KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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27.10.2022
Laser-sustained plasma light source with reverse vortex flow
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.04.2022
Anhängig
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27.10.2022
Systems and methods for improved metrology for semiconductor device wafers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 01.10.2021
Anhängig
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27.10.2022
Multi-Resolution Overlay Metrology Targets
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.08.2021
Anhängig
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26.10.2022
Charakterisierungssystem und -Verfahren mit Geführter Defektentdeckung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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26.10.2022
Overlay-Metrologie auf Gebundenen Wafern
Optik & Fototechnik
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26.10.2022
Verbundwerkstoff-Overlay-Metrologieziel
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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26.10.2022
Verfahren und Systeme zur Überlagerungsmessung basierend auf Weicher Röntgenstrahlen-Scatterometrie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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20.10.2022
On-Product Overlay Targets
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.01.2022
Anhängig
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13.10.2022
Semantic image segmentation for semiconductor-based applications
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.04.2022
Anhängig
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06.10.2022
System and method for ion-assisted deposition of optical coatings
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.03.2022
Anhängig
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06.10.2022
Modulation of scanning velocity during overlay metrology
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.03.2022
Anhängig
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06.10.2022
Enhancing performance of overlay metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.06.2021
Anhängig
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05.10.2022
Optimierung einer Messrezeptur basierend auf Probabilistischem Domänenwissen und Physischer Realisierung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.09.2022
Overlay metrology using spectroscopic phase
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.02.2022
Anhängig
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22.09.2022
Segmentation of design care areas with a rendered design image
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 07.04.2021
Anhängig
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22.09.2022
Sub-Resolution Imaging Target
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 10.05.2021
Anhängig
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15.09.2022
Optical Metrology Utilizing Short-Wave Infrared Wavelengths
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.02.2022
Anhängig
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14.09.2022
Halbleiterprüfungs- und -Metrologiesystem mit einem Laserpulsvervielfacher
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 03.12.2013
Erteilt am 14.09.2022
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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01.09.2022
Methods for improving optical inspection and metrology image quality using chip design data
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 24.02.2022
Anhängig
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31.08.2022
Systeme und Verfahren zur Metrologie-Optimierung basierend auf Metrologielandschaften
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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31.08.2022
Integrierte Mehrwerkzeug-Retikel-Inspektion
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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31.08.2022
Schnelle Phasenverschiebungsinterferometrie mittels Laserfrequenzverschiebung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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25.08.2022
Continuous degenerate elliptical retarder for sensitive particle detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.02.2022
Anhängig
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18.08.2022
Methods and systems for accurate measurement of deep structures having distorted geometry
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.02.2022
Anhängig
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17.08.2022
Inline-Waferkantenprüfung und Wafer-Vorausrichtung.
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.06.2015
Erteilt am 17.08.2022
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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11.08.2022
Three-motors configuration for adjusting wafer tilt and focus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.02.2021
Anhängig
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11.08.2022
Sensitivity improvement of optical and sem defection inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2022
Anhängig
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11.08.2022
Three-dimensional imaging with enhanced resolution
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.01.2022
Anhängig
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04.08.2022
Measurement of properties of patterned photoresist
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.02.2021
Anhängig
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03.08.2022
Signaldomänenanpassung für Metrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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14.07.2022
Process condition sensing apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.12.2021
Anhängig
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13.07.2022
Periodisches Metrologiesystem und Verfahren für die Fehlregistrierung eines Halbleiterbauelements
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.07.2022
Empfindliche Optische Metrologie in Abtast- und Statischen Moden
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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13.07.2022
Bildgebung von Überlagernden Zielen unter Verwendung von Moiré-Elementen und Rotationssymmetrischen Anordnungen
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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13.07.2022
Dunkelfeldbildgebung von Gitter-Zielstrukturen zur Overlay-Messung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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22.06.2022
Verfahren zu Erkennung von Unschärfe
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.06.2022
Sensor configuration for process condition measuring devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2021
Anhängig
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01.06.2022
Messung einer Kritischen Dimension
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 12.06.2012
Erteilt am 01.06.2022
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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18.05.2022
Datengesteuerte Fehlregistrierparameterkonfiguration sowie Messsystem und Verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.05.2022
Systems and methods for measurement of misregistration and amelioration thereof
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.11.2020
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7