KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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11.01.2023
Defektgrössenmessung unter Verwendung von Tiefenlernverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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11.01.2023
Vorrichtung und Verfahren zum Drehen eines Optischen Objektivs
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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11.01.2023
System, Verfahren und Target zur Waferausrichtung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.01.2023
Flottenanpassung von Halbleitermetrologiewerkzeugen ohne Dedizierte Qualitätskontrollwafer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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05.01.2023
Overlay mark design for electron beam overlay
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 17.06.2022
Anhängig
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05.01.2023
Overlay mark design for electron beam overlay
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.06.2022
Anhängig
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05.01.2023
Overlay design for electron beam and scatterometry overlay measurements
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.06.2022
Anhängig
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04.01.2023
Falschregistrierungsziel mit Vorrichtungsskalierten Merkmalen zur Messung der Falschregistrierung von Halbleiterbauelementen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.01.2023
Messung Temperaturmodulierter Eigenschaften einer Testprobe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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04.01.2023
Elektronenstrahlsystem zur Inspektion und Überprüfung von 3D-Vorrichtungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.01.2023
Selbstausrichtende Vakuumdurchführung für Flüssigen Stickstoff
Elektronik & Schaltungstechnik
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04.01.2023
Weiche Röntgenoptik mit Verbesserter Filterung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Elektrische Energietechnik
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04.01.2023
Bestimmung von Parametern eines Halbleiterherstellungsverfahrens unter Verwendung eines Generativen Kontradiktorischen Netzwerks
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
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04.01.2023
Systeme und Verfahren zur Korrektur der Auswirkung von Waferneigung auf Fehlregistrierungsmessungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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04.01.2023
Detektor für Array-Säulen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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29.12.2022
Self-calibrated overlay metrology using a skew training sample
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.06.2022
Anhängig
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28.12.2022
Elektronenstrahlvorrichtung umfassend ein Austastsystem mit Verbesserter Wärmeverteilung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.12.2022
Sensors, imaging systems, and methods for forming a sensor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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Status
Angemeldet am 14.06.2022
Anhängig
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22.12.2022
Methods and systems for measurement of tilt and overlay of a structure
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.06.2022
Anhängig
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22.12.2022
Method of fabricating a high-pressure laser-sustained-plasma lamp
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.06.2022
Anhängig
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22.12.2022
Image contrast metrics for deriving and improving imaging conditions
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 15.06.2022
Anhängig
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21.12.2022
Extrem Ultraviolettes (euv) Fadennetz-Inspektionssystem und Prüfverfahren für Fadennetz
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.02.2014
Erteilt am 21.12.2022
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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21.12.2022
Verfahren zur Bereitstellung eines Satzes von Korrekturen für Prozessapparate
Optik & Fototechnik
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15.12.2022
Tunable Duv Laser Assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.06.2022
Anhängig
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15.12.2022
Non-reagent methods and process control for measuring and monitoring halide concentrations in electrodeposition solutions for iron triad metals and their alloys
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 21.03.2022
Anhängig
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08.12.2022
Deep learning image denoising for semiconductor-based applications
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 31.05.2022
Anhängig
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08.12.2022
Adaptive modeling misregistration measurement system and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.04.2022
Anhängig
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07.12.2022
Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Objekten in einer Kammer eines Optischen Instruments durch Erzeugung Reaktiver Ionen mittels Photonenstrahlung
Verfahrens- & Trenntechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 24.02.2014
Erteilt am 07.12.2022
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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01.12.2022
A method for measuring high resistivity test samples
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 22.05.2022
Anhängig
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24.11.2022
System and method for optical wafer characterization
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 11.05.2022
Anhängig
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23.11.2022
Elektromagnetische Spulen aus Flexiblen Schaltungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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23.11.2022
Metrologiesystem und Verfahren zum Kompensieren von Überlagerungsfehlern durch das Metrologiesystem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.03.2015
Erteilt am 23.11.2022
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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23.11.2022
Röntgen-Zoomlinse für Kleinwinkelige Röntgenscatterometrie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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10.11.2022
Electrostatic substrate cleaning system and method
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.05.2022
Anhängig
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10.11.2022
Deep generative model-based alignment for semiconductor applications
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 29.04.2022
Anhängig
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10.11.2022
Self-Calibrating Overlay Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.04.2022
Anhängig
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09.11.2022
Metrologie-Überlagerungsmarke und Verfahren
Optik & Fototechnik
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03.11.2022
High resolution profile measurement based on a trained parameter conditioned measurement model
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 13.04.2022
Anhängig
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03.11.2022
Mitigating thermal expansion mismatch in temperature probe construction apparatus and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.04.2022
Anhängig
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03.11.2022
Systems and methods for absolute sample positioning
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 01.04.2022
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7