KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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30.12.2021
Enabling Scanning Electron Microscope Imaging While Preventing Sample Damage On Sensitive Layers Used in Semiconductor Manufacturing Processes
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.06.2021
Anhängig
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22.12.2021
Überlagerungssteuerung mit Vorhersage von Offset Ungleich Null
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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22.12.2021
Gerät und Verfahren zur Defekterkennung in Werkstücken
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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16.12.2021
Image alignment setup for specimens with intra- and inter-specimen variations using unsupervised learning and adaptive database generation methods
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 02.06.2021
Anhängig
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16.12.2021
Frequency conversion using stacked strontium tetraborate plates
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.06.2021
Anhängig
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16.12.2021
Localized purge module for substrate handling
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.05.2021
Anhängig
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15.12.2021
Systeme und Verfahren zum Scanning mit Schrägem Einfall mit 2D-Anordnung von Punkten
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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08.12.2021
Erhöhte Genauigkeit in der Optischen Messtechnik
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.12.2021
Wasserstoffpassivierung von Nichtlinearen Optischen Kristallen
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 05.10.2012
Erteilt am 08.12.2021
Vertretung
Coyle, Philip Aidan · Dublin
FRKelly · Dublin
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01.12.2021
Mehrschichtige Overlay Metrology Ziel und Kostenlose Overlay Metrology Messsysteme
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.11.2021
Mode selection and defect detection training
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 17.05.2021
Anhängig
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24.11.2021
Plasmonische Fotokathodenemitter bei Ultravioletten und Sichtbaren Wellenlängen
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.11.2021
Inter-step feedforward process control in the manufacture of semiconductor devices
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.05.2020
Anhängig
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11.11.2021
Multi-controller inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 05.05.2021
Anhängig
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11.11.2021
Print Check Repeater Defect Detection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.05.2021
Anhängig
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11.11.2021
Metrology targets for high topography semiconductor stacks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.05.2020
Anhängig
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10.11.2021
Vorrichtung und Verfahren zum Einspannen Verformter Wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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10.11.2021
Auf Bor Basierende Abdeckschichten für Euv-Optiken
Optik & Fototechnik
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10.11.2021
Dauerstrichlaserunterstützte Plasmabeleuchtungsquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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04.11.2021
Target design process for overlay targets intended for multi-signal measurements
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2021
Anhängig
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04.11.2021
Image alignment for noisy images
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 21.04.2021
Anhängig
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04.11.2021
Training A Machine Learning Model To Generate Higher Resolution Images From Inspection Images
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 27.04.2021
Anhängig
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28.10.2021
Metrology methods and optical schemes for measurement of misregistration by using hatched target designs
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 22.04.2021
Anhängig
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21.10.2021
Laser-sustained plasma light source with gas vortex flow
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 13.04.2021
Anhängig
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21.10.2021
Mini-environment system for controlling oxygen and humidity levels within a sample transport device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.04.2021
Anhängig
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21.10.2021
A thin pellicle material for protection of solid-state electron detectors
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.04.2021
Anhängig
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20.10.2021
Gemeinsame Elektronenoptische Säulen für Flutladung und Bilderzeugung bei Spannungskontrastwaferinspektionen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.10.2021
Online navigational drift correction for metrology measurements
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 04.04.2021
Anhängig
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13.10.2021
Verfahren und Systeme für Ko-Lokalisierte Metrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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13.10.2021
Inspektionssystem mit Unrunder Pupille
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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13.10.2021
Abgabe von Licht in eine Vakuumkammer unter Verwendung einer Optischen Faser
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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06.10.2021
Verfahren und Vorrichtung zur Fokusbestimmung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.08.2014
Erteilt am 06.10.2021
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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29.09.2021
Vorrichtung, Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Inspektion von Zumindest der Seitenflächen von Halbleiterbauelementen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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23.09.2021
Determining focus settings for specimen scans
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.03.2021
Anhängig
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22.09.2021
Messwafer zum Messen der Strahlungs- und Temperaturexposition von Wafern Entlang einer Herstellungsprozesslinie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.10.2015
Erteilt am 22.09.2021
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
FRKelly · Dublin
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02.09.2021
Instrumented substrate apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.02.2021
Anhängig
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02.09.2021
Generative adversarial networks (gans) for simulating specimen images
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 19.02.2021
Anhängig
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01.09.2021
Mehrschichtiges Überlappungsmetrologie-Ziel und Entsprechende Überlappungsmetrologie-Messsysteme
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.07.2011
Erteilt am 01.09.2021
Vertretung
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01.09.2021
Verwendung von auf Tiefenlernen Basierenden Fehlererkennungs- und Klassifizierungsverfahren zur Quantifizierung von Bildern auf Pixelebene
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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01.09.2021
Graue Scatterometrische Überlagerungsziele für Einzelzellen und deren Messung unter Verwendung Unterschiedlicher Beleuchtungsparameter
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7