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ULVAC Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.137 gesamt
Patent
04.03.2010
Electrostatic chuck and vacuum processing apparatus
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2010
Method for manufacturing thin film transistor and thin film transistor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2010
Method and device for manufacturing field-effect transistor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.02.2010
Surface-treated ceramic member, method for producing same, and vacuum processing device
Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
25.02.2010
Method for determining service limit of electrostatic chuck
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.02.2010
Verfahren zur Trockenreinigung einer Plasmaverarbeitungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.02.2010
Übertakten bei einem Mikroabscheidungssteuersystem zur Verbesserung der Auflösung
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
24.02.2010
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Plasmaanzeigeschirms
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2010
Plasma doping method and semiconductor device manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2010
Silicon refining method
Anorganische Chemie & Werkstoffe
18.02.2010
Process for producing field effect transistor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2010
Silicon purification method
Anorganische Chemie & Werkstoffe
11.02.2010
Vacuum treatment apparatus and vacuum treatment method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2010
Metal nano-ink, process for producing the metal nano-ink, and die bonding method and die bonding apparatus using the metal nano-ink
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2010
Wiring film, thin film transistor, target, wiring film formation method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2010
Method of teaching conveying robot
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
04.02.2010
Transfer robot control method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.02.2010
Method for refining metal
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
03.02.2010
Ätzverfahren und Ätzvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2010
Apparatus and method for manufacturing thin film solar cell, and thin film solar cell
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2010
Magnetic recording medium manufacturing device
Akustik, Musik & Datenspeicherung
28.01.2010
Action monitoring system for treating device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2010
Method of manufacturing magnetic recording medium, magnetic recording medium, and information storage device
Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.01.2010
Trockenätzgerät und Trockenätzverfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2010
Work-piece transfer systems and methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2010
Cu wiring film forming method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2010
Inkjet printing device and jet quantity inspecting method
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
14.01.2010
Printing device and film forming method
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
14.01.2010
Method for manufacture of touch panel, and film formation apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung
14.01.2010
Cleaning apparatus, printing apparatus and cleaning method
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
07.01.2010
Power source device
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik
07.01.2010
Power source device
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik
07.01.2010
Ink discharge control system, and color filter manufacturing method
Optik & Fototechnik
30.12.2009
Positionierungsverfahren für ein Distanzstück
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
30.12.2009
Sputtering apparatus and sputtering method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2009
Cathode unit and spattering device having same
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2009
Method for manufacturing plasma display panel and film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2009
Trockenätzverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2009
Sputtering apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2009
Stage with alignment function, treatment device equipped with stage with the alignment function, and substrate alignment method
Verpackungs- & Fördertechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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