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Cymer Patente

🇺🇸 USA

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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399 gesamt
Patent
30.10.2024
Wartung von Modulen für Lichtquellen in der Halbleiter-Fotolithografie
EP4453657
Optik & Fototechnik
09.10.2024
Auswahl der Steuerspannungsschwelle zur Erleichterung der Multifokalen Bildgebung
EP4441564
Optik & Fototechnik
03.10.2024
Laser Chamber Preionizer Having Acoustic Scattering Surface
WO2024201226
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2024
Dust management for a gas discharge chamber
WO2024184833
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2024
Vorrichtung und Verfahren zur Konditionierung von Laserelektroden
EP4420202
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2024
Elektrode mit Manipulierter Oberfläche für Verbesserte Energieleistung
EP4413639
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.08.2024
Processes for maintenance of modules of light sources in semiconductor photolithography
WO2024161222
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
27.06.2024
Laser maintenance apparatus and method
WO2024134437
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.06.2024
Cold Start Conditioning in A Light Source
WO2024134435
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.05.2024
Conduit system, radiation source, lithographic apparatus, and methods thereof
WO2024102640
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
04.04.2024
Adjuster using torsionally stiff coupler and actuator system using same
WO2024072716
Optik & Fototechnik
21.03.2024
Spectral feature control apparatus
WO2024059437
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.02.2024
Method for radiation spectrum aware souce mask optimization for lithography
WO2024037859
Optik & Fototechnik
15.02.2024
Apparatus for and method of controlling cold start conditioning in a light source
WO2024035528
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.01.2024
Apparatus for and method of aligning a laser system
WO2024019937
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
12.10.2023
Apparatus for and method of vibration cancellation for laser wavelength and bandwidth stability
WO2023196087
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
08.06.2023
Determination of a property of an exposure light beam
WO2023101807
Optik & Fototechnik
01.06.2023
Metrology apparatus and method
WO2023096767
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.01.2023
Pulsed power systems with controlled reactor reset
WO2023287518
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.01.2023
Prediction apparatus and method for optical source
WO2023287519
Optik & Fototechnik
05.01.2023
Gas control apparatus for gas discharge stage
WO2023278097
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.12.2022
System for actively controlling a cavity length of an optical assembly
WO2022256133
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.11.2022
Electronic module for a magnetic switching network to produce a pulse of the pulsed output light beam
WO2022231784
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2022
Forming Multiple Aerial Images in A Single Lithography Exposure Pass
WO2022225647
Optik & Fototechnik
22.09.2022
Maintenance of modules for light sources used in semiconductor photolithography
WO2022197415
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
30.06.2022
Reducing energy consumption of a gas discharge chamber blower
WO2022140074
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2022
Optimization of lithographic process based on bandwidth and speckle
WO2022135953
Optik & Fototechnik
30.06.2022
Magnetic switch with impedance control for an optical system
WO2022140073
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2022
Apparatus for and method of optical component alignment
WO2022132448
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2022
Apparatus for and method of modulating a wavelength of an excimer laser as a function of its repetition frequency.
WO2022132447
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.06.2022
Multifocal imaging with increased wavelength separation
WO2022125289
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.05.2022
Optical component for deep ultraviolet light source
WO2022093527
Optik & Fototechnik
07.04.2022
Electromagnetic shield for a sealing mechanism of a laser chamber
WO2022072088
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2022
Apparatus for and method of fluorine measurement
WO2022055654
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.03.2022
Apparatus for and method of optical component alignment
WO2022046402
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.02.2022
Predictive calibration scheduling apparatus and method
WO2022039898
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.12.2021
Determination Of Measurement Error in an Etalon
WO2021262373
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
30.12.2021
Control apparatus for an optical source
WO2021262374
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.12.2021
Systems and methods for controlling a center wavelength
WO2021252103
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.10.2021
Conduit system, radiation source, lithographic apparatus, and methods thereof
WO2021206838
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

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143
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
51
Elektronik & Schaltungstechnik
38
Software & Datenverarbeitung
13
Elektrische Energietechnik
13
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
11
Medizintechnik & Gesundheit
11
Verfahrens- & Trenntechnik
10
Metallurgie & Oberflächentechnik
9
Maschinenelemente & Fluidtechnik
6
Steuerungs- & Regelungstechnik
5

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