KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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26.08.2021
Measurement and control of wafer tilt for x-ray based metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.02.2021
Anhängig
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25.08.2021
Systeme und Verfahren zur Probenuntersuchung und Bewertung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.04.2013
Erteilt am 25.08.2021
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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19.08.2021
Detecting Defects in Array Regions On Specimens
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 01.02.2021
Anhängig
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12.08.2021
Non-orthogonal target and method for using the same in measuring misregistration of semiconductor devices
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.06.2020
Anhängig
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12.08.2021
Semiconductor metrology and inspection based on an x-ray source with an electron emitter array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.02.2021
Anhängig
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12.08.2021
Laser sustained plasma light source with high pressure flow
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.01.2021
Anhängig
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11.08.2021
System und Verfahren zum Einspannen eines Kontaktlosen Wafers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.12.2014
Erteilt am 11.08.2021
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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05.08.2021
System and method for semiconductor device print check alignment
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.01.2021
Anhängig
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05.08.2021
System and method for identifying latent reliability defects in semiconductor devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2021
Anhängig
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29.07.2021
System and method for analyzing a sample with a dynamic recipe based on iterative experimentation and feedback
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.01.2021
Anhängig
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28.07.2021
Ablenkungsarray für ein Multielektronenstrahlsystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.07.2021
Mehrstrahl-Elektronencharakterisierungswerkzeug mit Telezentrischer Beleuchtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.07.2021
Effiziente Beleuchtungsformung für Scatterometrische Überlagerung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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22.07.2021
Cantilever-type probe with multiple metallic coatings
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 11.01.2021
Anhängig
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22.07.2021
System and method for wafer-by-wafer overlay feedforward and lot-to-lot feedback control
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.01.2021
Anhängig
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21.07.2021
Rasterelektronenmikroskop und Verfahren zur Überprüfung und Durchsicht von Proben
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2015
Erteilt am 21.07.2021
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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15.07.2021
Projection and distance segmentation algorithm for wafer defect detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.01.2021
Anhängig
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15.07.2021
Advanced In-Line Part Average Testing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.01.2021
Anhängig
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14.07.2021
Verwendung Stochastischer Fehlermetriken in der Halbleiterherstellung
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.07.2021
System und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterwafermerkmalen mit Kontrollierten Dimensionen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.07.2021
Thick Photo Resist Layer Metrology Target
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.12.2020
Anhängig
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07.07.2021
Verbessertes Verfahren zur Computermodellierung und Simulation von Negativtonentwickelbaren Photoresists
Optik & Fototechnik
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24.06.2021
Wafer exposure method using wafer models and wafer fabrication assembly
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.12.2020
Anhängig
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10.06.2021
Apparatus and method for gray field imaging
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 01.12.2020
Anhängig
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10.06.2021
Tomography based semiconductor measurements using simplified models
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 01.12.2020
Anhängig
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10.06.2021
Low-Reflectivity Back-Illuminated Image Sensor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.12.2020
Anhängig
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10.06.2021
System and method for defining flexible regions on a sample during inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.11.2020
Anhängig
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27.05.2021
Clustering sub-care areas based on noise characteristics
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2020
Anhängig
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27.05.2021
Finding semiconductor defects using convolutional context attributes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 16.11.2020
Anhängig
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27.05.2021
System and method for protecting optics from vacuum ultraviolet light
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.11.2020
Anhängig
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26.05.2021
Aufspannung eines Gekrümmten Wafers mit einem Balg
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.05.2021
Magnetisch Mikrofokussierte Elektronenemissionsquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.05.2021
System und Verfahren zur Erzeugung einer Sauberen Umgebung in einem Elektronenoptischen System
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.05.2021
Laser produced plasma illuminator with liquid sheet jet target
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 27.10.2020
Anhängig
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06.05.2021
Ionic Liquids As Lubricants in Optical Systems
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.10.2020
Anhängig
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06.05.2021
Common path mode fiber tip diffraction interferometer for wavefront measurement
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 27.10.2020
Anhängig
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06.05.2021
Laser produced plasma illuminator with low atomic number cryogenic target
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.10.2020
Anhängig
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06.05.2021
Bbp assisted defect detection flow for sem images
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.10.2020
Anhängig
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05.05.2021
Wafer- und Photomaskeninspektionssysteme und Verfahren zur Auswahl von Beleuchtungspupillenkonfigurationen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2013
Erteilt am 05.05.2021
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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05.05.2021
Bildsensor, Prüfsystem und Verfahren zur Prüfung eines Artikels
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2015
Erteilt am 05.05.2021
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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