Tokyo Electron Logo

Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

6.250 gesamt
Patent
21.09.2006
Treatment device, treatment device consumable parts management method, treatment system, and treatment system consumable parts management method
WO2006098081
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2006
Method of forming connection pin, probe, connection pin, probe card, and method of producing probe card
WO2006095759
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2006
Method of substrate treatment, recording medium and substrate treating apparatus
WO2006095560
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2006
Verfahren zur Verbesserung des Photoresistprofils eines Abgeschiedenen Dielektrischen Films nach der Entwicklung
EP1699946
Metallurgie & Oberflächentechnik
08.09.2006
Chuck Pedestal Shield
WO2006093578
08.09.2006
Microwave plasma processing device
WO2006092985
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.09.2006
Relay station and substrate processing system using relay station
WO2006093120
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.09.2006
Probe and probe card
WO2006093185
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.09.2006
Schieberventil für Halbleiterbehandlungsvorrichtung
EP1182387
Maschinenelemente & Fluidtechnik
06.09.2006
Schaltungssteuervorrichtung mit Programmierbarer Logik, Schaltungssteuerverfahren mit Programmierbarer Logik und Programm
EP1697829
Software & Datenverarbeitung
31.08.2006
Stage apparatus and coating treatment device
WO2006090619
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.08.2006
Method and system for treating a dielectric film
WO2006091264
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.08.2006
Optical metrology optimization for repetitive structures
WO2006091361
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
30.08.2006
Halter zur Platzierung eines Zielobjektes
EP1528589
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2006
Kontaktor für Zuverlässigkeitsbewertungstester
EP1696479
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.08.2006
Method and system for treating a substrate with a high pressure fluid using fluorosilicic acid
WO2006088560
Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
24.08.2006
A method and system for improved delivery of a precursor vapor to a processing zone
WO2006088562
Metallurgie & Oberflächentechnik
24.08.2006
Temperature setting method for heat treating plate, temperature setting device for heat treating plate, program and computer-readable recording medium recording program
WO2006087938
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.08.2006
Fault detection and classification (fdc) using a run-to-run controller
WO2006088545
Software & Datenverarbeitung
24.08.2006
Method for treating a substrate with a high pressure fluid using a peroxide-based process chemistry
WO2006088561
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
24.08.2006
Inductance Element
WO2006088146
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.08.2006
Optical metrology of a structure formed on a semiconductor wafer using optical pulses
WO2006088698
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.08.2006
Inspektionsverfahren und Inspektionsunterstützende Vorrichtung eines Quarzprodukts in einem Halbleiterbearbeitungssystem
EP1693662
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.08.2006
Substratbehandlungs-Einrichtungssteuerverfahren und Substratbehandlungseinrichtung
EP1693886
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.08.2006
Method for manufacturing capacitor, method for manufacturing semiconductor device and apparatus for manufacturing semiconductor device
WO2006085427
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.08.2006
Thin film laminate structure, method for formation thereof, film formation apparatus, and storage medium
WO2006085447
Metallurgie & Oberflächentechnik
17.08.2006
Method of forming film and film forming apparatus
WO2006085425
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.08.2006
Heat treatment apparatus and heat treatment method
WO2006085489
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.08.2006
Temperature setting method for heat treating plate, temperature setting device for heat treating plate, program and computer-readable recording medium recording program
WO2006085527
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2006
Verfahren zum Reinigen der Leitfähigen Schichtoberfläche eines Halbleitersubstrats
EP1691403
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2006
Verfahren zum Verarbeiten eines Substrats, Reinigungsverfahren nach chemisch-mechanischem Polieren, Verfahren und Programm zur Herstellung eines elektronischen Bauteils
EP1691409
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.08.2006
Method for fabricating a semiconductor device
WO2006083380
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.08.2006
Method for cleaning and method for plasma treatment
WO2006082724
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.08.2006
Semiconductor device manufacturing method and plasma oxidation method
WO2006082730
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.08.2006
Iso/nested control for soft mask processing
WO2006083919
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2006
Method and apparatus for monolayer deposition
WO2006081020
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.08.2006
Method and apparatus for monolayer deposition (mld)
WO2006081023
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.08.2006
Cooling treatment device
WO2006080290
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2006
Verfahren zur Reinigung von Cvd-Einrichtungen und Reinigungsgerät dafür
EP1304731
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2006
Kapazitätsbestimmungsschaltung und Kapazitätsbestimmungsverfahren
EP1686383
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Wer vertritt Tokyo Electron?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

Zum Anmelder-Profil

Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.299
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
790
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen