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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
03.10.2013
Methods of providing patterned templates for self-assemblable block copolymers for use in device lithography
Optik & Fototechnik
26.09.2013
Lithographic apparatus, sensor and lithographic method
Optik & Fototechnik
19.09.2013
Lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
12.09.2013
Ion capture apparatus, laser produced plasma radiation source, lithographic apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
06.09.2013
Source collector apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
06.09.2013
Methods of providing patterned chemical epitaxy templates for self-assemblable block copolymers for use in device lithography
Software & Datenverarbeitung
29.08.2013
Fuel stream generator, source collector apparatus and lithographic apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
29.08.2013
Device, lithographic apparatus, method for guiding radiation and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
29.08.2013
Inspection apparatus and method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.08.2013
Oszillator-Verstärker-Antriebslaser mit Samenschutz für eine Euv-Lichtquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
15.08.2013
Radiation source and lithograpic apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
15.08.2013
Support and lithographic apparatus comprising a support
Optik & Fototechnik
08.08.2013
Optical element, lithographic apparatus incorporating such an element, method of manufacturing an optical element
Optik & Fototechnik
08.08.2013
Lithographic apparatus with a metrology system for measuring a position of a substrate table
Optik & Fototechnik
08.08.2013
A stage system and a lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
08.08.2013
Lithographic apparatus component and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
31.07.2013
Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
25.07.2013
Source-collector device, lithographic apparatus, and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
25.07.2013
Method and appartus to determine dimensional paramters of a block co-polymer structure
Software & Datenverarbeitung
18.07.2013
Self-assemblable polymer and methods for use in lithography
18.07.2013
A lithography apparatus, an apparatus for providing setpoint data, a device manufacturing method, a method for providing setpoint data and a computer program
Optik & Fototechnik
17.07.2013
Lithographisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
04.07.2013
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
27.06.2013
Radiation source and method for lithographic apparatus and device manufacture
Elektronik & Schaltungstechnik
27.06.2013
Methods and apparatus for measuring a property of a substrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.06.2013
Device manufacturing method and associated lithographic apparatus, inspection apparatus, and lithographic processing cell
Optik & Fototechnik
19.06.2013
Lithographischer Projektionsapparat
Optik & Fototechnik
29.05.2013
Ausrichtung eines Lichtquellenfokus
Medizintechnik & Gesundheit
22.05.2013
Magnetischer Betätiger unter piezoelektrischer Steuerung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.05.2013
Lithografisches Gerät, Strahlungssystem und Filtersystem
Optik & Fototechnik
01.05.2013
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
01.05.2013
Master-Oszillator-Leistungsverstärker-Laser mit Vorimpuls für Euv-Lichtquellen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2013
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.04.2013
Verfahren zum Schutz einer optischen Komponente, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, und lithographisches Gerät enthaltend eine optische Komponente
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
10.04.2013
Mehrschichtiger Spiegel
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
27.03.2013
Reinigungsvorrichtung und Immersionslithographievorrichtung
Optik & Fototechnik
27.03.2013
Spektraler Reinigungsfilter für einen mehrschichtigen Spiegel, lithografische Vorrichtung mit einem derartigen mehrschichtigen Spiegel, Verfahren zur Vergrößerung des Verhältnisses von erwünschter und unerwünschter Strahlung sowie Geräteherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
06.03.2013
Lithografische Vorrichtung, Projektionsanordnung und aktive Dämpfung
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Maschinenelemente & Fluidtechnik
06.03.2013
Spektraler Reinigungsfilter
Optik & Fototechnik
27.02.2013
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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