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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
25.07.2013
Plasma Cell For Providing Vuv Filtering in A Laser-Sustained Plasma Light Source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.07.2013
Stereo extended depth of focus
Optik & Fototechnik
27.06.2013
Rotational multi-layer overlay marks, apparatus, and methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.06.2013
Enhanced high-speed logarithmic photo-detector for spot scanning system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.06.2013
Film Thickness Monitor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
12.06.2013
Dynamische Wellenfrontsteuerung eines Lasersystems mit Frequenzumwandlung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.06.2013
Compact High-Voltage Electron Gun
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2013
Vorrichtung und Verfahren zur Dreidimensionalen Kontrolle von Sägemarkierungen auf Wafern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2013
Ringlichtbeleuchter, Strahlenformer und Beleuchtungsverfahren
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik
05.06.2013
Verfahren und System zur Bereitstellung von Prozesswerkzeug-Korrekturmitteln
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2013
Lesemethodologie zur Mehrkanalerfassung eines Räumlich Verteilten Signals
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
29.05.2013
Verfahren zur Automatischen Bestimmung eines Optimal Parametrisierten Scatterometrie-Modells
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10.05.2013
Secondary target design for optical measurements
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2013
Overlay target geometry for measuring multiple pitches
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2013
Light Source Tracking in Optical Metrology System
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
25.04.2013
Acquisition of information for a construction site
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18.04.2013
Capacitive inspection of euv photomasks
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2013
Berechnungseffizienz durch Verkürzung Iterativer Räumlicher Harmonien
Software & Datenverarbeitung
21.03.2013
Determining design coordinates for wafer defects
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2013
Transmissive-Reflective Photocathode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.02.2013
Vorrichtung und Verfahren zur Einrichtung von Parametern für Optische Inspektionen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
14.02.2013
Air flow management in a system with high speed spinning chuck
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.02.2013
Method and system for characterizing efficiency impact of interruption defects in photovoltaic cells
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2013
Method and system for visualization of semiconductor wafer inspection data
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2013
Determining thin film stack functional relationships for measurement of chemical composition
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.02.2013
Method and apparatus for estimating the efficiency of a solar cell
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.01.2013
Detecting Defects On A Wafer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
31.01.2013
Solar metrology methods and apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2013
Permanent Magnet Lens Array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2013
Optically Pumping To Sustain Plasma
Elektronik & Schaltungstechnik
03.01.2013
Adaptive Optics For Compensating Aberrations in Light-Sustained Plasma Cells
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2013
Determimation of absolute dimensions of particles used as calibration standards for optical measurement systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.01.2013
Measurement of composition for thin films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2012
Optical system polarizer calibration
Optik & Fototechnik
27.12.2012
Method and apparatus for inspection of light emitting semiconductor devices using photoluminescence imaging
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2012
Method of optimizing an optical parametric model for structural analysis using optical critical dimension (ocd) metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
20.12.2012
Semiconductor inspection and metrology system using laser pulse multiplier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.11.2012
Contour-based defect detection using an inspection apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2012
Deep ultra-violet light sources for wafer and reticle inspection systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2012
Method and system for hybrid reticle inspection
Software & Datenverarbeitung

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