Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.949 gesamt| Patent | |||
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06.07.2006
Objektivmodul mit wenigstens einem Austauschbaren Optischen Element
Optik & Fototechnik
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05.07.2006
Verfahren zum Verbinden einer Vielzahl von optischen Elementen mit einem Grundkörper
Kunststoff- & Polymertechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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29.06.2006
Optical Element
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.12.2005
Anhängig
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28.06.2006
Verfahren zur Herstellung von Mehrschichtensysteme
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 11.04.2001
Erteilt am 28.06.2006
Vertretung
Fuchs Patentanwälte Partnerschaft mbB · Frankfurt am Main
Fuchs · Wiesbaden
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21.06.2006
Zoom-System für eine Beleuchtungseinrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 27.08.2002
Erteilt am 21.06.2006
Vertretung
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15.06.2006
X-Ray Catheter Assembly
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Status
Angemeldet am 15.09.2005
Anhängig
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14.06.2006
Beleuchtungssystem für eine Projektions-Belichtungsinstallation der Mikrolithographie
Optik & Fototechnik
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07.06.2006
Vorrichtung zur Manipulation eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
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07.06.2006
Euv-Projektionsobjektiv mit Spiegeln aus Materialien mit Unterschiedlichem Vorzeichen der Steigung der Temperaturabhängigkeit des Wärmeausdehnungskoeffizienten Nahe der Nulldurchgangstemperatur
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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26.05.2006
Verfahren zum Schutz eines Metallspiegels gegen Degradation sowie Metallspiegel
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.11.2005
Anhängig
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26.05.2006
Projektionsobjektiv einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 17.11.2005
Anhängig
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24.05.2006
Projektionsobjektiv für Mikrolithographische Reduzierung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.12.2000
Erteilt am 24.05.2006
Vertretung
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
Schultz, Jörg Martin · Oberkochen
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10.05.2006
Projektionsobjektiv Bestehend aus einer Vielzahl von Gekrümmten Spiegeln und Linsen vor dem Vorletzten Spiegel
Optik & Fototechnik
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26.04.2006
Verfahren zum Kalibrieren eines Interferometers, Verfahren zum Qualifizieren eines Objekts und Verfahren zum Herstellen eines Objekts
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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20.04.2006
Illumination system for a microlithographic projection exposure apparatus
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 14.10.2005
Anhängig
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13.04.2006
Microlithographic projection exposure apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.09.2005
Anhängig
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13.04.2006
Vorrichtung zur Temperierung von Elementen
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.09.2005
Anhängig
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05.04.2006
Spiegelfacette und Herstellverfahren dafür
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
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05.04.2006
Beleuchtungssystem mit Rasterelementen unterschiedlicher Grösse
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.11.2001
Anhängig
Vertretung
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05.04.2006
Verfahren zur Herstellung bruchfester Calciumfluorid-Einkristalle sowie deren Verwendung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.08.2002
Anhängig
Vertretung
Fuchs Patentanwälte Partnerschaft mbB · Frankfurt am Main
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23.03.2006
Monitoring element for lithographic projection systems
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.09.2005
Anhängig
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23.03.2006
Microlithographic projection exposure apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 13.09.2005
Anhängig
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22.03.2006
Projektionsobjektiv mit Benachbart Angeordneten Asphärischen Linsenoberflächen
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.12.2000
Erteilt am 22.03.2006
Vertretung
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
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08.03.2006
Lithographieobjektiv mit einer ersten Linsengruppe, bestehend ausschliesslich aus Linsen positiver Brechkraft und Verfahren zur Herstellung mikrostrukturierter Bauteile mit einem solchen Objektiv
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.12.2001
Erteilt am 08.03.2006
Vertretung
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr · Oberkochen
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08.03.2006
Belichtungsobjektiv mit mehreren optischen Elementen
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 03.07.2002
Erteilt am 08.03.2006
Vertretung
Lorenz, Werner · Heidenheim
Lorenz, Werner · Heidenheim
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08.03.2006
Refraktives Projektionsobjektiv für Immersions-Lithographie, Projektionsbelichtungsanlage beinhaltend ein derartiges Projektionsobjektiv, sowie Verfahren zur Herstellung von Bauelementen mit Hilfe eines derartigen Projektionsobjektivs
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.12.2004
Anhängig
Vertretung
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02.03.2006
Optisches System, N[mlich Objektiv oder Beleuchtungseinrichtung einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.08.2005
Anhängig
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01.03.2006
Optische Komponente mit gekrümmter Oberfläche und Mehrlagenbeschichtung
Optik & Fototechnik
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09.02.2006
Projection objective for microlithography
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 03.08.2005
Anhängig
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12.01.2006
Beleuchtungsquelle, Wellenfrontvermessungsvorrichtung und Mikrolithografie-Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.06.2005
Anhängig
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11.01.2006
Verfahren und Vorrichtung zur Bewertung von Schlieren in optischen Materialien
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 08.03.2002
Erteilt am 11.01.2006
Vertretung
Fuchs Patentanwälte Partnerschaft mbB · Frankfurt am Main
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11.01.2006
Optisches System, Verfahren zum Ändern der Optischen Verzögerung in Diesem System und Photolithographisches Gerät
Optik & Fototechnik
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11.01.2006
Projektionssystem für die extrem-ultraviolettlithographie
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.01.2002
Anhängig
Vertretung
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05.01.2006
Positioniereinheit und Vorrichtung zur Justage für ein Optisches Element
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.06.2005
Anhängig
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04.01.2006
Fokussiereinrichtung für die Strahlung von einer Lichtquelle
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.09.2004
Anhängig
Vertretung
Lorenz, Werner · Heidenheim
Lorenz, Werner · Heidenheim
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04.01.2006
Verfahren zur Herstellung einer optischen Komponente and optisches System, das diese verwendet
Optik & Fototechnik
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29.12.2005
Kalibrierverfahren, Messverfahren, Optische Messvorrichtung und Betriebsverfahren für eine Senderanordnung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 17.06.2005
Anhängig
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14.12.2005
Schlitzlinsenanordnung Fur Teilchenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.12.2005
Objektiv mit Pupillenverdeckung
Optik & Fototechnik
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01.12.2005
Method of manufacturing an optical element
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 14.05.2004
Anhängig
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Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
1.714
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
218
Elektrische Energietechnik
181
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
162
Metallurgie & Oberflächentechnik
40
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
39
Software & Datenverarbeitung
36
Elektronik & Schaltungstechnik
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
30
Maschinenelemente & Fluidtechnik
21
Verfahrens- & Trenntechnik
13
Kunststoff- & Polymertechnik
11