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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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495 gesamt
Patent
27.12.2001
Overlay Alignment Mark Design
WO0198761
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.11.2001
Ultra-broadband uv microscope imaging system with wide range zoom capability
WO0188589
Optik & Fototechnik
15.11.2001
Method and system for detecting metal contamination on a semiconductor wafer
WO0186698
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.11.2001
System and methods for classifying anomalies of sample surfaces
WO0184119
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.11.2001
Methods and systems for lithography process control
WO0184382
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
01.11.2001
Apparatus and methods for detecting killer particles during chemical mechanical polishing
WO0181902
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.08.2001
In-Situ-Sonde zur Optimierung des Oberflächenpotentials bei Elektronenstrahlkontrolle und Elektronenstrahlmetrologie
WO0159807
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.03.2001
Selbsträumende Optische Messvorrichtung sowie Verfahren zu deren Verwendung
WO0120304
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
15.03.2001
Rasterelektronenmikroskop mit einer Elektrode zur Verhinderung der Elektrostatischen Aufladung Während des Abrasterns der Probe
WO0118843
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.02.2001
Detection of film thickness through induced acoustic pulse-echos
WO0113059
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.02.2001
Kalibrierung eines Rasterelektronenmikroskops
WO0111656
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2000
System for sensing a sample
WO0070296
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.11.2000
System for non-destructive measurement of samples
WO0068656
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.11.2000
Selbstkalibrierendes System zum Analysieren von Oberflächeneigenschaften
WO0065331
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.08.2000
System for measuring polarimetric spectrum and other properties of a sample
WO0047961
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Wer vertritt KLA Corporation?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
301
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
195
Optik & Fototechnik
114
Software & Datenverarbeitung
56
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
4
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
2
Metallurgie & Oberflächentechnik
2

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