KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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25.07.2013
Plasma Cell For Providing Vuv Filtering in A Laser-Sustained Plasma Light Source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 17.01.2013
Anhängig
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18.07.2013
Stereo extended depth of focus
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 09.01.2013
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27.06.2013
Rotational multi-layer overlay marks, apparatus, and methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.12.2012
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20.06.2013
Enhanced high-speed logarithmic photo-detector for spot scanning system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 14.12.2012
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20.06.2013
Film Thickness Monitor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.12.2012
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12.06.2013
Dynamische Wellenfrontsteuerung eines Lasersystems mit Frequenzumwandlung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 29.07.2011
Anhängig
Vertretung
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06.06.2013
Compact High-Voltage Electron Gun
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 28.11.2012
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05.06.2013
Vorrichtung und Verfahren zur Dreidimensionalen Kontrolle von Sägemarkierungen auf Wafern
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.04.2011
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Vertretung
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05.06.2013
Ringlichtbeleuchter, Strahlenformer und Beleuchtungsverfahren
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 25.07.2011
Anhängig
Vertretung
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05.06.2013
Verfahren und System zur Bereitstellung von Prozesswerkzeug-Korrekturmitteln
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.07.2011
Anhängig
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05.06.2013
Lesemethodologie zur Mehrkanalerfassung eines Räumlich Verteilten Signals
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 31.07.2011
Anhängig
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29.05.2013
Verfahren zur Automatischen Bestimmung eines Optimal Parametrisierten Scatterometrie-Modells
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 18.07.2011
Anhängig
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
Manley, Nicholas Michael · Liverpool
Bartle, Robin Jonathan · Liverpool
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10.05.2013
Secondary target design for optical measurements
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.11.2012
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10.05.2013
Overlay target geometry for measuring multiple pitches
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.10.2012
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10.05.2013
Light Source Tracking in Optical Metrology System
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 30.10.2012
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25.04.2013
Acquisition of information for a construction site
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 16.10.2012
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18.04.2013
Capacitive inspection of euv photomasks
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 09.10.2012
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27.03.2013
Berechnungseffizienz durch Verkürzung Iterativer Räumlicher Harmonien
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 18.05.2011
Anhängig
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
Manley, Nicholas Michael · Liverpool
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21.03.2013
Determining design coordinates for wafer defects
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 12.09.2012
Anhängig
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14.03.2013
Transmissive-Reflective Photocathode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 06.09.2012
Anhängig
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20.02.2013
Vorrichtung und Verfahren zur Einrichtung von Parametern für Optische Inspektionen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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14.02.2013
Air flow management in a system with high speed spinning chuck
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.08.2012
Anhängig
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14.02.2013
Method and system for characterizing efficiency impact of interruption defects in photovoltaic cells
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.08.2012
Anhängig
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07.02.2013
Method and system for visualization of semiconductor wafer inspection data
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.07.2012
Anhängig
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07.02.2013
Determining thin film stack functional relationships for measurement of chemical composition
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 28.06.2012
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07.02.2013
Method and apparatus for estimating the efficiency of a solar cell
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.07.2012
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31.01.2013
Detecting Defects On A Wafer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.07.2012
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31.01.2013
Solar metrology methods and apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.07.2012
Anhängig
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24.01.2013
Permanent Magnet Lens Array
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.06.2012
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03.01.2013
Optically Pumping To Sustain Plasma
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 25.06.2012
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03.01.2013
Adaptive Optics For Compensating Aberrations in Light-Sustained Plasma Cells
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.06.2012
Anhängig
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03.01.2013
Determimation of absolute dimensions of particles used as calibration standards for optical measurement systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 19.06.2012
Anhängig
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03.01.2013
Measurement of composition for thin films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 19.06.2012
Anhängig
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27.12.2012
Optical system polarizer calibration
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 07.06.2012
Anhängig
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27.12.2012
Method and apparatus for inspection of light emitting semiconductor devices using photoluminescence imaging
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 18.06.2012
Anhängig
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27.12.2012
Method of optimizing an optical parametric model for structural analysis using optical critical dimension (ocd) metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 14.06.2012
Anhängig
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20.12.2012
Semiconductor inspection and metrology system using laser pulse multiplier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.06.2012
Anhängig
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29.11.2012
Contour-based defect detection using an inspection apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 09.04.2012
Anhängig
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15.11.2012
Deep ultra-violet light sources for wafer and reticle inspection systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.05.2012
Anhängig
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01.11.2012
Method and system for hybrid reticle inspection
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 23.04.2012
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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