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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
13.12.2018
Method of unloading an object from a support table
WO2018224218
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2018
Alignment measurement system
WO2018224251
Optik & Fototechnik
13.12.2018
A system for cleaning a substrate support, a method of removing matter from a substrate support, and a lithographic apparatus
WO2018224303
Optik & Fototechnik
13.12.2018
System and method for measurement of alignment
WO2018224293
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.12.2018
Measurement method and apparatus
WO2018224349
Optik & Fototechnik
06.12.2018
Particle removal apparatus and associated system
WO2018219509
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
06.12.2018
Lithographic apparatus
WO2018219569
Optik & Fototechnik
06.12.2018
Patterning device
WO2018219572
Optik & Fototechnik
06.12.2018
Radiation Source
WO2018219578
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.12.2018
Metrology apparatus
WO2018219639
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.12.2018
Methods and apparatus for predicting performance of a measurement method, measurement method and apparatus
WO2018219585
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.12.2018
Verfahren und Vorrichtung zur Vorhersage der Leistung eines Messverfahrens, Messverfahren und Vorrichtung
EP3410211
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.12.2018
Metrologiesystem
EP3410212
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.11.2018
Setpoint generator, lithographic apparatus, lithographic apparatus operating method, and device manufacturing method
WO2018215140
Optik & Fototechnik
29.11.2018
Control system, method to increase a bandwidth of a control system, and lithographic apparatus
WO2018215153
Steuerungs- & Regelungstechnik
29.11.2018
Substrates and methods of using those substrates
WO2018215172
Optik & Fototechnik
29.11.2018
Assist feature placement based on machine learning
WO2018215188
Optik & Fototechnik
29.11.2018
Method of measuring a parameter of interest, inspection apparatus, lithographic system and device manufacturing method
WO2018215177
Optik & Fototechnik
29.11.2018
Alignment Mark For Two-Dimensional Alignment in an Alignment System
WO2018215173
Optik & Fototechnik
22.11.2018
Metrology sensor, lithographic apparatus and method for manufacturing devices
WO2018210505
Optik & Fototechnik
22.11.2018
Method of measuring a target, metrology apparatus, lithographic cell, and target
WO2018210557
Optik & Fototechnik
22.11.2018
Transport system having a magnetically levitated transportation stage
WO2018213825
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
21.11.2018
Verfahren zur Messung eines Ziels, Metrologievorrichtung, Lithographiezelle und Ziel
EP3404488
Optik & Fototechnik
15.11.2018
Metrology sensor, lithographic apparatus and method for manufacturing devices
WO2018206177
Optik & Fototechnik
15.11.2018
Method of determining a focus of a projection system, device manufacturing method, and apparatus for determining a focus of a projection system
WO2018206199
Optik & Fototechnik
15.11.2018
Laser Produced Plasma Source
WO2018206244
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2018
Method of measuring a structure, inspection apparatus, lithographic system and device manufacturing method
WO2018206227
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.11.2018
Methods for evaluating resist development
WO2018206275
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
15.11.2018
Apparatus for and method of controlling debris in an euv light source
WO2018208388
Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.11.2018
Verfahren zur Messung einer Struktur, Inspektionsvorrichtung, Lithographiesystem und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP3401733
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.11.2018
Method to predict yield of a device manufacturing process
WO2018202361
Optik & Fototechnik
08.11.2018
Metrology parameter determination and metrology recipe selection
WO2018202388
Optik & Fototechnik
08.11.2018
Method of measuring a parameter of interest, device manufacturing method, metrology apparatus, and lithographic system
WO2018202394
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.11.2018
Method, substrate and apparatus to measure performance of optical metrology
WO2018202414
Optik & Fototechnik
07.11.2018
Verfahren zur Messung eines Bestimmten Parameters, Vorrichtungsherstellungsverfahren, Metrologieeinrichtung und Lithografiesystem
EP3399371
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.11.2018
Lithografische Vorrichtung
EP3287848
Optik & Fototechnik
01.11.2018
Optimizing a sequence of processes for manufacturing of product units
WO2018197144
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
01.11.2018
Device manufacturing method
WO2018197146
Optik & Fototechnik
01.11.2018
Method and apparatus for optimization of lithographic process
WO2018197143
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
01.11.2018
Metrology method and apparatus and associated computer program
WO2018197198
Optik & Fototechnik

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