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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
26.08.2021
Measurement and control of wafer tilt for x-ray based metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.08.2021
Systeme und Verfahren zur Probenuntersuchung und Bewertung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.08.2021
Detecting Defects in Array Regions On Specimens
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
12.08.2021
Non-orthogonal target and method for using the same in measuring misregistration of semiconductor devices
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.08.2021
Semiconductor metrology and inspection based on an x-ray source with an electron emitter array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.08.2021
Laser sustained plasma light source with high pressure flow
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.08.2021
System und Verfahren zum Einspannen eines Kontaktlosen Wafers
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.08.2021
System and method for semiconductor device print check alignment
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.08.2021
System and method for identifying latent reliability defects in semiconductor devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.07.2021
System and method for analyzing a sample with a dynamic recipe based on iterative experimentation and feedback
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
28.07.2021
Ablenkungsarray für ein Multielektronenstrahlsystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2021
Mehrstrahl-Elektronencharakterisierungswerkzeug mit Telezentrischer Beleuchtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2021
Effiziente Beleuchtungsformung für Scatterometrische Überlagerung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
22.07.2021
Cantilever-type probe with multiple metallic coatings
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.07.2021
System and method for wafer-by-wafer overlay feedforward and lot-to-lot feedback control
Optik & Fototechnik
21.07.2021
Rasterelektronenmikroskop und Verfahren zur Überprüfung und Durchsicht von Proben
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.07.2021
Projection and distance segmentation algorithm for wafer defect detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.07.2021
Advanced In-Line Part Average Testing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.07.2021
Verwendung Stochastischer Fehlermetriken in der Halbleiterherstellung
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.07.2021
System und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterwafermerkmalen mit Kontrollierten Dimensionen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.07.2021
Thick Photo Resist Layer Metrology Target
Optik & Fototechnik
07.07.2021
Verbessertes Verfahren zur Computermodellierung und Simulation von Negativtonentwickelbaren Photoresists
Optik & Fototechnik
24.06.2021
Wafer exposure method using wafer models and wafer fabrication assembly
Optik & Fototechnik
10.06.2021
Apparatus and method for gray field imaging
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10.06.2021
Tomography based semiconductor measurements using simplified models
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
10.06.2021
Low-Reflectivity Back-Illuminated Image Sensor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2021
System and method for defining flexible regions on a sample during inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.05.2021
Clustering sub-care areas based on noise characteristics
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.05.2021
Finding semiconductor defects using convolutional context attributes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
27.05.2021
System and method for protecting optics from vacuum ultraviolet light
Optik & Fototechnik
26.05.2021
Aufspannung eines Gekrümmten Wafers mit einem Balg
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.05.2021
Magnetisch Mikrofokussierte Elektronenemissionsquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.05.2021
System und Verfahren zur Erzeugung einer Sauberen Umgebung in einem Elektronenoptischen System
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2021
Laser produced plasma illuminator with liquid sheet jet target
Elektronik & Schaltungstechnik
06.05.2021
Ionic Liquids As Lubricants in Optical Systems
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2021
Common path mode fiber tip diffraction interferometer for wavefront measurement
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.05.2021
Laser produced plasma illuminator with low atomic number cryogenic target
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2021
Bbp assisted defect detection flow for sem images
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.05.2021
Wafer- und Photomaskeninspektionssysteme und Verfahren zur Auswahl von Beleuchtungspupillenkonfigurationen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.05.2021
Bildsensor, Prüfsystem und Verfahren zur Prüfung eines Artikels
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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