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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
15.06.2023
Process Window Qualification Modulation Layouts
Optik & Fototechnik
01.06.2023
Frequency conversion using interdigitated nonlinear crystal gratings
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2023
Vorrichtung zur Handhabung von Substraten für Extrem Gekrümmte Wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2023
Systeme und Verfahren mit einem Neuronalen Netzwerk und einem Physischen Forward-Modell für Halbleiteranwendungen
Software & Datenverarbeitung
24.05.2023
Kühlmittelmikrolecksensor für ein Vakuumsystem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
04.05.2023
Continuous machine learning model training for semiconductor manufacturing
Software & Datenverarbeitung
04.05.2023
Moiré Scatterometry Overlay
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.05.2023
Knowledge distillation for semiconductor-based applications
Software & Datenverarbeitung
26.04.2023
Laserwiederholungsfrequenzvervielfacher und Flache Strahlprofilgeneratoren mit Spiegeln Und/oder Prismen
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.04.2023
Materialrückgewinnungssysteme für Optische Komponenten
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
26.04.2023
Fluordotierte Optische Materialien für Optische Komponenten
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
26.04.2023
Schutz von Optischen Materialien von Optischen Komponenten vor Strahlungsabbau
Optik & Fototechnik
19.04.2023
Steuerung der Amplitude und Phase von Beugungsordnungen anhand von Polarisationszielen und Polarisierter Beleuchtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.04.2023
Spectroscopic reflectometry and ellipsometry measurements with electroreflectance modulation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.04.2023
Unsupervised or self-supervised deep learning for semiconductor-based applications
Software & Datenverarbeitung
29.03.2023
3D-Strukturinspektion oder -Metrologie unter Verwendung von Tiefenlernen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
29.03.2023
Tiefe Generative Modelle für Optische oder Andere Modusauswahl
Software & Datenverarbeitung
29.03.2023
Graumodus-Abtaststreumessungs-Überlagerungsmetrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.03.2023
Unüberwachtes Lernen zum Nachweis von Defekten bei Repeatern
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.03.2023
Gruppierung Räumlicher Signaturen auf Waferebene unter Verwendung von Transferlernen
Software & Datenverarbeitung
22.03.2023
Messziel zur Eindimensionalen Messung von Periodischer Fehlregistrierung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.03.2023
Metrologiesystem und Verfahren zur Messung von Überlagerungszielen auf Diagonalbeugungsbasis
Optik & Fototechnik
22.03.2023
Korrelation von Bilddesign zu Wafer durch Kombination von Informationen aus mehreren Sammelkanälen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
22.03.2023
Halbleiterüberlagerungsmessungen mit Maschinenlernen
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.03.2023
Target und Algorithmus zur Überlagerungsmessung durch Modellierung von Rückstreuelektronen auf Überlappenden Strukturen
Optik & Fototechnik
22.03.2023
Leistungsoptimierte Abtastsequenz für Elektronenstrahlmetrologie und Inspektion
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.03.2023
Vorrichtungsartige Überlagerungsmetrologieziele mit Anzeige von Moiré-Effekten
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
22.03.2023
Fehlregistrierungsmetrologie unter Verwendung von Fringe Moiré und Optischen Moiré-Effekten
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.03.2023
Wafer Alignment Improvement Through Image Projection-Based Patch-To-Design Alignment
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.03.2023
System and method for feature signal enhancement using a selectively bonded photoluminescent material
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2023
Vorrichtung und Verfahren zur Zweidimensionalen Nanoindentation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.03.2023
Systems and methods for rotational calibration of metrology tools
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.03.2023
Methods and systems for selecting wafer locations to characterize cross-wafer variations based on high-throughput measurement signals
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.02.2023
Swirler for laser-sustained plasma light source with reverse vortex flow
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2023
Rückbeleuchteter Sensor und Verfahren zur Herstellung eines Sensors mit einem Silizium-Auf-Isolator-Wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.02.2023
Protective coating for nonlinear optical crystal
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
25.01.2023
Bestimmung Metrologieartiger Informationen für eine Probe unter Verwendung eines Prüfwerkzeugs
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.01.2023
Fast and fuzzy pattern grouping
Software & Datenverarbeitung
11.01.2023
Flottenanpassung von Halbleitermetrologiewerkzeugen ohne Dedizierte Qualitätskontrollwafer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
11.01.2023
Defektgrössenmessung unter Verwendung von Tiefenlernverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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