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Carl Zeiss SMT Patente

🇩🇪 Deutschland

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.949 gesamt
Patent
20.12.2006
Catadioptrisches Projektionsobjektiv
EP1733271
Optik & Fototechnik
20.12.2006
Katadioprisches Projektionsobjektiv mit Spiegelgruppe
EP1733272
Optik & Fototechnik
14.12.2006
Multiple-use projection system
WO2006131242
Optik & Fototechnik
14.12.2006
Immersionslithographieobjektiv
WO2006131258
Optik & Fototechnik
14.12.2006
Beleuchtungseinrichtung einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
WO2006131517
Optik & Fototechnik
13.12.2006
Verfahren zur Herstellung Reflektierender Optischer Elemente, Reflektierende Optische Elemente, Euv-Lithographievorrichtungen und -Verfahren zum Betreiben von Optischen Elementen und Euv-Lithographievorrichtungen, Verfahren zur Bestimmung der Phasenverschiebung, Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke und Vorrichtungen zum Ausführen
EP1730597
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.11.2006
Abbildungssystem, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
WO2006125790
Optik & Fototechnik
29.11.2006
Vorrichtung, die aus mindestens einem Optischen Element Besteht
EP1725910
Optik & Fototechnik
29.11.2006
Beleuchtungssystem mit Genestetem Kollektor zur Annularen Ausleuchtung einer Austrittspupille
EP1481276
Optik & Fototechnik
29.11.2006
Optisches System und Verfahren zum Betreiben desselben
EP1726993
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
22.11.2006
Reflektives Projektionsobjektiv für EUV-Photolithographie
EP1282011
Optik & Fototechnik
16.11.2006
Assembly for adjusting of an optical element
WO2006119970
Optik & Fototechnik
15.11.2006
System zur Reduzierung der Kohärenz einer Laserstrahlung
EP1721217
Optik & Fototechnik
15.11.2006
Beleuchtungssystem für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage
EP1721219
Optik & Fototechnik
08.11.2006
Höchst reproduzierbare Spiegel-Stellglied Schnittstelle mit niedrigem Drehmoment
EP1720068
Optik & Fototechnik
08.11.2006
Methode zur Herstellung eines Projektionsobjektivs
EP1720069
Optik & Fototechnik
02.11.2006
Projektionsobjektiv für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP1716454
Optik & Fototechnik
26.10.2006
Method for connecting two elements and optical component
WO2006111185
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
25.10.2006
Projektionsobjektiv für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsvorrichtung
EP1714192
Optik & Fototechnik
04.10.2006
Verfahren und Vorrichtung zur Dekontamination Optischer Oberflächen
EP1483063
Verfahrens- & Trenntechnik
27.09.2006
Vorrichtung und Verfahren zur Belichtung einer strahlungsempfindlichen Schicht mittels geladener Teilchen sowie Maske hierfür
EP1182505
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2006
Vorrichtung und Verfahren zur Optischen Vermessung eines Optischen Systems, Messstrukturträger und Mikrolithographie-Projekti Onsbelichtungsanlage
EP1704445
Optik & Fototechnik
20.09.2006
Optische Anordnung
EP1103857
Optik & Fototechnik
13.09.2006
Objektiv Verwendbar als Mikrolithographisches Projektionsobjektiv mit mindestens einer Flüssigkeitslinse
EP1700163
Optik & Fototechnik
06.09.2006
Projektionsobjektiv mit einer Hohen Apertur und einer Planarendoberfläche
EP1697798
Optik & Fototechnik
06.09.2006
Mehrspiegelsystem für ein Beleuchtungssystem
EP1200878
Optik & Fototechnik
06.09.2006
Polarisationsbeeinflussende Anordnung und Projektionsbelichtungsanlage damit
EP1697797
Optik & Fototechnik
31.08.2006
Spatially resolving radiation detector and fabricating and operating methods
WO2006089724
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.08.2006
Optischer Verbundwerkstoff und dessen Herstellungsverfahren
WO2006089738
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30.08.2006
Beleuchtungssystem für die Mikrolithographie
EP1180726
Optik & Fototechnik
30.08.2006
Teilobjektiv für Beleuchtungssystem
EP1235112
Optik & Fototechnik
23.08.2006
Schmalbandiger Spektralfilter und Seine Verwendung
EP1356476
Elektrische Energietechnik
17.08.2006
Microlithographic projection exposure apparatus
WO2006084479
Optik & Fototechnik
17.08.2006
Illumination system for a microlithographic projection exposure apparatus
WO2006084476
Optik & Fototechnik
03.08.2006
Optische Baugruppe
WO2006079537
Optik & Fototechnik
20.07.2006
Illumination sytsem for a microlithographic projection exposure apparatus
WO2006074812
Optik & Fototechnik
19.07.2006
Ultraviolettlicht-Abschwächungsfilter
EP1260835
Optik & Fototechnik
12.07.2006
Blendenwechsler
EP1678558
Optik & Fototechnik
12.07.2006
Optische Vorrichtung für die Photolithographie
EP1678559
Optik & Fototechnik
06.07.2006
Apparatus for mounting two or more optical elements and method for processing the surface of an optical element
WO2006069785
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11

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