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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
01.12.2021
Substrathalter zur Verwendung in einem Lithografischen Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP3915142
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2021
Konditioniervorrichtung und Zugehöriger Objekthandler, Stufeneinrichtung und Lithographieeinrichtung
EP3916482
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.11.2021
Generating an Alignment Signal Based On Local Alignment Mark Distortions
WO2021233642
Optik & Fototechnik
25.11.2021
A supercontinuum ratiation source and associated metrology devices
WO2021233626
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.11.2021
Magnet assembly, coil assembly, planar motor, positioning device and lithographic apparatus
WO2021233615
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
24.11.2021
Konfiguration eines Eingebermodells
EP3913435
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
24.11.2021
Superkontinuumstrahlungsquelle und Zugehörige Metrologievorrichtungen
EP3913429
Optik & Fototechnik
18.11.2021
Substrate support system, lithographic apparatus and method of exposing a substrate
WO2021228595
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.11.2021
Method of wafer alignment using at resolution metrology on product features
WO2021228811
Optik & Fototechnik
18.11.2021
Polarization control system
WO2021228506
Optik & Fototechnik
18.11.2021
Euv Radiation Source
WO2021228517
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
18.11.2021
Method for predicting stochastic contributors
WO2021229030
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.11.2021
Determining metrics for a portion of a pattern on a substrate
WO2021228725
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
17.11.2021
Verfahren zur Bestimmung einer Inspektionsstrategie für eine Gruppe von Substraten in einem Halbleiterherstellungsverfahren
EP3910417
Optik & Fototechnik
17.11.2021
Verfahren zur Direkten Zersetzung von Stochastischen Mitwirkenden
EP3910418
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
17.11.2021
Polarisationssteuerungssystem
EP3910420
Optik & Fototechnik
17.11.2021
Verfahren zur Modellierung von Systemen oder zur Durchführung von Prädiktiver Wartung von Systemen, Wie Etwa Lithografische Systeme, sowie Zugehörige Lithografische Systeme
EP3910419
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
17.11.2021
Euv-Strahlungsquelle
EP3911126
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
11.11.2021
Methods and apparatus for diagnosing unobserved operational parameters
WO2021223958
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
11.11.2021
Contamination shield for mechanically insulating device
WO2021223953
Maschinenelemente & Fluidtechnik Elektronik & Schaltungstechnik
11.11.2021
A substrate comprising a target arrangement, and associated at least one patterning device, lithographic method and metrology method
WO2021224009
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
11.11.2021
System and method for generating level data for a surface of a substrate
WO2021223940
Optik & Fototechnik
10.11.2021
Verfahren zur Verringerung von Effekten einer Linsenheizung Und/oder -Kühlung in einem Lithographischen Prozess
EP3702839
Optik & Fototechnik
10.11.2021
Mehrstrahl-Inspektionsgerät
EP3906578
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.11.2021
Bestimmung einer Teilmenge von Komponenten einer Optischen Charakteristik einer Mustervorrichtung
EP3906442
Optik & Fototechnik
10.11.2021
Ladungsteilchenstrahlsystem zum Abtasten einer Probe
EP3906579
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.11.2021
Enhanced architecture for high-performance detection device
WO2021219519
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.11.2021
Substrathalter für eine Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Substrathalters
EP3903152
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.10.2021
Contaminant identification metrology system, lithographic apparatus, and methods thereof
WO2021213813
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.10.2021
Actuator Unit For Positioning an Optical Element
WO2021213745
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
28.10.2021
An Inspection Tool, Inspection Tool Operating Method
WO2021213870
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.10.2021
System, lithographic apparatus and method
WO2021213791
Optik & Fototechnik
27.10.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Vorhersage einer mit einem Prozess Assoziierten Prozessmetrik
EP3901700
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
27.10.2021
Lithografische Vorrichtung mit Thermischem Konditionierungssystem zur Konditionierung eines Wafers
EP3899663
Optik & Fototechnik
27.10.2021
Verfahren zur Herstellung einer Membrananordnung
EP3899659
Optik & Fototechnik
27.10.2021
Verfahren zur Erzeugung und Optimierung eines Probenschemas
EP3899664
Optik & Fototechnik
27.10.2021
Objekttisch mit einer Elektrostatischen Klemme
EP3899665
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2021
Thermische Kontrolle des Retikelunterfeldes
EP3899666
Optik & Fototechnik
27.10.2021
Inspektionswerkzeug, Verfahren zum Betreiben eines Inspektionswerkzeugs und Nichttransitorisches Computerlesbares Medium
EP3901982
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.10.2021
Contaminant analyzing metrology system, lithographic apparatus, and methods thereof
WO2021209273
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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60
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