KLA Corporation Logo

KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

1.908 gesamt
Patent
14.01.2021
Strontium Tetraborate As Optical Glass Material
WO2021007263
Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik
14.01.2021
Fab management with dynamic sampling plans, optimized wafer measurement paths and optimized wafer transport, using quantum computing
WO2021006858
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2021
Überlagerungsmessung mit mehreren Wellenlängen
EP3762776
Optik & Fototechnik
13.01.2021
System und Verfahren zur Photokathodenbeleuchtungsprüfung
EP3762956
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2021
Overlay-Metrologiesystem und -Verfahren
EP3762960
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.01.2021
Trainieren eines Neuronalen Netzes zur Fehlerdetektion in Bildern mit Niedriger Auflösung
EP3762961
Software & Datenverarbeitung
06.01.2021
System, Verfahren und Metriken zur Formcharakterisierung Höherer Ordnung von Wafern und zur Wafer-Klassifizierung mit Geometriewerkzeugen in Wafer-Grösse
EP2909857
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Selection of regions of interest for measurement of misregistration and amelioration thereof
WO2020263461
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.12.2020
Systems and methods for feedforward process control in the manufacture of semiconductor devices
WO2020263391
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2020
Controlling Pressure in A Cavity Of A Light Source
WO2020257132
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.12.2020
Metrics for asymmetric wafer shape characterization
WO2020257131
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2020
Six degree of freedom workpiece stage
WO2020257546
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2020
Multiple-tool parameter calibration and misregistration measurement system and method
WO2020257543
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2020
In-Situ Process Chamber Chuck Cleaning By Cleaning Substrate
WO2020251908
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2020
Broadband Ultraviolet Illumination Sources
WO2020247413
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.12.2020
Vorhersage von Fokusfehlern basierend auf einer Vorhersagenden Modellierung
EP3748669
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.12.2020
Prozessinduzierte Verzerrungsvorhersage sowie Vorwärtsweiterleitung und Feedback-Korrektur von Überdeckungsfehlern
EP3063785
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
09.12.2020
Passivierung von Nichtlinearen Optischen Kristallen
EP2984205
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.12.2020
Mit Modulierten Lichtquellen Ausgestattetes Optisches Metrologiewerkzeug
EP2766693
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.12.2020
Metrologie auf Basis eines Statistischen Modells
EP2979297
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.11.2020
Optisches Abbildungssystem mit einem Lasergeneriertes Tröpfchen-Plasma als Beleuchter
EP2676292
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.10.2020
Methods and systems for combining x-ray metrology data sets to improve parameter estimation
WO2020214745
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.10.2020
Photokathodenemittersystem, das Mehrere Elektronenstrahlen Erzeugt
EP3724910
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.10.2020
Überlagerungsmessungen von Überlappenden Zielstrukturen auf der Basis der Symmetrie von Rasterelektronenstrahlsignalen
EP3724723
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.10.2020
Stochastic Reticle Defect Dispositioning
WO2020210177
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.10.2020
Defect candidate generation for inspection
WO2020210410
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
15.10.2020
Learnable defect detection for semiconductor applications
WO2020210178
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.10.2020
Inspection system with grounded capacitive sample proximity sensor
WO2020210560
Software & Datenverarbeitung Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
14.10.2020
Beugungsbasierte Überlagerungsscatterometrie
EP3721296
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.10.2020
Inspektion von Retikeln mittels Maschinenlernen
EP3721408
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.10.2020
Method for measuring an electric property of a test sample
WO2020205236
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.10.2020
Automated focusing system for tracking specimen surface with a configurable focus offset
WO2020206191
Optik & Fototechnik
01.10.2020
Vacuum hold-down apparatus for flattening bowed semiconductor wafers
WO2020197544
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2020
Die Screening Using Inline Defect Information
WO2020198405
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.09.2020
Magneto-Optic Kerr Effect Metrology Systems
WO2020191379
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.09.2020
Parameter-Stable Misregistration Measurement Amelioration in Semiconductor Devices
WO2020190318
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.09.2020
System and method for converting backside surface roughness to frontside overlay
WO2020191371
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.09.2020
System und Verfahren für die Bandbreitenreduzierung eines Lasers sowie Prüfsystem und Verfahren unter Verwendung eines Lasers
EP3120427
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.09.2020
Dynamic amelioration of misregistration measurement
WO2020185242
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2020
Messung mehrerer Strukturierungparameter
EP3709341
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt KLA Corporation?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

Zum Anmelder-Profil

Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen