieving High Accuracy in Overlay Metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.07.2018
Anhängig
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03.01.2019
Generating high resolution images from low resolution images for semiconductor applications
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.06.2018
Anhängig
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03.01.2019
Systems and methods for predicting defects and critical dimension using deep learning in the semiconductor manufacturing process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.06.2018
Anhängig
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03.01.2019
Broad band plasma inspection based on a nuisance map
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.06.2018
Anhängig
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03.01.2019
System and method for x-ray imaging and classification of volume defects
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.06.2018
Anhängig
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02.01.2019
Analyse der Grundursachen von Prozessabweichungen in der Scatterometrie
Optik & Fototechnik
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13.12.2018
Multi-column scanning electron microscopy system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2018
Anhängig
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13.12.2018
Repeater Defect Detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.06.2018
Anhängig
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12.12.2018
System und Verfahren für Hyperspektrale Bildgebungsmetrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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12.12.2018
Feldkrümmungskorrektur für Mehrstrahlige Inspektionssysteme
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.12.2018
Process monitoring for deep structures with x-ray scatterometry
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.05.2018
Anhängig
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05.12.2018
Verwendung einer Wafergeometrie zur Verbesserung der Wirksamkeit einer Scannerkorrektur zur Überlagerungssteuerung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.05.2014
Erteilt am 05.12.2018
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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05.12.2018
Optisches Bildgebungssystem mit Katroptischem Objektiv, Breitbandobjektiv mit Spiegel sowie Brechungslinsen und Optisches Breitband-Bildgebungssystem mit Zwei oder Mehr Abbildungswegen
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 01.10.2008
Erteilt am 05.12.2018
Vertretung
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29.11.2018
Wafer inspection using difference images
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.05.2018
Anhängig
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29.11.2018
Zonal analysis for recipe optimization and measurement
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.12.2017
Anhängig
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29.11.2018
Scalable and flexible job distribution architecture for semiconductor inspection and metrology systems
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 18.05.2018
Anhängig
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22.11.2018
High accuracy of relative defect locations for repeater analysis
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.05.2018
Anhängig
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22.11.2018
Apparatus and methods for inspecting reticles
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.12.2017
Anhängig
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15.11.2018
A learning based approach for aligning images acquired with different modalities
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 09.05.2018
Anhängig
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15.11.2018
Floating Wafer Chuck
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.05.2018
Anhängig
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15.11.2018
A learning based approach for aligning images acquired with different modalities
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.05.2018
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7