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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
03.09.2020
System and method for pumping laser sustained plasma with interlaced pulsed illumination sources
WO2020176370
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2020
Reference image generation for semiconductor applications
WO2020176431
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2020
Air scattering standard for light scattering based optical instruments and tools
WO2020171991
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
26.08.2020
Bildausrichtungsverfahren in mehreren Schritten für eine Grosse Offset-Chip-Chip-Inspektion
EP3698322
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.08.2020
Adaptive Pflegebereiche für die Inspektion Chip für Chip
EP3698397
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
26.08.2020
Frequenzumwandlungssystem mit Hoher Schadensschwelle
EP3514897
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2020
Design file selection for test image to design alignment
WO2020167590
Software & Datenverarbeitung
20.08.2020
Sensitive particle detection with spatially-varying polarization rotator and polarizer
WO2020167618
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.08.2020
Misregistration measurements using combined optical and electron beam technology
WO2020167331
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.08.2020
Silizium-Elektronen-Emitter-Entwürfe
EP3695277
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.08.2020
Elektronenstrahlerzeugung und -Messung
EP3695437
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2020
Scaling metric for quantifying metrology sensitivity to process variation
WO2020159737
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2020
Mid-infrared spectroscopy for measurement of high aspect ratio structures
WO2020159778
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.08.2020
System and method for inspection using tensor decomposition and singular value decomposition
WO2020159805
Software & Datenverarbeitung
06.08.2020
Moiré target and method for using the same in measuring misregistration of semiconductor devices
WO2020159560
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.07.2020
Methods and systems for inspection of semiconductor structures with automatically generated defect features
WO2020150538
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.07.2020
Unsupervised Defect Segmentation
WO2020146163
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.07.2020
Semiconductor metrology based on hyperspectral imaging
WO2020146555
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.07.2020
Semiconductor metrology based on hyperspectral imaging
WO2020146438
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
09.07.2020
Machine learning for metrology measurements
WO2020142301
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
08.07.2020
Bestimmung Optischer Materialeigenschaften zur Optischen Messung von Strukturen
EP2567209
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.07.2020
Fotokathodendesigns und Verfahren zur Erzeugung eines Elektronenstrahls unter Verwendung einer Fotokathode
EP3676863
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.07.2020
Neue Ansätze in der Scatterometrie-Überlagerung Erster Ordnung basierend auf der Einführung von Elektromagnetischen Hilfsfeldern
EP3347701
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.06.2020
Scatterometry based methods and systems for measurement of strain in semiconductor structures
WO2020131646
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
25.06.2020
Care area based swath speed for throughput and sensitivity improvement
WO2020131647
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
25.06.2020
Differential imaging for single-path optical wafer inspection
WO2020132376
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
25.06.2020
Optical-mode selection for multi-mode semiconductor inspection
WO2020131585
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
24.06.2020
Systeme und Verfahren zum Erzeugen von Persistenten Daten für einen Wafer und zur Verwendung Persistenter Daten für Untersuchungsbezogene Funktionen
EP2195834
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2020
Inspection sensitivity improvements for optical and electron beam inspection
WO2020123416
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2020
Per-site residuals analysis for accurate metrology measurements
WO2020123014
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2020
Multiple-tool parameter set configuration and misregistration measurement system and method
WO2020122996
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2020
Detection and correction of system responses in real-time
WO2020123729
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.06.2020
System and method for difference filter and aperture selection using shallow deep learning
WO2020118126
Software & Datenverarbeitung
11.06.2020
Single cell in-die metrology targets and measurement methods
WO2020117361
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.06.2020
Loosely coupled inspection and metrology system for high-volume production process monitoring
WO2020118125
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2020
Elektronenstrahlvorrichtung mit Hohen Auflösungen
EP3662326
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.06.2020
Defect Classification By Fitting Optical Signals To A Point-Spread Function
WO2020112922
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.06.2020
Verfahren und System zur Bereitstellung einer Qualitätsmetrik für Verbesserte Verfahrenssteuerung
EP2694983
Optik & Fototechnik
03.06.2020
Geometrische Messungen von Strukturierten Wafern zur Halbleiterprozesskontrolle
EP3117454
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2020
Process optimization using design of experiments and response surface models
WO2020106784
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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