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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
29.04.2021
Deep learning networks for nuisance filtering
WO2021080888
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
28.04.2021
Dampf als Schutzmittel und Lebensverlängerer in Optischen Systemen
EP3811141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.04.2021
Überlagerungsmessung mit Ausseraxialer Beleuchtung unter Verwendung von Bildgebung mit Zwei Beugungsordnungen
EP3811154
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.04.2021
Geschlitzte Elektrostatische Spannvorrichtung
EP3811401
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
22.04.2021
System and method for vacuum ultraviolet lamp assisted ignition of oxygen-containing laser sustained plasma sources
WO2021076534
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.04.2021
Vorrichtung zur Reduzierung von Überlagerungsfehlern
EP3807924
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.04.2021
Statistical learning-based mode selection for multi-mode inspection
WO2021071996
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
15.04.2021
System and method for reducing printable defects on extreme ultraviolet pattern masks
WO2021071790
Optik & Fototechnik
08.04.2021
Multi-Imaging Mode Image Alignment
WO2021067203
Software & Datenverarbeitung
08.04.2021
Controlling a process for inspection of a specimen
WO2021067202
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2021
System and method for photomultiplier image correction
WO2021067519
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2021
Frequency domain enhancement of low-snr flat residue/stain defects for effective detection
WO2021067518
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
07.04.2021
Automatisches Fokussierungssystem und Verfahren zur Inspektion zwischen Chips
EP3025369
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.04.2021
Plasmonic Photocathode Emitters
WO2021062071
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2021
Light Modulated Electron Source
WO2021061500
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2021
Equi-Probability Defect Detection
WO2021062069
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
01.04.2021
Rotating lamp for laser-sustained plasma illumination source
WO2021061583
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2021
Pattern-to-design alignment for one-dimensional unique structures
WO2021061501
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2021
Unsupervised learning-based reference selection for enhanced defect inspection sensitivity
WO2021061499
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2021
Variation-based segmentation for wafer defect detection
WO2021061585
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2021
Automatic teaching of substrate handling for production and process control tools
WO2021050446
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2021
Sensor module for scanning electron microscopy applications
WO2021041356
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2021
Methods and systems for semiconductor metrology based on wavelength resolved soft x-ray reflectometry
WO2021040936
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
25.02.2021
Design-assisted inspection for dram and 3d nand devices
WO2021034623
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.02.2021
System and method to adjust a kinetics model of surface reactions during plasma processing
WO2021034989
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2021
Laser closed power loop with an acousto-optic modulator for power modulation
WO2021030643
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.02.2021
Semiconductor hot-spot and process-window discovery combining optical and electron-beam inspection
WO2021026282
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2021
Method for process monitoring with optical inspections
WO2021022100
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
04.02.2021
System and method for rendering sem images and predicting defect imaging conditions of substrates using 3d design
WO2021021533
Software & Datenverarbeitung
04.02.2021
System and method for enhancing data processing throughput using less effective pixel while maintaining wafer warp coverage
WO2021021838
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
04.02.2021
System and method for determining defects using physics-based image perturbations
WO2021021582
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2021
Multi-Mirror Laser Sustained Plasma Light Source
WO2021015928
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2021
Automatic recipe optimization for overlay metrology system
WO2021016144
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
28.01.2021
Overlay Measurement Targets Design
WO2021016408
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2021
System and method for error reduction in metrology measurements
WO2021016407
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.01.2021
Systems and methods for moke metrology with consistent mram die orientation
WO2021016500
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung
20.01.2021
Metallschutzschicht für Elektronenemitter mit einer Diffusionsbarriere
EP3766092
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.01.2021
Anordnungsbasiertes Charakterisierungswerkzeug
EP3765886
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2021
Methods and systems for optical surface defect material characterization
WO2021007262
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
14.01.2021
Systems and methods for selecting defect detection methods for inspection of a specimen
WO2021007044
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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