Carl Zeiss SMT Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.391 gesamt| Patent | |||
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11.04.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Nachbehandlung einer Fluoridschicht für ein Optisches Element für den Vuv-Wellenlängenbereich, Optisches Element Umfasssend die Fluoridschicht
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.10.2023
Anhängig
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11.04.2024
Mirror, in particular for a microlithographic projection exposure apparatus, and method of processing a mirror
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.09.2023
Anhängig
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11.04.2024
Verfahren und Vorrichtung zum Bilden einer Fluorid- oder Oxyfluoridschicht für ein Optisches Element für den Vuv-Wellenlängenbereich, Optisches Element Umfasssend die Fluorid- oder Oxyfluoridschicht
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.10.2023
Anhängig
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10.04.2024
Optische Vorrichtung, Verfahren zur Einstellung einer Zieldeformation und Lithographiesystem
Optik & Fototechnik
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10.04.2024
Optikvorrichtung, Verfahren zur Einstellung einer Soll-Deformation und Lithografiesystem
Optik & Fototechnik
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04.04.2024
Optisches Element für eine Projektionsbelichtungsanlage, Optisches System damit und Projektionsbelichtungsanlage mit dem Optischen Element Und/oder dem Optischen System
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Computer implemented method for defect detection in an imaging dataset of a wafer, corresponding computer-readable medium, computer program product and systems making use of such methods
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 06.09.2023
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04.04.2024
Verfahren, Vorrichtung und Computerprogrammprodukt zum Bearbeiten eines Körpers, insbesondere eines Spiegelkörpers eines Euv-Spiegels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.09.2023
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04.04.2024
Spiegelvorrichtung und Verfahren zum Messen der Temperatur eines Spiegels
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 14.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Spiegelvorrichtung, Projektionsobjektiv und Verfahren zum Messen der Temperatur eines Spiegels
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.09.2023
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04.04.2024
Euv-Reflektometer und Messverfahren
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 14.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Messverfahren der Euv-Reflektometrie und Euv-Reflektometer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 14.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Spiegelvorrichtung, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage, und Verfahren zum Messen der Temperatur eines Spiegels
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.09.2023
Anhängig
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04.04.2024
Vorrichtung zum Vermessen oder Bearbeiten von Objekten, Verfahren zum Betreiben
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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04.04.2024
Messvorrichtung und Messverfahren zum Messen einer in einem Optischen System Abfallenden Spannung, Optisches System, und Lithographieanlage
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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04.04.2024
Anordnung, Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Systemintegrierten Kalibrierung eines Facettenspiegels einer Mikrolithographischen Beleuchtungsanlage
Optik & Fototechnik
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28.03.2024
Führung von Komponenten einer Optischen Einrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.09.2023
Anhängig
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28.03.2024
Anordnung zum Tempern mindestens eines Teilbereichs eines Optischen Elementes
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.08.2023
Anhängig
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28.03.2024
Spiegelvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Spiegelvorrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.09.2023
Anhängig
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28.03.2024
Apparatus for stress-reduced mounting of mems-based micromirrors
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Status
Angemeldet am 14.09.2023
Anhängig
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28.03.2024
Optische Baugruppe, Optisches System und Projektionsbelichtungsanlage
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.09.2023
Anhängig
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28.03.2024
Zweibeiniges Optisches System und Projektionsbelichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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28.03.2024
Computerimplementiertes Verfahren zur Fehlererkennung in einem Abbildungsdatensatz eines Wafers, Entsprechendes Computerlesbares Medium, Computerprogrammprodukt und Systeme
Software & Datenverarbeitung
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28.03.2024
Haltevorrichtung für ein Optisches Bauteil mit einer Polygonalen Optischen Oberfläche und mit einem Zylindrischen Substratkörper
Optik & Fototechnik
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27.03.2024
Komponente für eine Projektionsbelichtungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.01.2018
Erteilt am 27.03.2024
Vertretung
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21.03.2024
Verfahren zur Justierung eines Beleuchtungsstrahlengangs Innerhalb einer Beleuchtungsoptik und Beleuchtungsoptik mit Justiersystem
Optik & Fototechnik
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21.03.2024
Verfahren zum Bearbeiten eines Referenzelements für ein Interferometer
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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20.03.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Additiven Fertigung
Kunststoff- & Polymertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 19.06.2018
Erteilt am 20.03.2024
Vertretung
Witte, Weller & Partner Patentanwälte mbB · Stuttgart
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20.03.2024
Prüfung der Mesh-Integrität
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.09.2023
Anhängig
Vertretung
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14.03.2024
Illumination system, radiation source apparatus, method for illuminating a reticle, and lithography system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.09.2023
Anhängig
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14.03.2024
Mikrospiegelanordnung mit einer Anzahl von Einzelspiegelelementen
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Anordnung und Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Faserstrang für einen Sektorheizer, Sektorheizer und Projektionsvorrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Verfahren zum Betreiben eines Optischen Bauelements, Optisches Bauelement
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 28.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Mikrospiegelanordnung mit Federnd Gelagerten Einzelspiegelelementen
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Individual mirror of a pupil facet mirror and pupil facet mirror for an illumination optical unit of a projection exposure apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Mikroelektromechanische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 29.08.2023
Anhängig
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14.03.2024
Heizanordnung, sowie Optisches System und Verfahren zum Heizen eines Optischen Elements
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.09.2023
Anhängig
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13.03.2024
Interferometrisches Messverfahren und Interferometrisches Messsystem
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 21.08.2023
Anhängig
Vertretung
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Wer vertritt Carl Zeiss SMT?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Optik & Fototechnik
2.073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
219
Elektrische Energietechnik
199
Metallurgie & Oberflächentechnik
54
Software & Datenverarbeitung
53
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
50
Elektronik & Schaltungstechnik
41
Anorganische Chemie & Werkstoffe
37
Maschinenelemente & Fluidtechnik
35
Verfahrens- & Trenntechnik
19
Kunststoff- & Polymertechnik
13